1、“.....对该类装备的运动精度和运动速度加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良，需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。因此，发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究，是制造装备中的重要研究内容之，对促进制造技术的发展而加快我国产业化进程具有重要的意义。西安文理学院本科毕业设计论文第页本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气浮导轨。定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计，确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计。其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型......”。

2、“.....最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。相关研究情况机械部分相关研究情况人针对芯片制造设备设计出了种新型磁悬浮超精密工作台，消除了导轨的摩擦和磨损，使工作台在方向能满足的定位精度。致力于用新型的气浮平台代替传统接触式轴承平台，在重量体积和成本基本不变的情况下，获得更高的运动速度和定位精度。基于无摩擦驱动的概念，制造了静压空气轴承支撑的伺服电机。等人设计的气浮精密定位平台，加速度达到，定位精度。采用空气轴承支撑的新型运动平发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究。随着技术的进步和相关行业的发展，应用到秒引线键合机上的定位平台经历了系列的变化。最初采用的是旋转电机加滚珠丝杠驱动的串联机构形形式，如日本公司生产的引线键合机，键合速度仅为线∕秒。到上世纪九十年代......”。

3、“.....如美国公司生产的引线键合机，其定位平台采用广义并联机构，平台由线性导轨支撑，方向之间用滚动轴承解藕，键合速度可达到线∕秒。公司生产的引线键合机，键合速度达到线∕秒。采用旋转电机和直线电机混合驱动，空气轴承和线性导轨支撑平台，经过特殊设计，旋转驱动构建的质心在其旋转轴线上，实现了旋转机构的质心驱动，消除了质心惯性力的影响。瑞士公司利用该结构研制的型号为的引线键合机，最大键合速度为线∕秒，实验室可以达到线∕秒，是目前世界最高水平。随着新型电机的不断出现，音圈电机超音速电机和平面电机在微电子装备方面的应用越来越受到人们的重视，天津大学冯晓梅等人研制出由音圈电机驱动的新型高精密定位平台，其最大加速度可以达到。等人研制出的新型平台，采用超音速直线电机，结构简单紧凑。和利用空气轴承设计出的新型引线键合机，工作效率有了突破性的进西安文理学院本科毕业设计论文第页展，达到了当前流行速度的近两倍。长春光学精密机械与物理所王延风等台。研制出种新型高速加速度气浮平台，其工作空间，加速度超过......”。

4、“.....气浮部分相关研究情况由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也好，热稳定性好使用寿命是半永久性的，与液体静压导轨相比，它不污染环境。由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。空气轴承以清洁干燥的空气作为润滑介质，具有精度高无摩擦无磨损清洁无污染寿命长免维护低发热结构设计灵活耐高低温和原子辐射等特点，广泛应用于三坐标测量机，高速旋转机械工具如高速磨头高速离心分离器陀螺仪表原子反应堆致冷压缩机电子计算机记忆装置微电子制造及医疗设备中。由于采用了空气轴承支撑，系统无摩擦或极低摩擦，消除了接触式轴承摩擦力的不利影响，使得产品性能得到了极大的提高。但空气轴承无标准化产品供选取，其性能受节流形式等诸多因素影响，因此，设计性能优越的空气轴承并不容易，需要丰富经验和大量理论知识。和比较了小孔和多孔材料节流静压空气轴承性能的特点，指出适当增加节流孔的个数，可以使两种轴承的性能比较接近。和通过实验和仿真分析了小孔节流式静压空气轴承的气体流量特性......”。

5、“.....和指出空气轴承内气体压力分布的理论模型过于简单，所提出的神经网络方法能更好地预测轴承内气体这里取代入求解式附加摩擦力式中滚珠丝杠预加负荷，般取，为进给牵引力滚珠丝杠导程滚珠丝杠未预紧时的传动效率代入算得式根据上面的计算结果可得起式比初选的电机的最大转矩小符合设计要求。快速进给时所需力矩快式快比初选电机的额定转矩小，符合要求。定位平台轴滚珠丝杠型号的确定同轴滚珠丝杠选用的滚珠死杠的相关数据可知丝杠螺旋升角式西安文理学院本科毕业设计论文第页第五章其他辅助零件的选择设计定位平台轴承的选择方向滚珠丝杠副在工作中用于精确地传递相对位移，转速较低，传动时只需克服摩擦力矩和较小的附加阻力矩，承受的是轴向和径向双向轻载荷，所以选用了能同时承受径向载荷和轴向载荷的滚动轴承。对于其支撑方式可以选择端固定，端游动，这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形，由选定的丝杠可知......”。

6、“.....游动端选滚动球轴承型号为方向上对于其支撑方式可以选择端固定，端游动，这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形，由选定的丝杠可知，固定端的滚动球轴承需选型号为,游动端选滚动球轴承型号为定位平台联轴器的选择对于联轴器的选择，根据轴的滚珠丝杠直径为，选择联轴器型号为根据轴的滚珠丝杠直径为，选择联轴器型号业为。西安文理学院本科毕业设计论文第页第六章检测元件的选择关于直线位置检测元件的选择，如采用激光器件则成本较高,而感应同步器磁栅又都是利用电磁感应原理。为防止直线电机电磁场对检测元件的干扰和节约成本,选择光电转换原理工作的光栅尺作为位移和速度的检测装置，由于不需要转换,因此，可提高采样频率和检测精度，构成可靠的伺服控制体系。如果需要进步提高位置检测的分辨率和精度，可以通过倍频处理来提高分辨率还可以采用软件定点补偿来提高精度,方法是在整个直线位置控制装置安装完毕后,借助于更高级的位置测量装置,如激光干涉仪,进行测量比较,设定多点并逐点进行误差标定,运行时通过软件控制......”。

7、“.....光栅采用英国公司的系列产品。该类光栅尺有较高的精度和响应速度，具有安装调试方便，抗干扰能力强等优点。光栅线周期为分辨率可达响应最大速度为。西安文理学院本科毕业设计论文第页第七章结论高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进步发展的瓶颈。由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也小，热稳定性好使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比，它不污染环境。由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。本文对定位平台轴的传动装置和气浮导轨进行了设计。定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计，确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计......”。

8、“.....电机型号的选型。对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。本文对气浮支承引线键合定位平台进行了定研究和分析，达到了预期的目的，但仍然有待进步深化和研究的地方。由于条件限制，对驱动软件研究还不充分，缺少试验研究，在以后应该对其进步深入研究。由于没有做物理实验,由于水平有限，实际经验的不足，以及时间上的限制，在设计中难免存在些，没有实验数据与理论数据作对照，分析还存在局限性......”。

9、“.....先进封装工艺设备及关键技术方立等﹒引线键合力控制系统的优化设计，机械设计与研究刘暾﹒静压气体润滑﹒哈尔滨哈尔滨工业大学出版社，王云飞﹒气体润滑理论与气体轴承设计﹒北京机械工业出版社，王积伟﹒吴振顺，控制工程基础﹒北京高等教育出版社，陶永华﹒新型控制及其应用﹒北京机械工业出版社西安文理学院本科毕业设计论文第页西安文理学院本科毕业设计论文第页致谢衷心地感谢我的指导老师卢志伟老师在学习和毕业设计上给予我的帮助指导和教诲。卢老师渊博的知识严谨求实的治学态度勇于创新的科学精神勤奋刻苦的工作作风，以及对事业的热爱，都给我留下了深刻的印象，必将激励我在以后的学习工作中不断的进取和突破。感谢卢老师不仅把科研的方法言传身教给我......”。