1、“.....研究了在不同氧气流量时,薄膜的结构组成形态光学性能和机械性能,最终的流量达到了。 经研究发现的流量是提高。 在。 ,硬度仍然在增加,超出后,薄膜开始变软,并且在会降至。 显然,硬度的改变非常接近在式样中观察的。 这表明硬度是由薄膜的结构确定而非特性确定其硬度......”。
2、“..... 薄膜的机械性能作为流量方程显示在图,其值平均至少出现了次,微硬度和是依赖于氧气流量。 当流量由增加到,硬度几乎维持为,再增加流量会导致硬度急速提硬度通过卸载数据所构成能量方程来表现。 薄膜的机械性能作为流量方程显示在图,其值平均至少出现了次......”。
3、“..... 当流量由增加到,硬度几乎维持为,再增加流量会导致硬度急速提高。 在。 ,硬度仍然在增加,超出后,薄膜开始变软,并且在会降至。 显然,硬度的改变非常接近在式样中观察的。 这表明硬度是由薄膜的结构确定而非特性确定其硬度,这与的报告结果不致......”。
4、“.....研究了在不同氧气流量时,薄膜的结构组成形态光学性能和机械性能,最终的流量达到了。 经研究发现的流量是薄膜结构组成特性的重要参数。 随着流量的增加,薄膜的结构由无定型到不同氧化率的单晶体再到无定型随着原子比的增加,原子由低氧化率到......”。
5、“..... 中北大学届本科毕业设计说明书第页共页结论通过过滤阴极真空电弧镀膜技术制备薄膜,研究了在不同氧气流量时,薄膜的结构组成形态光学性能和机械性能,最终的流量达到了。 经研究发现的流量是薄膜结构组成特性的重要参数。 随着流量的增加......”。
6、“.....原子由低氧化率到。 这种与氧气流量有关的结构趋势会导致薄膜组成的改变并且决定表面形态和薄膜的机械性能。 中北大学届本科毕业设计说明书第页共页•◦,◦,◦◦弯曲处出现更宽的高峰。 结构的不同反应出流量在薄膜结构形成中扮演了很重要的角色。 正在定流量范围内薄膜保持在多晶体状态......”。
7、“..... 化学组成和化学状态通过典型的光谱测量可以得到由光电离子及和转变达到高峰,在与空气接触后的抽样中经过观察是主要表面组成部分。 在和处出现两个高峰。 图中可看到常态的元素和由测得的局部光谱。 频谱非常接近标准单晶体的。 两个高峰,和时的能量分别为和,非常接近在中标准,并且是对称的......”。
8、“..... 他们的强度比率和导致旋转轨道在和的能量间隔和其他研究是致的。 个不对称的高峰能分解为的能量和的,与报告中的那些类似。 相比之下,薄膜沉积速率很低时,例如,光谱是以种方式不同的而中北大学届本科毕业设计说明书第页共页频率是十分类似的。 出现较低能量接近其边缘,有形式为氧化物存在......”。
9、“..... 氧化程度的不同也被表明,薄膜中和的原子比率可由它们在峰值区域的灵敏度算出。 的是个小片段所以高峰不能被确定。 正如预料,比增加可导致更多氧化。 可看到在薄膜沉积速率为时,比为接近原子比为,在及起以上,薄膜表面形态五表现了在时典型的薄膜。 在薄膜表面......”。
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