1、“.....无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂分凝是以固液界面为界线......”。
2、“.....所切晶片上载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近......”。
3、“.....各项技术指标均达到或高于其产品。产品技术性能水平与国内外同类产品比较单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种,主要有型掺单晶和型掺单晶两种,主要用于包括红外和高亮度等光电器件衬底,本项目单位国瑞公司生产这两种单晶各项技术指标与国际同类产品致,完全达到了国际同类产品先进水平......”。
4、“.....产品类型技术指标型掺晶片直径,项目承担单位在实施本项目中优势研发能力强是本单位固有优动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过......”。
5、“.....因此首先要解决是石英舟与熔体粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废......”。
6、“.....成为本公司项独特专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当溶剂中进行热处理,它可保证在长达天单晶连续生长中,熔体与舟不粘接,单晶生长完成后,单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置,提高晶片纵向均匀性,有利于提高成品率。本项目所设计水平单晶炉是种多段式两温区炉......”。
7、“.....公司技术人员经过反复实验比较不断优化,设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单晶,备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为......”。
8、“.....又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉相对移动速度是另个重要技术参数因为熔体结晶快慢与结晶潜热产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布......”。
9、“.....本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角......”。
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