1、“.....副高级工程师人，工程师人，助理 工程师人。 第章技术可行性分析 国内外发展现状 纳米聚晶金刚石是人造金刚石的种，由大量纳米金刚石聚集而成， 按照纳米聚晶金刚石的结构特点，目前国内外有两种途径制备纳米聚晶 金刚石。条是利用静压法或者爆轰法生产纳米金刚石，然后通过高压 和粘合剂作用下聚合生成聚晶金刚石，这是目前国内常用生产方法另 种是利用爆炸法激波法直接生成聚晶金刚石，这是目前国外采用 生产方法，国内只有少部分企业掌握该技术。 爆轰聚合法 用爆轰法合成纳米金刚石微粉，年代始于前苏联科学院有关研究 所。其原理是利用炸药爆炸时的负氧反应，其中未氧化的碳原 子凝聚成碳液滴，在爆轰反应的高温高压下转变成颗粒为纳米尺度的金 刚石微粉。该技术为俄罗斯专利......”。

2、“.....纳米金刚石微粉可用于复合镀以提高 表面抗磨性能，降低摩擦系数，提高工效，延长工件寿命。也可用作掺 加剂提高橡胶树脂，乃至机场跑道的综合性能以及催化剂载体。非业 内人士常将爆轰法合成纳米单晶金刚石与爆炸法合成纳米聚晶金刚 石二者混淆。由于前者粒度太小仅在纳米范围，所以目前在 半导体材料切割和精加工领域尚无法应用，因此不构成对激波合成纳米 聚晶金刚石的竞争。 年代，在爆轰法合成纳米金刚石微粉的技术中出现些新专利， 其原理是不用，而是在或中混入重量比约的石墨， 其合成的金刚石聚集体的粒度约，大于上述的纳米金刚石。 但由于掺入石墨使爆压降低，因而每公斤药量的金刚石产率低于原来的 方法。由于其爆轰的作用时间仅为毫微秒量级，远低于激波合成纳米聚晶金刚石的作用时间微秒量级，其晶核之间缺乏 必要的相互成键的时间......”。

3、“.....在磨削过程中易于破碎成为纳米晶粒，加 工的效率低，性能缺乏优势，现未见规模化生产报成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等 产业制品的超精细加工中作用尤为重要。建设总体规划目标规模为 万克拉年纳米聚晶金刚石生产技术项目，分前后二期建设上马。该项目 总投资万元，年产值万元，年税后利润万元，项目达 产后投资回收期为年。项目建成并达产后，企业将成为国内最大的 纳米聚晶金刚石生产企业。 目录 第章项目概述 项目名称 项目背景 项目内容 项目产品特点及应用领域 项目产品特点 项目产品应用领域 投资必要性和预期经济效益 投资必要性 预期经济效益 本企业实施该项目的优势 第章技术可行性分析 国内外发展现状 本项目技术的创新性 项目承担单位在实施本项目中的优势 第章项目成熟度 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传......”。

4、“.....术的可靠性 产品及性能 第章市场需求情况和风险分析 产品的应用前景 硅片加工应用方面 碳化硅晶片加工方面 巨磁阻磁头加工方面 切削加工方面 副产品纳米单晶金刚石的应用 纳米聚晶金刚石主要生产单位情况 国外生产情况 国内生产情况 本项目产品在国内外市场的地位 超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来的机遇 与国际产品的竞争 市场预测 第章项目投资估算及资金筹措 项目投资估算 投资规模 主要设备概算 生产占地生产人员 资金筹措方案 第章经济和社会效益分析 经济效益分析 产品成本分析 经济效益 项目盈亏平衡 社会效益 第章项目实施方案 项目开发计划 产能规划和实施的步骤 产品规划 项目实施内容 工艺流程 原辅材料来源及供应渠道 生产设备 建设周期 公用工程 第章项目安全与环保 项目的生产安全 生产安全标准火工品......”。

5、“.....它有两种形态，种是单晶金刚石， 它具有无可比拟的硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其 外表呈灰黑色，被称作，天然的是种名贵的 聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚 石的倍，工业使用价值极高。但术产业和传统支柱产业中均有重要应用。 项目产品应用领域 纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光 伏电池硅片以及磁头等产业制品的超精细加工中。 在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨材料可实 现大尺寸集成电路的硅圆片表面的超精细加工。 在太阳能光伏电池方面，降低损伤层厚度是提高太阳能光伏电池光电转化率的最关键，也是最难解决的问题......”。

6、“.....可以降低其表面损伤层厚度，光电转化率则可跨上个台阶。 在硬盘存储方面，随着存储密度的提高，巨磁阻磁头的平整度 要求达到，甚至小于。这种由多层硬度迥异材料构成的元 件，要求达到如此高的平整度，其超精细加工的难度是当今最高的。采 用类球状纳米聚晶金刚石加工的表面平整度基本达到了的要 求。 在切削道具方面，金刚石以其高硬度高耐磨性高传热而成 为理想的切削刀具，具有高精高效长寿低耗等优点，适用于有色 金属材料高速精密和自动化加工，能以车铣代磨，目前已在汽车航 天航空精密机械家电木材等行业得到广泛应用。 此外纳米金刚石还在众多工业领域得到应用。 投资必要性和预期经济效益 投资必要性 制约我国集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁 头等产业的发展的最重要因素之就是超精细加工磨料纳米聚 晶金刚石的产业化生产......”。

7、“.....伴随这些行业的逐 年发展，对纳米聚晶金刚石的需求必将同步上升。但是国内目前工业化 生产纳米聚晶金刚石还存在定的问题，无论是国产金刚石还是其制 品，质量均属中低档，与发达国家质量水平差别较大。国内高档金刚石 只有中非人工晶体研究院保定八达稳德金刚石公司能生产，但产量很 低，大量的靠进口。可以说，高档金刚石市场基本被进口货所垄断。 本项目生产的纳米聚晶金刚石高于进口产品品质，完全替代进口和 满足国内对高档金刚石的需求并且在扩大规模以后可以实现出口，带 动我国芯片太阳能光伏机床刀具等产业的发展。 预期经济效益本项目技术采用中科院先进技术，具有产率高成本低产品质量 好的优势。目前国内纳米聚晶金刚石销售价格为元克拉，达产后每年 的预期产值可达万元。 本企业实施该项目的优势 本企业聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里的 岩体里，只有火山喷发时才被带出地表......”。

8、“.....价值 昂贵，不能满足生产的需要。 由于以半导体工业为基础的微电子产业迅速发展，自年代以来 美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵的巨大商机和挑战，积极开 展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面的研究。但单晶金刚石沿解 理面脆断形成的锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料的微电子 性能对表面轻度损伤又极端敏感。在这种背景下逐渐发展了另种硅片 加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这工艺对于小尺寸硅片发挥了良好的 作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片 的整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺 已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉 提供了契机。 由纳米聚晶金刚石微粉制成的磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料 制品的精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高表面 光洁度高......”。

9、“.....爆炸合成聚晶金刚石已有多年历史，但规模并不大。这是由于 其本身存在些未能克服的缺点，主要表现为每公斤炸药产量不高 操作不够简便，难以规模化。为了改善这种供不应求的局面，中国科学 院爆炸力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了 重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。 项目内容 本项目引入中科院成熟技术，利用山西省丰富的石墨资源，建成年 产万克拉纳米聚晶金刚石生产的高新技术企业。项目建成并达产 后，企业将成为国内最大的纳米聚晶金刚石生产企业。为我国芯片 太阳能光伏机床刀具等产业的发展奠定基础。 项目产品特点及应用领域 项目产品特点 本项目生产的纳米聚晶金刚石，具有独特的类球状形貌，各向同性， 无解理面。它既具有超常的硬度......”。