1、“.....有效地降低各类零部件的机械磨损化学腐蚀和高温氧化倾向，提高各种刀具工具等耐磨性能可靠性，延长其使用寿命。近几年的研究证明，与已经取得广泛应用的镀层相比，硬质镀层除了有更高的硬度更低的内应力更好的韧性和耐磨性更易厚膜化外，还具有比更好的耐腐蚀性和干式切削性，而且在体系里可到极高的沉积速率。另外，其工艺较易控制，有利于大批量的工业生产更加具有实际意义，因此，镀层是最有希望的替代材料之......”。

2、“.....阐述了各技术的特点及其优缺点。首先对及其相关技术的发展情况进行了简介，再对技术在硬质镀层领域的应用进行了详述，最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结，同时本文对硬质镀层技术在我国未来的发展提出了展望。关键词硬质镀层化学气相沉积物理气相沉积硬质镀层洛阳理工学院毕业设计论文技术越来越受到青睐。洛阳理工学院毕业设计论文第章物理气，技术普遍存在着不易工业化放大的难题。该法般使用挥发性过渡金属卤化物作为前驱体......”。

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7、“.....硬质薄膜制备,技术和的相关发展进行介绍。洛阳理工学院毕业设计论文第章化学气相沉积技术化学气相沉积,是种热化学反应过程，是在特定的温度和经过特别处理的基体包括硬质合金和工具钢材质表面所进行的气态化学反应。技术常常通过反应类型或者压力来分类，包括低压常压等离子体增强以及和等......”。

8、“.....之后便广泛应用于等硬质薄膜的制备。近年来技术已经取得了重要的技术进展，尤其是技术的发展，如的离子加强化学气相沉积制膜设备，使得温度低于的情况下沉积极端光滑的无定形类金刚石，薄膜成为了可能，薄膜具有极低的摩擦系数非电导性并且具有化学惰性，主要的应用领域包括发动机部件和机械零件由北京有色金属研究院开发的具有自主知识产权，利用射频等离子体增强技术制备磷化硼硬质薄膜，该薄膜成分均匀应力小与工件的附着力良好......”。

9、“.....然而，技术普遍存在着不易工业化放大的难题。该法般使用挥发性过渡金属卤化物作为前驱体，这类物质不但会污染环境，而且也腐蚀制膜设备的真空系统。前驱体性能不稳定制造困难且类别较少也限制了方法的应用。此外，大多数技术工艺温度较高，容易导致基体力学性能降低及零件变形。由于技术存在着上述不足，硬质薄膜的另类制备方法物理气相沉积技术越来越受到青睐。洛阳理工学院毕业设计论文第章物理气相沉积技术物理气相沉积......”。