铬掩模被蚀刻掉以形成一微米规格硅微传线。
在微传线形成后,电浆修剪至纳米级。
在这步里,微米级丝表面被氧化,消耗了硅,而氧化层被下面步骤中缓冲氧气蚀刻机蚀刻掉。
消耗硅量取决于氧化渗透量,而后者受限于硅-氧界面氧气活动。
.门限表面修整特定捕获探针寡核苷酸离子支持连接物为识别特殊目标DNA提供了一套有力工具。
为了确保目标被准确地,精确地,可靠地被识别,最佳连接物必须要仔细挑选。
一个单链DNA分子探针可以采取多种方法利用共价键连接到硅纳米丝。
羧基和氨基基团是连接配合键到固体表面最普遍反应基团。
氨基基团相比于羧基基团更牢固,而且它们化学性质也已经被这个领域研究者广泛地探索出来了。
因此,一个以氨基为基础方法被用于此项研究。
首先,二氧化硅放置在纳米丝表面。
二氧化硅是场效应管中最