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(定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目立项可行性建议书(完整版) (定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目立项可行性建议书(完整版)

格式:word 上传:2022-06-25 10:58:26

《(定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目立项可行性建议书(完整版)》修改意见稿

1、“.....使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直,无法得到所需要偏角。管状加热炉除了无法得到所需偏角以外,还很难调制固液界面本身平坦度,由于砷化镓热导率相对较低,在采用管状加热炉情况下固液界面四周热环境是固定,无法变动......”

2、“.....使熔体边缘温度低于中心处温度,往往使固液界面凹向熔体。这种界面非常容易出孪晶,或使晶体增大,降低成品率。在单晶生长理论中,理想固液界面形状应为平坦或略为凸向熔体,做到这点,加热体设计和制造非常关键。加热体是单晶生长核心,对单晶生长影响非常大,是决定单晶生长成功与否关键因素之......”

3、“.....本公司在炉体结构设计保温层设置和配置加热区段设置加热加快了单晶材料产业化步伐。年在国内首次拉制重,加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线,年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立......”

4、“.....注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备,因此,承担本项目,国瑞公司具有人员和技术优势......”

5、“.....年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,报告显示国瑞公司向本动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中石英舟中进行......”

6、“.....只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废......”

7、“.....成为本公司项独特专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当溶剂中进行热处理,它可保证在长达天单晶连续生长中,熔体与舟不粘接,单晶生长完成后,单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置,提高晶片纵向均匀性,有利于提高成品率。本项目所设计水平单晶炉是种多段式两温区炉......”

8、“.....公司技术人员经过反复实验比较不断优化,设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单晶,备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为......”

9、“.....又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染机理是在合成和晶体生长中,高温区发生熔体中与石英反应分别表示液固气相。反应使进入,反应使部分与率发挥了重要作用......”

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