1、“.....这就需要用过滤好的大量高纯氮气进行吹扫，以去除管道内壁的和颗粒。吹扫流速必须大于倍的设计流速。整个气体管线的安装必须洁净，特别是死角。在清洁过程中，应当按照气流的顺序逐打开阀门。彩色标志每条管道都应当根据管道内的介质用确定的颜色进行标示。进度控制安全声明管道现场必须分为洁净场地和普通场地，材料应当按照相同的原则放在相应的地点为了保持管道工作场地的清洁，有专人负责清理场地和管理火源管材的包装只能在使用前才能拆除未拆除包装的管材......”。

2、“.....应当用干净的酒精清洗在洁净室内工作，每个人都应当遵守用户的工作规程在管道工作中，实用明火应当首先得到用户的许可。在工作现场应当有防火设备在管道工作中尽可能保持环境清洁并考虑他人的要求尽可能在洁净环境下进行管道工作。组织程序来料制造运输前的,设备制造现场设备认证过程售后服务计划保质期组织培训设备,备件,条件......”。

3、“.....漏，及每日功能紊乱的元件。检查是否工艺气体或者吹扫气体每日压力读数是否超出量程，或者与以前比较有较大的变化。压力传感器或压力开关,阀门及调压阀门圈隔膜阀门,过滤器单向阀门猪尾巴连接都能够通过检查达到设计要求。这些测试包括压力测试氦气测漏颗粒水气和其他特气系统测试。所有的测试都将记入报告。产品认证供气的时候使用。系统移交每个系统的移交都分为两步进行，分为预接收和最终接收报告......”。

4、“.....安装程序此程序适用于所有超高纯气体现场和洁净室工作。该程序涵盖以下范围特气输送系统气源，例如气罐，气柜和阀组箱使用点的阀门到设备的连接。项目经理安装工程师和合同监理员负责执行这些程序。描述程序描述了安装过程中的各种工作内容程序手册与安装过程中的各个步骤紧密相连包括处理材料切割对口配件焊接焊接副本和安装与元件在安装过程中必须时刻注意减少污染和避免把材料暴露在环境中安装程序强调现场焊接中的预防措施和实用性，例如对吹焊接......”。

5、“.....是在安装和焊接过程中连续进行检查二是设计验收检查和认证系统是否达到设计要求及相关的技术参数。工程中此程序适用于所有超高纯气体现场和洁净室工作。该程序涵盖以下范围特气输送系统气源，例如气柜认证项目程序派设计及机械工程师和程序工程师到现场调试。机械工程师和程序工程师支持气体供应系统的调试。项目管理程序质量健康及安全设计管理结束二次配管工程二次配管工程由上海兄弟微电子有限公司完成。上海兄弟公司提供所有二次配管的管到材料......”。

6、“.....为了减少这些颗粒的产生，采取如下措施高纯管路采用电抛光的不锈钢管全自动对焊采用电抛光的不锈钢膜阀和管件最小死区高水平的管线系统设计将死区降低到最小尽可能减少管道的长度减少弯管尽可能减少死头选用死区小的阀门压力传感器等。无泄漏采用如下措施降低观点泄漏的可能性全自动对焊减少连接使用高质量的组件。例如，过滤器阀门配件等。最小的管壁吸附通过采用如下措施......”。

7、“.....例如最少使用金属过滤器等将管材和元件保存在干燥环境中，避免直接暴露在空气中。气体输送管道系统质量和成本本建议书根据标准制作根据项目的要求制定进度表主要管路是根据项目的实际消耗进行设计的根据各种不同气体的纯度选用管线以降低造价。原件的选择与管线标准相同材料经过检验或者项目的检查。工程实施管理结构图为了保证项目的工程质量和管道安装进度......”。

8、“.....安全管理管道安装质量控制进度控制项目经理设备介绍焊接前准备切管机表面处理去毛刺机,弯管分析仪器氦检测仪，压力泄漏检测和压力调节其他气源设备。安装准备管线设计管材的尺寸是根据流量流速和压力进行设计挑选的。充分考虑到操作安全维护方便和热胀冷缩的影响，管线应当尽可能短减少焊接点并减少弯头。管材为了保证管道工程的质量和安全，精心挑选管材为安装做好准备，例如在开始安装前检查管材的尺寸元件和附件......”。

9、“.....充分理解设计安装准备进行现场勘察设备检查和管架预制预制将尽最大努力采用预制成品率配件连接管线和元件的连接，例如面板阀组软管的配件连接安装后工作管道内壁的清洗和吹扫管道检验管道检查表面压力和测漏移交文件包括采样纪录安装记录和移交报告。质量控制计划的气体输送系统质量计划......”。