p; 大约有一半的位错有相应的插入到外延层的额外半平面 ,但是另一半位错导致同一半平面从薄膜里去除。
进一步说,被相反标志的位错包含的两个层错间距仅有 80 纳米。
因为在外延层和基体的作为层错扩展动力的掺杂不同,所 以 这 一 结 果 与 机 械 应 力 所 得 不 一 致 。
2002 年 美 国 物 理 研 究 所 。
[DOI:10,1063/1,15119961] 由于其高饱和电子速度、击穿场和热传导的性质,对于高频率和高功率电子产品,碳化硅是一种很有前途的宽禁带半导体。
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(人工翻译)退火过程中高掺杂的4HSIC外延层里堆垛层错的形成.rar(文献资料翻译)
上传时间:2022-06-25 05:59
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