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(新项目)国家火炬计划产业化项目可行性投资商业计划书(复件) (新项目)国家火炬计划产业化项目可行性投资商业计划书(复件)

格式:word 上传:2022-06-24 16:13:43

《(新项目)国家火炬计划产业化项目可行性投资商业计划书(复件)》修改意见稿

1、“.....目前制作加热体,截面区固液交界面区有特殊加热结构。高温区各加热段设计合理,中温区有后加热体设置,其余各区设置合适在产品试制过程中表明,该加热体非常适合水平砷化镓单晶生长。采用这种加热体,可以很好调节固液界面形状及固液界面与生长方向夹角,使其与所切割晶片方向致,并与单晶生长方向之间夹角致。同时,采用这特种加热炉,通过高温区中温区和固液界面区温度分布控制,很容易调平固液界面。当然,这种加热体如何单独控制又协调配合形成所需温度分布,也要经过反复实验研究不断优化。经过几年开发,本项目单位已在国内独家掌握了该项技术,该项技术达到世界先进水平。关键技术先进性本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结论为该项目利用本单位独创石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术,固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率......”

2、“.....实现了水平砷化镓单晶材料产业化,达到了预期目标。该项目技术达到国际先进水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。该产品与日本住友电工相比,各项技术指标均达到或高于其产品。产品技术性能水平与国内外同类产品比较单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种,主要有型掺单晶和型掺单晶两种,主要用于包括红外和高亮度等光电器件衬底,本项目单位国瑞公司生产这两种单晶各项技术指标与国际同类产品致,完全达到了国际同类产品先进水平,本产品与日本住友电工公司各项指标对比如下北京有研总院国瑞公司日本住友电工产品类型技术指标型掺晶片直径,产品类型技术指标型掺晶片直径,项目承担单位在实施本项目中优势研发能力强是本单位固有优办研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉相对移动速度是另个重要技术参数因为熔体结晶快慢与结晶潜热产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布......”

3、“.....本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂分凝是以固液界面为界线,如果单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直......”

4、“.....管状加热炉除了无法得到所需偏角以外,还很难调制固液界面本身平坦度,由于砷化镓热导率相对较低,在采用管状加热炉情况下固液界面四周热环境是固定,无法变动概述项目提出背景砷化镓单晶是种重要的半导体光电子和高速高频用半导体微电子材料,在国际上其产量仅次于硅。工艺是研究开发最早的单晶生长工艺,也是目前生产量最大的工艺,单晶年产量占全世界单晶年产量的年全球的单晶产量约。单晶生长设备及生长过程涉及到物理化学冶金学自动控已经突破,其余技术完全能够实现,项目产品目前已通过权威部门检测和鉴定,鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外,用户中包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户,对该产品用户致反映良好。营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区,拥有水平生产厂房,公司研发基地在北京有研总院。公司在水平生产技术方面处于国际先进水平,公司是国内唯批量生产水平晶片晶片企业。公司成立了由具有多年水平研究开发经验专业人员组成销售队伍......”

5、“.....了解客户需求,比较利于开展工作。同时,由于本项目产品性价比高于国外同类产品,因此在国际上具有强竞争力。目前产品已经进入国际市场,被日本住友电工集团韩国公司等世界知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格,本公司产品能够大量进入该集团,说明本产品极具竞争力。管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理管理队伍,公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高,具有高度凝聚力勇于开拓创新性和丰富管理经验。高素质员工群体现代科学管理方式可靠质量保证体系完美结合,使产品质量得到充分保证。公司在日常生产和管理中,注重提升员工质量意识,在员工头脑中筑起了质量保证长城。公司质量控制管理体系严格按照施行,公司已于年通过该认证。公司按照建立现代企业制度要求,制定了整套完备管理制度,包括人事管理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与精神奖励相结合,奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合......”

6、“.....自公司成立以来,凭借自身雄厚实力和良好管理体制,在国内外用户中树立了良好形象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度公室主任院长助理。长期从事电池材料与有色金属冶金工作,取得多项国家和部级成果。其中锂离子电池及其电池材料研究及产业化获中国有色工业科技进步等奖黄金洞金矿浮选工艺优化研究与应用获国家经贸委科技进步等奖。发表论文近篇,获专利项......”

7、“.....兼任中国稀有金属学会钛锆铪学会主任,中国电池工业协会常务理事,北京金属学会理事,美国电子电器工程师协会高级会员。技术负责人郑安生,公司总经理,男,年月出生,中共党员,年毕业于兰州大学,材料科学硕士学位同年来北京有色金属研究总院工作至今。历任研究专题组长国家半导体材料工程研究中心主任助理副主任,现任国瑞电子材料有限责任公司总经理国家半导体材料工程研究中心副主任,兼任中国电子材料行业协会光电子分会副理事长国家科学技术部秘密技术审查专家。年被聘为教授级高级工程师。具有系统坚实专业理论知识和跟踪本专业国内外科技发展前沿能力,对ⅢⅤ族化合物半导体单晶材料制备有较深入研究和独到见解,在国内同行中有较高知名度。掌握英日两种外语,能熟练运用英语进行读写听说。具备主持国家重点科研项目全过程能力。年以来先后主持国家高技术研究项目两项,九五国家科技攻关项目项,国防科工委重大军工项目两项,国家工程研究中心项目项,国家高技术产业化示范工程水平砷化镓单晶片产业化项等......”

8、“.....所述示范工程项目已被评为年度有色金属工业科技进步等奖,已申报国家科技进步奖。历年来,在国内外学术刊物发表论文余篇,出版专著半导体材料,化学工业出版社,部,为相关工具书撰写词条译著等约万字。郑总具有多年经营管理经验,对企业发展和市场把握有着敏锐眼光和长远战略,公司在他带领下,通过质量管理体系认证,企业获得河北省高新技术企业证书,产品获得高新技术产品证书,国瑞公司近几年销售收入总资产出口创汇呈现迅猛增长,年公司出口创汇万美元,占公司销售收入多。企业新产品研发能力及内部管理体系研发能力强是本单位固有优势,企业前身是北京有色金属研究总院化合物半导体材料研究室。成立于年,从成立之日起就开始水平单晶研究,年底研制成功国内第根水平单晶,先后承担多项国家科技攻关项目和军工配套项目,取得国家及部级科研成果项,这些成果均达到国际上同类产品技术水平或填补国内空白。年原国家计委选定北京有研总院组建国家半导体材料工程研究中心,作为国家半导体材料工程化研发基地......”

9、“.....年在国内首次拉制重,加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台供应设备线切割机等生产设备,各种辅助设施齐全,原材料主要来自国内,供应渠道稳定,具备进步产业化基础。第八章项目实施进度计划第阶段进步稳定完善现有工艺技术,适当扩大生产规模。使单晶生长长度由目前增加到。加强对现有员工和新员工技术培训,完成质量体系复审认证。第二阶段在进步综合优化现有工艺技术基础上,使单晶成品率由现在增加到。。使单晶成品率由现在增加到。以进步提高产品性价比从而增强其竞争力。第三阶段整理各种资料,作好项目技术总结报请项目验收。动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中石英舟中进行,因此首先要解决是石英舟与熔体粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标......”

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