1、“.....使长成的籽晶的直径缩小到定的大小, 产生零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后,借着拉速与温 度的不断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固 定的部分称为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必 须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成尖点,而与液面分开,长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分......”。
2、“..... 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片, 切片结束后,从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销......”。
3、“.....选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元 元。其中进口设备仪器台套,进口费用万元国产设备仪 器台套,费用万元......”。
4、“.....分期实施的原则建设。本 次期工程用地亩,位于规划用地的东侧,总建筑面积平 方米。 在期工程用地内设置个出入口......”。
5、“.....东侧入口为人员入口,西侧入口为货物入口, 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路,供消防和物 流使用。 变电站及动力设施位于期用地西北角,与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角,与洗料厂房相临,有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角,使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内,离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近,便于废水就近排放和综合治理......”。
6、“.....层高米。长, 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层层高 米,二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等,建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区,二楼为单晶炉上半部分操作区。除生 产区外,还布置有生产管理更衣......”。
7、“.....总建筑面积平 方米。 在期工程用地内设置个出入口,分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上,东侧入口为人员入口,西侧入口为货物入口, 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路,料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内,离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近,便于废水就近排放和综合治理......”。
8、“.....建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区,二楼为单晶炉上半部分操作区。除生 产区外,还布置有生产管理更衣,以及生产配套类,建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。除生产区外,还布置有生产管理更衣,以 及生产配套的空调机房车间变配电等。另外,车间还考虑有般物 品库,包括暂存间物料入为。 办公综合楼 办公综合楼为六层,总建筑面积。 其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等......”。
9、“.....根据 房间不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生 通风,满足卫生要求卫生间设全室通风,各主要生片的清洗,生产工具器具石英制 品清洗等使用纯水。纯水用量为。 纯水系统分成前处理和后处理两部分,均设置在动力厂房内。 前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水,加 压送至纯水站,经机械过滤活性碳过滤等预处理后,由热交换器换 热至,再经过过滤器过滤,进入二级装置,制成 纯水,进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补 充水......”。
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