1、“.....国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备。本项目产品技术团队主要人员简况姓名性别出生年月职务技术职称主要工作职责为本产品工作时间郑安生男总经理教授级高工单晶生长晶锭加工技术指导协调决策邓志杰男生产部经理教授级高工单晶生产管理和技术王继荣男生产车间主任教授级高工单晶生长管理和技术武壮文男生产车间副主任高级工程师单晶生长技术管理和新产品开发王彤涵男质管部主任高级工程师质量管理产品性能参数测试李超女加工车间主任工程师工程师晶片加工及车间管理于红国男生产车间副主任工程师单晶生长技术骨干该项目前期已完成投资万元......”。
2、“.....资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本,科学管理,追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系,使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本。企业从事该产品生产条件产业基础本项目产品技术成熟,年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,并于同年通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平......”。
3、“.....本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,目前本产品成功进入世界上最大水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司产品。国内中科镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场,产品市场销售网络已经形成。企业现有生产场单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直,无法得到所需要偏角。管状加热炉除了无法得到所需偏角以外,还很难调制固液界面本身平坦度,由于砷化镓热导率相对较低......”。
4、“.....无法变动,加上热辐射和固液界面结晶潜热难以导出,使熔体边缘温度低于中心处温度,往往使固液界面凹向熔体。这种界面非常容易出孪晶,或使晶体增大,降低成品率。在单晶生长理论中,理想固液界面形状应为平坦或略为凸向熔体,做到这点,加热体设计和制造非常关键。加热体是单晶生长核心,对单晶生长影响非常大,是决定单晶生长成功与否关键因素之。该产品设计和制造是本公司多年科研结晶。本公司在炉体结构设计保温层设置和配置加热区段设置加热区域设置等方面均取得了很大进步。目前制作加热体,截面区固液交界面区有特殊加热结构。高温区各加热段设计合理,中温区有后加热体设置,其余各区设置合适在产品试制过程中表明,该加热体非常适合水平砷化镓单晶生长。采用这种加热体,可以很好调节固液界面形状及固液界面与生长方向夹角,使其与所切割晶片方向致,并与单晶生长方向之间夹角致。同时,采用这特种加热炉......”。
5、“.....很容易调平固液界面。当然,这种加热体如何单独控制又协调配合形成所需温度分布,也要经过反复实验研究不断优化。经过几年开发,本项目单位已在国内独家掌握了该项技术,该项技术达到世界先进水平。关键技术先进性本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结论为该项目利用本单位独创石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术,固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率,实现了水平砷化镓单晶材料产业化,达到了预期目标。该项目技术达到国际先进水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。该产品与日本住友电工相比,各项技术指标均达到或高于其产品。产品技术性能水平与国内外同类产品比较单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种,主要有型掺单晶和型掺单晶两种,主要用于包括红外研发基地......”。
6、“.....年在国内首次拉制重,加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线,年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备......”。
7、“.....主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用,资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本,科学管理,追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系,使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本......”。
8、“.....年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,并于同年通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平,具备进步扩大生产规模技术条件。本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,目前本产品成功进入世界上最大水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司产品。国内中科镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场,产品市场销售网络已经形成。企业现有生产场地面积约平方米,建有生产车间生产车间加工车间,拥有砷化镓单晶炉纯水供应设备线切割机等生产设备,各种辅助设施齐全,原材料主要来自国内,供应渠道稳定,具备进步产业化基础。第八章项目实施进度计划第阶段进步稳定完善现有工艺技术,适当扩大生产规模。使单晶生长长度由目前增加到。加强对现有员工和新员工技术培训,完成质量体系复审认证......”。
9、“.....使单晶成品率由现在增加到。。使单晶成品率由现在增加到。以进步提高产品性价比从而增强其竞争力。第三阶段整理各种资料,作好项目技术总结报请项目验收。象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度最低时小时爬行不大于......”。
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