1、“..... 选题的目的与意义近年来，随着微电子技术计算机技术和通信技术的迅速发展电子产品正迅速朝着便携式小型化发向发展，芯片的集成度不断提高，对封装技术也提出更高的要求，特别是引线键合技术提出了特别高的要求单位体积信息的提高高密度化单位时间处理速度的提高高速化。 因此引线键合技术也朝着高度集成化高性能化多引线和细间距化方向发展，高速高精度的需求日益紧迫。 为进步提高质量和生产效率，对该类装备的运动精度和运动速度加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。 这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良，需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。 因此，发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究，是制造装备中的重要研究内容之......”。

2、“..... 西安文理学院本科毕业设计论文第页本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气浮导轨。 定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计，确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计。 其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型。 对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。 最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。 相关研究情况机械部分相关研究情况人针对芯片制造设备设计出了种新型磁悬浮超精密工作台......”。

3、“.....使工作台在方向能满足的定位精度。 致力于用新型的气浮平台代替传统接触式轴承平台，在重量体积和成本基本不变的情况下，获得更高的运动速度和定位精度。 基于无摩擦驱动的概念，制造了静压空气轴承支撑的伺服电机。 等人设计的气浮精密定位平台，加速度达到，定位精度。 采用空气轴承支撑的新型运动平发展具有我国自主知识产权的引线给我留下了美好的回忆。 给了我美好的学习环境，让我提高自身的能力。 感谢我的父母直以来对我的鼓励和支持,谢谢你们的养育之恩,在学习和生活上，他们直都很支持我，使我能全身心地投入到学习中。 感谢同学们给予我的帮助，谢谢你们给我带来的快乐和美好的记忆,感谢所有关心支持和帮助过我的老师和朋友们,再次并表示衷心的感谢......”。

4、“.....本文旨在研究设计种全新的高推重比直接驱动气浮定位平台及其相应的位置伺服控制系统。 通过协调机电系统的多影响参数，使平台在高加速度运动后，快速达到稳定状态。 实现概念设计详细设计仿真实验以及系统的综合性能评估，提供面向芯片封装的高加速度高精度定位平台的单元级和原型级设计方法及关键技术的解决方案。 为了减小定位系统的摩擦力及其扰动，设计了种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。 该平台采用了新型的气浮解耦机构，使音圈电机置于固定支座上，有效地减小了定位平台的运动惯量。 探讨了节流孔直径和导轨间隙对平台承载能力和静刚度的影响规律，得到组优化参数在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析，该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定......”。

5、“..... 关键词气浮支承芯片封装引线键合定位平台目录目录第章绪论选题背景选题的目的与意义本课题主要讨论问题相关研究情况机械部分相关研究情况气浮部分相关研究情况第二章定位平台总体方案设计定位平台机械部分方案确定确定方案思想方案对比分析与确定空气静压导轨的方案设计确定方案思想方案对比分析与确定第三章定位平台气浮导轨的设计轴气浮导轨的设计空气静压导轨的工作原理及特点空气静压导轨气垫的设计计算轴气浮轴承的设计第四章定位平台传动部分的设计定位平台拟采用的研究方案研究方法或措施定位平台结构设计定位平台轴滚珠丝杠型号的确定定位平台轴滚珠丝杠校核定位平台轴电机的确定定位平台轴滚珠丝杠型号的确定第五章其他辅助零件的选择设计定位平台轴承的选择定位平台联轴器的选择第六章检测元件的选择第七章结论参考文献致谢附录......”。

6、“.....工业是当前全球经济发展的高速增长点，也是我国国民经济中最具活力的行业。 目前，随着我国中国芯产业化进程的加快，我国产业正面临着难得的发展机遇和挑战。 芯片封装业作为芯片产业的重要环节，直追随者的发展而发展。 在封装中引线键合是芯片焊接的最主要形式。 引线键合是种利用热压力超生波能量将半导体芯片引脚与电子封装外壳引线或基板上技术布线引脚用金属细丝连接起来的工艺技术。 随着技术的进步和相关行业的发展，高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件，决定键合的速度和质量，进而影响芯片的成本与可靠性。 随着芯片集成度的不断增大，管教数量迅速增多，引线间距日益减小，定位平台的性能已经成为引线键合工艺的发展瓶颈。 由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也好，热稳定性好使用寿命是半永久性的，与液体静压导轨相比......”。

7、“..... 由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。 因此基于气浮支承引线键合定位平台设计既有较大的学术价值，又有广阔的市场前联轴器型号业为。 西安文理学院本科毕业设计论文第页第六章检测元件的选择关于直线位置检测元件的选择，如采用激光器件则成本较高,而感应同步器磁栅又都是利用电磁感应原理。 为防止直线电机电磁场对检测元件的干扰和节约成本,选择光电转换原理工作的光栅尺作为位移和速度的检测装置，由于不需要转换,因此，可提高采样频率和检测精度，构成可靠的伺服控制体系。 如果需要进步提高位置检测的分辨率和精度，可以通过倍频处理来提高分辨率还可以采用软件定点补偿来提高精度,方法是在整个直线位置控制装置安装完毕后,借助于更高级的位置测量装置,如激光干涉仪,进行测量比较,设定多点并逐点进行误差标定......”。

8、“.....进行定点补偿来提高检测精度。 光栅采用英国公司的系列产品。 该类光栅尺有较高的精度和响应速度，具有安装调试方便，抗干扰能力强等优点。 光栅线周期为分辨率可达响应最大速度为。 西安文理学院本科毕业设计论文第页第七章结论高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。 随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进步发展的瓶颈。 由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也小，热稳定性好使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比，它不污染环境。 由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。 本文对定位平台轴的传动装置和气浮导轨进行了设计。 定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计......”。

9、“..... 其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型。 对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。 最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。 本文对气浮支承引线键合定位平台进行了定研究和分析，达到了预期的目的，但仍然有待进步深化和研究的地方。 由于条件限制，对驱动软件研究还不西安文理学院本科毕业设计论文第页西安文理学院本科毕业设计论文第页致谢衷心地感谢我的指导老师卢志伟老师在学习和毕业设计上给予我的帮助指导和教诲......”。