1、“.....重要的是要选择适当的进给速率和气流比例。图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图磨削的限制条件当的进给速率和深度保持不变，实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。从图中可以很明显看出，表面粗糙度有所改善，但车轮磨损相应地正比比例增加。磨削系统开发和实验开展提供了个实际应用的解决方案的过程。通过选择适当加工和电解条件，在上，表面光洁度很容易实现。图是微距镜头在玻璃棒加工的个例子。使用磨削完成硅片纳米表面的精加工将抛光技术用于半导体材料，化学机械抛光有许多优点和些严重的缺点。和这样的柔性和脆性材料用技术可以得到很高效的磨光。然而，这过程相应出现些缺点，比如......”。

2、“.....非均匀晶片表面由于晶片的背压的变化而变化，以及相对整个晶圆表面切削速度的变化，参与这个过程成本相对较高。另方面，磨削过程相对过程有些重要的优势，是磨削过程取代的抛光方法的潜在优势。超越的下显著优势是由于去除率高效率高，整个晶片的表面均匀，参与这个过程的成本较低。图加工气流条件的影响图通过磨削球形显微镜头直径作者已经进行的实验用该磨削过程的整体性能来比较涉及工艺的过程。该磨削操作上进行了计算机数字控制加工中心图。在最佳工艺条件，通过观察确定被选定与磨削各种参数，然后在适当的条件的影响获得更好的结果。在磨削参数的晶圆加工如下进给速度毫米分钟，砂轮粒度粒度，主轴转速的转速，切削深度为纳米，电源电压......”。

3、“.....编号毕业设计论文外文翻译译文题目基于工具的纳米精加工和显微机械加工学院机电工程学院专业机械设计制造及其自动化学生姓名唐朋学号指导教师单位桂林电子科技大学姓名彭晓楠职称副教授题目类型理论研究实验研究工程设计工程技术研究软件开发年月日基于工具的纳米精加工和显微机械加工∗，机械工程系，新加坡国立大学，肯特岗坊，新加坡，新加坡摘要越来越多的工业产品不仅需要增加功能的数量，而且要减小尺寸规格。精密加工是这样的小型零部件的生产最基本的技术。自从以小型技术的工业产品为发展趋势以来，在当今的制造业，精密加工扮演越来越来重要的角色。以微投影为基础的显微加工并不像基于工具的显微加工技术有那么多的缺点，比如，车削研磨......”。

4、“.....比如，生产力效率灵活性和成本效率。然而，困难是作为加工单位减少，尚未利用基于工具加工的精密加工技术解决。然而，当传统的机械加工部件减少时，难题是只有当基于工具的机械加工的显微机械加工技术出现时，问题才可以解决。在这篇文章中，讲述了基于工具微加工的些重要领域的最新成果。摘要介绍了基于工具微加工的些重要领域最近的成就。介绍了电解敷料过程，为了在硬脆性材料上完成纳米表面，单点金刚石工具磨削和超精密加工是两种应用最广泛的生产技术。最近这些技术也在应用硅晶片的新代纳米表面硅晶圆，希望能够替代当前的电流技术，化学机械抛光过程。微电流放电加工和微车削技术被广泛用于生产小型部件和功能。通常进行混合加工时有高精度的制造的微成分......”。

5、“.....这种机器最近的发展成就也在本文中讨论。保留所有权利。关键字基于工具的机械加工研磨微型火花机精密车削混合机械加工介绍由于最近超精密机械系统的进步提高了磨削工艺，他用分级更细的沙粒粒度大于，并且还有金属的磨削砂轮，以电解磨削实现了更好的表面光洁度。磨削过程的发展是个简单的技术，可以使用在任何传统的研磨机。，基本的系统包括个含有金刚石的金属砂轮电极电源和电解质。新加坡国立大学开发的系统原理图如图所示。通过应用个刷子和轮轴平滑的联接，将含有金属的磨削砂轮做成阳极，电极做成阴极。在阳极和阴极之间大约有的距离，通过磨削液和电流完成电解。图显示了含有金刚石的金属磨削的机理。修正后，颗粒和粘接材料的砂轮表面是光滑的......”。

6、“.....对轮子的校准是必须的。当预加工开始时，粘结的材料从磨削砂轮中飞出，在轮子表面绝缘层由被氧化的粘结材料组成。绝缘层阻断了轮子表面的导电性，防止过多的粘结材料从轮子中飞出。开始研磨，金刚石颗粒和绝缘层磨损地很严重。结果轮子表面的导电率提高，电解质从新开始工作，同时粘结材料也从磨削砂轮中飞出。磨削砂轮的金刚石突出颗粒因此保持不变。从磨削过程到实现稳定的磨削这个循环往复运行。磨削在光学玻璃纳米精加工中的特点磨削系统已经应用于玻璃的磨削，常见的光学组件的制造材料。通过应用磨削技术，在表面粗糙度方面有个巨大的进步，表面的显微图如图所示。因为直到下个循环准备开始时......”。

7、“.....所以传统的磨削过程产生较差的结果。在磨削技巧的实例中，由于定期的修正，砂轮单位面积上活跃锋利的颗粒保持不变，这会提高表面完整性和表面粗糙度。磨削技术具有减小轮子工作面粘合力的优点，因此提高了易磨性。图磨削的设置图磨削加工过程图比较常规磨削和磨削工件表面的区别图显示了在其他层表面磨削砂轮粒度的影响。在机械加工或预加工的环境下，砂轮颗粒大小对于磨砂玻璃表面的研磨方式的影响很小或者几乎没有影响。实验表明加工环境影响机械加工表面的粗造度图。颗粒被氧化物包裹紧密的结合在起，类似精研磨过程。氧化物支撑金刚石颗粒就像抛光衬垫，粘合材料就像支撑衬垫。当加工流被应用时，氧化层的厚度会增加，研磨剂是疏散的，磨削过程几乎像抛光过程......”。

8、“.....适当增加气流的比例表面粗糙度变好进步，微加工越来越受欢迎。现在有很多致力于制造功能性微观结构和组件的研究。显微机械加工将微影应用在硅基质上是微结构制做过程的关键。然而，由于它本身类似三维的结构，所以在这个过程中有些限制。深射线利用同步加速器发射光线加工。凝聚光线加工制造过程以非常准确的方式产生高比率的三维次微米结构。但是，这些过程的实现需要特殊的设备。最大可实现的厚度是非常小的，。传统材料去除过程，如车削铣削和磨削，也通过引入单点金刚石铣刀或非常细粒度大小的磨轮研究了制造微观结构。这些材料去除过程几乎可以加工制造所有材料，如金属塑料和半导体。加工形状也没有限制，因此，需要移动部件和导向结构的平面，曲率和长轴都可以加工，......”。

9、“.....。为了获得完美的纳米表面和准确作用到脆性材料，普通砂轮与细磨料尺寸是必要的。当用细小的研磨剂研磨时，会遇到砂轮上载荷和装配等问题。减少上述问题，周期性修正是至关重要的，这使得磨削过程非常繁琐。为了为成分的大批量生产，微凸腔体是必须的，这些可以由注塑工艺完成。以控制微米的范围内为目的的的微注射法中，以三维形式加工那些难以加工的工件。对于复杂三维模型的装配，需要用到硬度很大的冲模材料，精密电子束加工是替代机械加工形式的种，已经被成功运用。微型火花机几乎可以加工所有的导电材料，无论材料的硬度有多大......”。