1、“.....由于具有优良的高频特性同时又具有价格低廉以及同硅集成电深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 路兼容集成的优点，因而深受各国重视。尽管年第只 诞生，并经历了十几年的研究及发展，但直到年真正的 产品才问世。 本项目利用韩国合资方公司掌握的先进器件及 电路工艺技术生产的器件及集成电路，使我国能在最短的时间 内填补这种器件及电路的空白，推动我国集成电路生产赶上国 际先进水平。 满足我国高频应用领域的需求，促进相关应用领域的发展 随着我国光纤通信航天科技及军事科技的迅速发展，对高频电 路不仅在数量上有更多的要求，而且希望电路满足低成本小体积及 能同硅电路兼容集成，从而构成系统集成芯片。技术正好满足这 些要求，因而建立英寸集成电路生产线，能扭转我 国目前高频电路主要依赖器件及大部分靠进口的状态，从而促 进我国相关应用领域的发展。 拓宽我国微电子产品的领域，形成我国集成电路生产 及研发基地......”。

2、“.....尽管截止年我国已共 有条微电子生产线，但除了上海华虹的英寸产品 刚进入当代国际硅主流技术水平以外，其它生产线以生产低中档产品 为主。近年来我国微电子工业发展速度有所加快，特别上海中心国 际及宏力英寸生产线的建立，扩充了我国集成电路的生 产能力，提高了我国集成电路的产品水平。但是上述所有微电子生产 线均未考虑器件的生产。因此本项目集成电路生产线的建 立，可以拓宽我国微电子产品的领域，本项目第二期工程拟升级成 英寸加工线，并将建立集成电路研究及发展中心，最终形成我 国集成电路生产及研发基地。 带动我国高频电路及系统集成芯片设计行业的发展深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 多年来我国从事高频电路设计的科技人员均以器件为主要 对象，原因是缺乏新的高频器件，本项目器件生产线的建立， 为建立高频电路及系统集成芯片设计平台提供了个验证及保 证的条件，从而带动我国高频电路及系统集成芯片设计行业的发展......”。

3、“.....但是深圳市的微 电子工业由于起步较晚相对落后。据统计年深圳直接使用的集成 电路亿美元中，依靠进口。在高频应用的电路中，由于采购困 难更限制了相关电子产品的发展。本项目利用少量投资，购置以翻新 设备为主的英寸设备，建立条相对水平较高的集成电 路生产线，不仅具有很好的经济意义，而且能缓解上述矛盾，并推动 深圳市电子信息产业的发展。 项目建设的有利条件 深圳具有建设高技术集成电路芯片项目的良好环境 深圳与上海北京样，是国内最有条件发展集成电路芯片制造 业的城市之。深圳市为加速和鼓励发展集成电路芯片制造业，配合 国务院号文精神，对该项目提出了包括地租贴息贷款和水电价格 等多项优惠政策，为本项目的实施创造了有利条件。 深圳及周边珠江三角洲地区是国内集成电路主要的集散地之， 华南地区集成电路消耗量占国内的半以上，同时也是中国最大的光 通讯无线通讯网络设备生产开发中心，占据中国该类产品生产的 以上......”。

4、“.....包括华为中兴康佳德塞长城等，这些大公司使用大 量集成电路，使得广东的电路进口数量占全国的。项目具有良 好的投资环境和市场环境。 此外，深圳作为中国最年轻和最具活力的国际化大都市，毗邻香深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 港，利用靠近香港交通便利的地理优势，容易吸引优秀的国际人才， 产品可方便地面向海外市场。 本项目合作方公司充分提供工艺技术人员培训 工艺设备维护以及具有丰富经验的集成电路生产管理技术团队支持。 目前公司董事长吴之植先生是韩国电子部品研究院 研究员，担任深港韩国电子商会会长该会成员多达多家。本项 目韩国方面组织了具有国际大公司背景和生产线建设与运营 经验的技术团队，团队成员分别具有公司公司三星电子 现代半导体公司韩国电子部品研究院和韩国电子通讯研 究院等国际大公司或知名院所的工作背景和经历，这为本 项目实施提供了强有力的保障。 本项目生产线建设的大特点是采用与技术引进相结合的整 条线成套设备引进的方式......”。

5、“.....这对本项目生产线能够长期稳定可靠的运行极为重要，对本项 目实施极为有利。 可行性研 大实行分步实施。生产厂房按月投片片的规模建设， 洁净室和相配套的生产动力设施按片规模配置。 建设内容 通过公司引进本项目所需集成电路生产技术， 以及硅功率器件等生产技术。引进技术的方式包括相关的技 术资料和技术文件技术使用许可提供相关技术人员以保证技术的 实现与项目的达产。 建设项目所需生产厂房和配套建筑，合计新建面积， 其中 生产及支持厂房， 动力厂房 倒班宿舍 购置生产能力为月投英寸硅片片的芯片生产线 翻新设备，经翻新和部分设备改造主要是外延设备，形成 集成电路与功率器件兼容的芯片生产线。 在期工程中，该生产线除了进行少量自有产品的生产之外，主 要承接外公司的芯片加工任务，生产线也未包含芯片与产品的批量测 试设备......”。

6、“.....用地面积 ，规划建筑包括生产厂房和动力厂房综合楼 多功能中心专家楼倒班宿舍化学品库气站等，见总平面布置 图。 建筑结构设计 生产厂房 根据集成电路生产的特点，厂房分为大跨度的核心净化生产 区和生产动力支持区。 厂房主体结构为钢筋混凝土框架结构，核心净化区楼柱网 ，二楼为大型钢屋架，屋架跨度。二楼穿孔 楼板为现浇钢筋砼，屋面结构板为现浇钢筋砼。建筑层高为 ，建筑占地面积，建筑面积。 动力厂房 动力厂房为单层框架结构，柱网尺寸，本项目新建 ，建筑层高。 建筑服务系统 空气处理系统空调净化 净化 生产厂房生产层设计净化级别为级，外延生产设 备采用微环境形式达到级。 空气流动型式 风机过滤器洁净室架空地板下夹层回风竖井送 风静压箱......”。

7、“.....温度 湿度。 变电站设置空调系统，控制最高温度。 通风排烟系统 通风系统 对卫生间设置通风系统，换气次数次。在存放或使用易燃 易爆有毒物质的房间设计事故排风，换气次数次。 对未设置空调系统的洗涤塔间废水处理站纯水站锅炉房 应急发电机房机械设备房，设置通风系统，换气次数次，控制 温度不超过。 排烟系统 净化间的上下技术夹层设置排烟管道。 冷冻水系统 冷冻水供给 外气负荷室内负荷工艺冷却水系统纯水系统，估算冷量为 月产片时。 冷冻站系统组成 离心式冷水机组冷冻水次泵冷冻水二次泵闭式膨胀罐 加药装置管道及阀门附件保冷材料等。 设备选择与站房深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 选择低温水冷离心式冷冻机组台，用备，单台制 冷量为，站房设置在动力厂房。 空调热水系统 热水供给 空调净化系统纯水系统加热，采用热水加热，热负荷估算为 ......”。

8、“..... 设备选择与站房 选择燃气热水锅炉台，其中台为备用，单台，供 回水温度为。 站房设置在动力厂房。 机械冷却水系统 冷却水供给 冷却冷水机组温度流量 冷却空压机组温度流量 系统组成 冷却水循环泵玻璃钢冷却塔水处理装置自动加药装置 型管道过滤器管路系统等。 设备选择与站房 选用台横流式冷却塔，用备，每台冷却水量。 冷却塔设于动力站房屋顶，水泵设置在动力厂房内。 冷水自来水系统深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 消耗量 每天消耗量夏天最大 小时平均消耗量 管网与水池设计 公司申请两路进水，接管。 项目在新建动力厂房地下层设置水池，供生产和消防 使用。 水消防系统 见消防章节说明 净化间清扫真空系统 清扫真空站设于生产厂房层。 选用离心式多级真空泵各套，配带排气消音器，其真空量为 ，真空压力为，每套按个清扫口进行设计。 液化石油气供应 新增燃气热水锅炉，园区有管道液化石油气供应，预计项目消耗 ......”。

9、“.....流量，温度 。 系统补充水水质为出水，工艺设备冷却水系统 采用板式水换热器，水泵为变频水泵。 纯水系统 纯水供给深圳市高科实业有限公司 集成电路芯片生产线项目 生产硅片清洗腐蚀 生产工具器具石英制品清洗 洁净服清洗 消耗量 系统设计 纯水系统分成前处理和后处理两部分，设在动力厂房层。 前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加 压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换 热至，再经过保安过滤器过滤，进入二级装置，制成 纯水，进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻 水的补充水，浓缩水作为洗涤塔用水和部分冷却塔补充水。 后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离 子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床 超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。 干燥净化压缩空气系统 供给 消耗量片时，使用点压力......”。