1、“.....在这种背景下逐渐发展了另种硅片 加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这工艺对于小尺寸硅片发挥了良好的 作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片 的整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺 已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉 提供了契机......”。

2、“.....归档资料。 未经允许，请勿外传......”。

3、“.....它有两种形态，种是单晶金刚石， 它具有无可比拟的硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其 外表呈灰黑色，被称作，天然的是种名贵的 聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚 石的倍，工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里的 岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少发现困难......”。

4、“.....不能满足生产的需要......”。

5、“.....本企业技术力量雄厚,现有专业技术人员 人，其中正高级工程师人，副高级工程师人，工程师人，助理 工程师人。 第章技术可行性分析 国内外发展现状 纳米聚晶金刚石是人造金刚石的种......”。

6、“..... 按照纳米聚晶金刚石的结构特点，目前国内外有两种途径制备纳米聚晶 金刚石。条是利用静压法或者爆轰法生产纳米金刚石，然后通过高压 和粘合剂作用下聚合生成聚晶金刚石，这是目前国内常用生产方法另 种是利用爆炸法激波法直接生成聚晶金刚石，这是目前国外采用 生产方法，国内只有少部晶金刚石与爆炸法合成纳米聚晶金刚 石二者混淆。由于前者粒度太小仅在纳米范围，所以目前在 半导体材料切割和精加工领域尚无法应用，因此不构成对激波合成纳米 聚晶金刚石的竞争......”。

7、“.....在爆轰法合成纳米金刚石微粉的技术中出现些新专利， 其原理是不用，而是在或中混入重量比约的石墨， 其合成的金刚石聚集体的粒度约，大于上述的纳米金刚石。 但由于掺入石墨使爆压降低，因而每公斤药量的金刚石产率低于原来的 方法。由于其爆轰的作用时间仅为毫微秒量级，远低于激波 目录 第章项目概述 项目名称 项目背景 项目内容 项分企业掌握该技术。 爆轰聚合法 用爆轰法合成纳米金刚石微粉，年代始于前苏联科学院有关研究 所......”。

8、“.....其中未氧化的碳原 子凝聚成碳液滴，在爆轰反应的高温高压下转变成颗粒为纳米尺度的金 刚石微粉。该技术为俄罗斯专利。中国科学院兰州化学物理研究所四 川绵阳西南流体物理研究所以及北京理工大学等单位于年代在该专 利技术基础上开展了进步研究。纳米金刚石微粉可用于复合镀以提高 表面抗磨性能，降低摩擦系数，提高工效，延长工件寿命。也可用作掺 加剂提高橡胶树脂，乃至机场跑道的综合性能以及催化剂载体。非业 内人士常将爆轰法合成纳米单韧......”。

9、“.....工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里的 岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少发现困难，价值 昂贵，不能满足生产的需要。 由于以半导体工业为基础的微电子产业迅速发展，自年代以来 美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵的巨大商机和挑战，积极开 展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面的研究。但单晶金刚石沿解 理面脆断形成的锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料的微需求必将同步上升......”。