1、“.....扩散结深的小氮的气体流量升高了推进时的工艺温度增加了推进工艺时间,并在高温推结后增加了后氧化。硼扩散工艺完成后两组样片在相同的工艺条件下完成背场的掺杂,正背面的钝化和印刷烧结,制成双面电池,测试电性能和量子效率。分别采用浓度和结深使用测试仪测试,和使用测试仪的模块测试,量子效率采用美国颐光的量子效率测试仪测试。基于液态源的硼扩散工艺优化研究原稿。实验设计图低压硼扩散工艺基步降低了掺杂的表面浓度。硼扩散工艺优化后,方块电阻为,相比原工艺有的提升。另外,硼原子在硅中的扩散系数较低。需要较高的温度和较长的时间来获得合适的掺杂曲线。因此,对硼扩散工艺进行研究和开发,适应型晶硅电池生产的基于液态源的硼扩散工艺优化研究原稿比表从表中可以看出,硼扩散工艺经过优化后,制成成品电池的电性能有明显的提升。电池的开路电压有的提升,短路电流有的提升......”。

2、“.....串联电阻有高,填充因子略有下降,最终的转换效率有的提升。基于液需要,对提高电池的转换效率和型高效电池的推广具有重要意义。实验过程实验原材料及设备实验采用规格的型硅片,电阻率范围,少子寿命。硼扩散设备采用管式的低压硼扩散炉,方块电阻的测试采用美国的探针测试仪,表面硅片的少子寿命,电池反向饱和电流较高,最终影响电池的效率。表面浓度的降低,尤其是后氧化步骤的增加,将会避免富硼层的形成,有利于硅片少子寿命的提高和电池反向饱和电流的降低。硼扩散工艺优化前后电池电性能对比表两组实验的电性能流量升高了推进时的工艺温度增加了推进工艺时间,并在高温推结后增加了后氧化。硼扩散工艺完成后两组样片在相同的工艺条件下完成背场的掺杂,正背面的钝化和印刷烧结,制成双面电池,测试电性能和量子效率。分别采用种工艺制备以看出......”。

3、“.....由于硼扩散工艺的优化,使表面掺杂浓度,降低了前表面的复合速率,从而使电池的量子效率在短波段内有较明显的提升。实验设计图低压硼扩散工艺基本流程图硼双面硼扩散样片,去除后,双面沉积钝化层,形成双面对称结构,测试和。另外,硼原子在硅中的扩散系数较低。需要较高的温度和较长的时间来获得合适的掺杂曲线。因此,对硼扩散工艺进行研究和开发,适应型晶硅电池生产的表面掺杂浓度的降低,可有效降低富硼层的产生几率,减少表面的载流子复合速率,对于型电池的硼扩散发射结,在金属化的过程中,为了形成良好的金属接触,在浆料中增加少量的,但是会造成金属接触区的载流子复合增加,扩散结深的缺陷,严重影响了硅片的少子寿命,电池反向饱和电流较高,最终影响电池的效率。表面浓度的降低,尤其是后氧化步骤的增加,将会避免富硼层的形成......”。

4、“.....硼扩散工艺优化前后电池电性能对比表。制成型双面电池后,电池的开路电压有的提升,最终的转换效率有的提升。关键词硼扩散方块电池表面浓度转换效率引言提高转换效率降低生产成本是太阳能电池技术发展的两个主要目标,其中通过工艺技术的提升实现转换效浓度和结深使用测试仪测试,和使用测试仪的模块测试,量子效率采用美国颐光的量子效率测试仪测试。高温推结后增加的后氧化步骤,使表面富集的硼原子发生氧化反应,形成硼硅玻璃,双面硼扩散样片,去除后,双面沉积钝化层,形成双面对称结构,测试和。另外,硼原子在硅中的扩散系数较低。需要较高的温度和较长的时间来获得合适的掺杂曲线。因此,对硼扩散工艺进行研究和开发,适应型晶硅电池生产的比表从表中可以看出,硼扩散工艺经过优化后,制成成品电池的电性能有明显的提升......”。

5、“.....短路电流有的提升,但是由于方块电阻的升高,串联电阻有高,填充因子略有下降,最终的转换效率有的提升。基于液散工艺的优化,使表面掺杂浓度,降低了前表面的复合速率,从而使电池的量子效率在短波段内有较明显的提升。当硼扩散表面掺杂浓度过高时,易在表面形成层很薄的富硼层,由于这层硼原子没有活性,并且会导致该部分晶体结构缺陷,严重影响了基于液态源的硼扩散工艺优化研究原稿两组实验的电性能对比表从表中可以看出,硼扩散工艺经过优化后,制成成品电池的电性能有明显的提升。电池的开路电压有的提升,短路电流有的提升,但是由于方块电阻的升高,串联电阻有高,填充因子略有下降,最终的转换效率有的提比表从表中可以看出,硼扩散工艺经过优化后,制成成品电池的电性能有明显的提升。电池的开路电压有的提升,短路电流有的提升,但是由于方块电阻的升高,串联电阻有高......”。

6、“.....最终的转换效率有的提升。基于液金属杂质的不敏感,对金属污染的容忍度要高型电池的温度系数较低。基于以上的优势,型电池的研究和生产引起行业关注。当硼扩散表面掺杂浓度过高时,易在表面形成层很薄的富硼层,由于这层硼原子没有活性,并且会导致该部分晶体结构型电池的硼扩散发射结,在金属化的过程中,为了形成良好的金属接触,在浆料中增加少量的,但是会造成金属接触区的载流子复合增加,扩散结深的增加可有效改善这种情况。因此,表面浓度的降低和结深的增加使电池的开路电压和短路电率的提高更是重中之重。近年来,由于型电池表现出明显的效率优势和潜能,并且型电池具有以下优点型硅片的少子寿命长,相同电阻率型硅片的少子寿命比型硅片高出个数量级磷掺杂的型硅片没有复合体,无光致衰减型硅片双面硼扩散样片,去除后,双面沉积钝化层,形成双面对称结构,测试和。另外......”。

7、“.....需要较高的温度和较长的时间来获得合适的掺杂曲线。因此,对硼扩散工艺进行研究和开发,适应型晶硅电池生产的态源的硼扩散工艺优化研究原稿。摘要本文通过对硼扩散过程中源量推进温度和时间以及后氧化的优化,研究了其对掺杂表面浓度和结深的影响。优化后的硼扩散工艺,双面对称结构测试由升高到由降低至硅片的少子寿命,电池反向饱和电流较高,最终影响电池的效率。表面浓度的降低,尤其是后氧化步骤的增加,将会避免富硼层的形成,有利于硅片少子寿命的提高和电池反向饱和电流的降低。硼扩散工艺优化前后电池电性能对比表两组实验的电性能的增加可有效改善这种情况。因此,表面浓度的降低和结深的增加使电池的开路电压和短路电流都有较明显的提升。串联电阻的升高主要是由于方块电阻的升高导致横向电阻提升所引起......”。

8、“.....串联电阻的升高主要是由于方块电阻的升高导致横向电阻提升所引起。量子效率分析图内量子效率测试图从电池的量子效率测试结果可以看出,硼扩散工艺优化后制成的电池在以下的短波段明显优于原有的扩散工艺。由于硼扩基于液态源的硼扩散工艺优化研究原稿比表从表中可以看出,硼扩散工艺经过优化后,制成成品电池的电性能有明显的提升。电池的开路电压有的提升,短路电流有的提升,但是由于方块电阻的升高,串联电阻有高,填充因子略有下降,最终的转换效率有的提升。基于液种工艺制备双面硼扩散样片,去除后,双面沉积钝化层,形成双面对称结构,测试和。基于液态源的硼扩散工艺优化研究原稿。表面掺杂浓度的降低,可有效降低富硼层的产生几率,减少表面的载流子复合速率,对于硅片的少子寿命,电池反向饱和电流较高,最终影响电池的效率。表面浓度的降低......”。

9、“.....将会避免富硼层的形成,有利于硅片少子寿命的提高和电池反向饱和电流的降低。硼扩散工艺优化前后电池电性能对比表两组实验的电性能流程图硼扩散工艺的掺杂曲线低压硼扩散的基本工艺流程如上图所示,实验共分为两组,组为目前已成熟的硼扩散工艺作为基准组,工艺后的方块电阻在,均匀性测试标准偏差为。另组为优化的硼扩散工艺,相比基准工艺主要是减小了需要,对提高电池的转换效率和型高效电池的推广具有重要意义。实验过程实验原材料及设备实验采用规格的型硅片,电阻率范围,少子寿命。硼扩散设备采用管式的低压硼扩散炉,方块电阻的测试采用美国的探针测试仪,表面浓度和结深使用测试仪测试,和使用测试仪的模块测试,量子效率采用美国颐光的量子效率测试仪测试。高温推结后增加的后氧化步骤,使表面富集的硼原子发生氧化反应,形成硼硅玻璃,双面硼扩散样片,去除后,双面沉积钝化层......”。