1、“..... 随着中国半导体制造产业的发展,国内对高性能钽靶材及钽环件 的需求也越来越大,目前国内市场的高性能钽靶材和钽环件全部依靠 进口,其中有部分成品钽靶材和钽环件的原材料坯料由我们提 供,这类产品的基本模式为宁夏生产钽坯料低价格出口到美 国美国完成成品加工出售给中国或其他国家芯片制造厂高价 格。这种模式不但增加了中国半导体行业的生产成本......”。
2、“.....所以,我们进行高性能 钽靶材和钽环件的成品加工,不但可以提升我们企业的技术水平,增 加利润,增强抵御市场的风险能力,完善钽材加工产业链,还可以为 中国的半导体产业发展提供坚实的材料基础,意义重大。 项目必要性 产品技术附加值大幅提高。 以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料,售 价约块......”。
3、“.....售价约套,而套成品钽环件的售价是套。 提升企业形象,稳定世界三强地位。 项目形成产业化后,除进步稳定我们世界钽铌三强地位外,也 进步提高了我们在钽深加工领域上的技术实力,逐步形成我们在世 界市场上的主导地位。同时借助产业化的装备与技术实力,为拓展其 它金属靶材的技术开发奠定基础,如 靶等,逐步可实现金属靶产业多元化......”。
4、“..... 为推动我国集成电路制造产业的发展,提升我国集成电路制造装宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 备工艺及材料技术的自主创新能力,年月日,国务院总 理温家宝主持召开国务院常务会议,审议并通过核心电子器件高 端通用芯片及基础软件产 以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料,售 价约块,而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件......”。
5、“.....而套成品钽环件的售价是套。 提升企业形象,稳定其 它金属靶材的技术开发奠定基础,如 靶等,逐步可实现金属靶产业多元化,增强我们抵御市场风险能力。 国家的推动力。 为推动我国集成电路制造产业的发展,提件产品和极大规模集成电路制造装备及成套 工艺两个国家科技重大专项。中色东方集团已经以项目主承担单位 的身份......”。
6、“..... 中国及亚洲是最大的高性能能钽靶材及钽环的消耗市场,并且将 继续保持以较高速率发展,目前中国及亚洲市场钽靶材主要来自美国 和日本。 二项目的技术基础 高性能钽靶材和钽环和公司科 技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究,获得稳定可靠的高性能钽 靶材坯料以及钽环件坯料的加工工艺......”。
7、“.....并且均匀致 再结晶度 平整度 粗糙度 结晶取向在厚度方向呈织构。 市场情况 通过该项目的研究,已确定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材 生户的认可,填补国内空白。 产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证,质量 稳定可靠,已形成批量销售......”。
8、“.....并均匀致 溅射钽环件用钽条同板差小于 溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺,采用压力成型及精加工工 艺,保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差的要求。宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 成品钽靶材的机加工艺,产品尺寸及形位公差满足用户要求 成品钽靶材表面铝热喷涂工艺 成品钽靶材的清洗工艺......”。
9、“.....经多次工艺试验及改进,对靶材进 行破坏检测,各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先 进材料公司上机测试,测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在 正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。 型钽靶材生产工艺研究 取得的技术突破 型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织 型钽靶材拉深工艺 型钽靶材机加工艺 型钽靶材焊接工艺......”。
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