1、“.....大量的实验数据，在同个样本的不同点上，使我们可以对几个效果进行重要的统计分析。在测量的大多数，我们观察在个强场里的可再生的场发射饱和电流，这是用改进的富勒诺德海姆模型形成的串联电阻来解释。发射的稳定性，放射的响应以及在技术方面有关的应用都会在本文中加以讨论。碳纳米管产品测量装置，严重影响整个系统的运动性能。氧化铝基片与支持样品台的三个半球蓝宝石之间长期摩擦，影响了其摩擦系数，使得难以趋近于实验初设想的理想运动。由于该惯性式步进器运动过程中存在双轴方向的角度偏摆，当频率较高驱动信号幅值较大时，偏摆现象较明显，影响激光干涉仪的正常测量。综上所述，为达到该惯性式步进器理想的运动性能，应保证控制波形的不失真，压电陶瓷在较高频率驱动下动态性能良好，惯性运动单元具有最佳摩擦系数，并选取合适驱动频率......”。

2、“.....为了使中的定位机构能够在超高真空环境下实现大量程，快速的移动样品，本课题将采用惯性式压电步进器来实现样品的面内定位。为使得该定位机构于各种体积环境下能够正常工作，就要求定位机构的体积小巧简洁灵活而且精度达到要求。另外，系统结构总体质量的最小化有利于保证隔振效果，减小显微镜扫描过程中的噪声。因此，步进器的微位移工作台，就要求精简并具有定的精度。微位移工作台简化结构分析是当前使用最广泛，功能最强大的有限元软件。软件主要包括三个部分前处理模块，分析计算模块和后处理模块。前处理模块提供了个强大的实体建模及网格划分工具，用户可以方便地构造有限元模型分析计算模块包括结构分析可进行线性分析非线性分析和高度非线性分析流体动力学分析电磁场分析声场分析压电分析以及多物理场的耦合分析，可模拟多种物理介质的相互作用......”。

3、“.....也可将计算结果以图表曲线形式显示或输出。软件提供了种以上的单元类型，用来模拟工程中的各种结构和材料。由上述可见，相比于常用的等软件，利用软件更有利于微位移工作台简化结构的模拟仿真，有利于研究其运动性能。利用进行有限元分析的基本流程为，实体建模网格划分加载求解后处理。图实体建模实体建模。实体建模是有限元分析中个十分重要的步骤，模型的好坏与否与能否正确求解有很大关系。正确的模型是正确求解的保证。实体建模方法有两种，是自底而上，是自定而下。掌握的坐标系及其操作工作平面及其操作实体模型和相关操作以及布尔运算。构建微位移工作台简化结构模型，如图网格划分与创建有限元模型。网格划分的优劣直接决定了有限元计算结果的正确与否......”。

4、“.....如图。图网格划分加载求解。将最外层四个面自由度约束为，即将结构模型固定。给压电陶瓷接触的端面施加个向的位移载荷，并给微位移工作台中心处施加个向的面载荷，大小可设置为，模拟惯性元件对微位移工作台的压力。后处理。将形变的显示尺寸放大为真实尺寸的倍。并绘制变形图。如图。经计算，发现微位移工作台的位移量等于加载的位移量，这表明，该简化机构的位移量等于压电陶瓷的形变量。从而在定程度上，减小了原有为微位移工作台的体积。图图形显示计算结果微位移工作台的限位装置如图为与晶体粘合的小平台，其下端与微位移工作台相连。，由于该小平台的面积有限，惯性元件在上面惯性滑动的范围是有限的。二，惯性元件在氧化铝薄膜上滑动，如果其运动范围过大，其重心偏离过远，影响惯性式压电步进器的运动性能。因此......”。

5、“.....图与晶体粘合的小平台初步构想运用变极距型电容式传感器，将电容极板的端装在惯性元件上，另端安装于该轴向上的限位板上。当惯性元件随微位移工作台起运动时，两极板的间距也随之改变，两极板间的电压也随之变化，并采集这个电压信号，经过转换成数字信号传送给机。当惯性元件运动超出定范围时，即惯性元件离限位板的距离过远或者过近时，两极板间的电压值都将超出定范围。将这个范围的上下限值设定为阀值，定位过程中，当采集到的电压信号超过阀值，则机及时发出停止命令，而在整个扫描工作完成后，当采集到的电压信号超过阀值时，机则发出复位命令，复位驱动位移为相对极板限定的阈值距离的半，从而保证整个惯性步进电机能够持续正常工作。如图。图电容传感器限位装置第六章总结与展望本文通过对微位移机构的国内外发展概况惯性式步进器的国内外发展概况进行调研分析，通过对压电陶瓷柔性铰链的理论学习研究......”。

6、“.....以及对惯性式压电步进器运动性能进行测试，并在测试的过程中，对系统部分提出改进。论文的主要工作或结论如下论文对相关资料进行调研学习，了解掌握目前实验中已有的惯性式步进器的工作原理设计原理，及其中重要的部件的性能特点作用，调研学习压电陶瓷柔性铰链的理论知识。对该惯性式压电步进器控制系统进行总体设计。其中包括系统总体框图功放电路的调试数据采集卡的运用驱动波形的设计程序的编辑等等。学习软件，对该微位移工作台进行简单的简化。并通过的仿真功能，初步验证该简化结构是否符合要求。对惯性式压电步进器的运动性能测试。其中包括测试系统的搭建，激光干涉仪的使用，实验方法的掌握，以及实验操作与数据采集处理。由于时间和实验条件的相对限制，本课题尚有不少待解决的问题。根据目前的实验进展和积累的经验，有如下建议通过数据采集卡与功放电路传递给压电陶瓷两端的时序控制信号......”。

7、“.....与理论上的驱动波形有偏差，但是这点偏差极大影响了这个系统的运动性能。所以对于系统中的放大系数为倍或倍的放大电路就提出了较高的要求。惯性元件在微位移工作台上滑动，其间的摩擦系数，需要进步确定，只有当这个摩擦系数接近最佳值时，步进器系统的运动性能才会接近理想状态。微位移工作台，理论上应当可以进步简化结构，使其体积小巧灵活，而且还不失微米级精度。还需要进步测试其运动性能，优化其驱动波形。例如其在运动过程中双轴方向的角度偏摆问题。参考文献陈成钧著，华中，朱昂如，金晓峰译扫描隧道显微学引论北京中国轻工业出版社，年研制成功我国第台光子扫描隧道显微镜辽宁年鉴,李庆祥，王东生，李玉和现代精密仪器设计北京清华大学出版社桑武斌二维超精工件台及其控制系统的研究，,,压电元件驱动器的电流限制，压电元件的上限驱动频率为。在被测频率范围内，幅值与相位保持不变。表表图显示的是压电元件的滞后回线......”。

8、“.....图显示的是电荷放大器输出量与位移量之间的关系。该图中的压电元件驱动频率为。由于电荷放大器的输出量是在稳态下测量，所以平均输出量为。对于施加电压的位移迟滞在图中很明显。表显示的是压电元件对于施加电压或者对于电荷放大器输出量的迟滞。位移对施加电压的迟滞为最大幅值的。但是，同状况下，位移对电荷放大器输出量的迟滞只有。表显示的是位移对于施加电压或者对于电荷放大器输出量的比例关系。当电压在最大幅值与最小幅值之间时，位移对施加电压的比值有所不同，为，位移对电荷放大器的输出量的比值为。在别的频率下，这种趋势依然明显。瞬态响应图表图显示的是当施加的阶跃电压时的压电元件瞬态响应。在此状况下，稳态位移与电荷放大器输出量分别为。电荷放大器的输出波形与位移波形相同。压电元件的传递函数如下其中是压电元件的谐振频率，是静态位移量与压电元件上的施加电压的比值。如表中......”。

9、“.....的值而改变。表显示了固有频率与阻尼系数。尽管它们的固有频率相同，但是由于检测电极上电线的阻抗，电荷放大器输出量的阻尼系数大于位移量的阻尼系数。图中，位移与电荷放大器输出量的相关系数为因此，压电元件的位移量能够通过感应电荷来测量。位移控制图图为该位移控制系统的框图。图为该系统的开环控制。根据静态位移量与施加电压的比例关系，提供阶跃电压信号进行开环控制。图为位移反馈控制系统。图为感应电荷反馈控制系统。电荷放大器与电容相连。在阶跃输入下，当检测电极间的电压信号可用示波器测得输入阻抗为时，该系统的时间常数为。因此，与检测电极相连的电容的值包括寄生电容近似为。在该感应电荷反馈系统中，位移传感器不能用于反馈控制。由于该控制器的最短采样时间为，如图所示，在位移控制情况下，个截止频率为的低通滤波器优于级联下的压电元件驱动器。般地，多层压电元件的传递函数表示为如式的二阶系统......”。