1、“.....得到高 纯氢气供还原车间等生产使用。 三氯氢硅精制工序 自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽，再经泵送往高位槽，经控制 流量后进入精馏塔釜，从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝 得到的冷凝液再经过滤器，路返回精馏塔顶作为回流液，路作为 产品流入计量槽。经分析......”。

2、“..... 不合格的则返回三氯氢硅储槽。二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐， 再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。洗涤水进入中和池进行处理。精馏的 釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽，装车外卖。 还原系统及尾气回收系统 精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内，在以硅芯作为载体的表面，在高温下还原沉积为多晶硅......”。

3、“..... 控制载体温度，使炉内载体直径变粗，达到供直拉单晶硅所需直径要 求的多晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体 与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝网阻火器进入氢 气气柜。洗涤水则进入中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽......”。

4、“.....塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析，合格品流 入回收精三氯氢硅储槽或四氯化硅储槽，不合格品则返回粗产品罐， 再重新送入高位槽进行精馏。精馏残液塔釜排的则返回三氯氢硅储槽。二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐， 再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。洗涤水进入中和池进行处理......”。

5、“.....装车外卖。 还原系统及尾气回收晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体 与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝网阻火器进入氢 气气柜。洗涤水则进入中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液釜排液及轻组份液体则 送往高低沸物储槽，装车外卖......”。

6、“..... 前者生产直拉料或区熔料，后者则送入专用还原炉，以生产拉制硅芯 的硅芯料......”。

7、“..... 期前期工程主要工艺设备表如下 期前期工程主要工艺设备览表 序号设备名称规格型号材质数量 三氯氢硅装臵 氯气缓冲罐 氯化氢合成炉 接受槽 粗品收集槽 ......”。

8、“.....以上美元与人民币的比率均为比 ......”。

9、“..... 阻火器 阻火器片碱干燥器 活性碳吸附器 除氧器 冷却器 序号设备名称规格型号材质数量 冷冻除水器 硅胶干燥器 加热器 加热器不锈钢 氢气二次净化器不锈钢 螺旋板换热器不锈钢 高位槽 磁力泵不锈钢 高低沸储罐 挥发器不锈钢 氢气过滤器不锈钢 还原炉 还原炉 还原炉电控装臵 尾气......”。