《(终稿)水平砷化镓单晶材料产业化项目投资论证项目书(送审)》修改意见稿
1、“.....反应基本停止,从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉设计,各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉相对移动速度是另个重要技术参数因为熔体结晶快慢与结晶潜热产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大......”。
2、“.....固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂概述项目提出背景技术开发状况现有产业规模项目产品的主要用途性能投资的必要性预期经济效益行了该产品研究开发工作,目前该产品技术已基本成熟,关键问题已经解决,产品于年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为该项目技术产品质量均达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。随着在各个应用领域用量大幅度增长,本项目产品市场越来越广阔。为进步满足不断增长国内外市场对该产品需求,本企业计划投资扩大生产规模,增加产量,提高市场占有率,实现产品产业化。预期经济效益本项目年达产,达产期年销售收入万元,年净利润万元,上缴利税万元,利税率达到。本企业实施该项目优势技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半导体材料研究室,从年就开始水平单晶研究,已有多年研究开发经验......”。
3、“.....这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。该项目技术路线设计合理,关键技术已经突破,其余技术完全能够实现,项目产品目前已通过权威部门检测和鉴定,鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外,用户中包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户,对该产品用户致反映良好。营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区,拥有水平生产厂房,公司研发基地在北京有研总院。公司在水平生产技术方面处于国际先进水平,公司是国内唯批量生产水平晶片晶片企业。公司成立了由具有多年水平研究开发经验专业人员组成销售队伍,这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标,了解客户需求,比较利于开展工作。同时,由于本项目产品性价比高于国外同类产品,因此在国际上具有强竞争力。目前产品已经进入国际市场,被日本住友电工集团韩国公司等世界知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格......”。
4、“.....说明本产品极具竞争力。管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理管理队伍,公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高,具有高度凝聚力勇于开拓创新性和丰富管理经验。高素质员工群体现代科学管理方式可靠质量保证体系完美结合,使产品质量得到充分保证。公司在日常生产和管理中,注重提升员工质量意识,在员工头脑中筑起了质量保证长城。公司质量控制管理体系严格按照施行,公司已于年通过该认证。公司按照建立现代企业制度要求,制定了整套完备管理制度,包括人事管理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与精神奖励相结合,奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合,短期激励与长期激励相结合综合激励方式。自公司成立以来,凭借自身雄厚实力和舟不粘接,单晶生长完成后,单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置,提高晶片纵向均匀性,有利于提高成品率......”。
5、“.....只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶,公司技术人员经过反复实验比较不断优化,设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单晶,备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需温度分布,又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染机理是在合成和晶体生长中,高温区发生熔体中与石英反应分别表示液固气相。反应使进入,反应使部分与反应生成气相逸出,二者差值,造成中并入。高温区气相扩散到中温区发生如下反应反应消耗了,使反应向右继续进行,加剧了向中并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基本停止......”。
6、“.....我们对多段炉设计,各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉相对移动速度是另个重要技术参数因为熔体结晶快慢与结晶潜热产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度......”。
7、“.....如研发基地,加快了单晶材料产业化步伐。年在国内首次拉制重,加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线,年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备......”。
8、“.....主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用,资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本,科学管理,追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系,使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本......”。
9、“.....年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,并于同年通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平,具备进步扩大生产规模技术条件。本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,目前本产品成功进入世界上最大水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司产品。国内中科镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场,产品市场销售网络已经形成。企业现有生产场面积约平方米,建有生产车间生产车间加工车间,拥有砷化镓单晶炉纯水供应设备线切割机等生产设备,各种辅助设施齐全,原材料主要来自国内,供应渠道稳定,具备进步产业化基础。第八章项目实施进度计划第阶段进步稳定完善现有工艺技术,适当扩大生产规模。使单晶生长长度由目前增加到......”。
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