1、“.....小于尺寸小,可用于小空间测湿温度系数小。陶瓷电容式压力传感器是种无中介液干式压力传感器。采用先进陶瓷技术,厚膜电子技术,其技术性能稳定,年漂移量小于,温漂小于,抗过载强,可达量程数百倍。测量范围可从到。德国公司和美国公司产品处于领先地位。光导纤维应用是传感材料重大突破,其最早用于光通信技术......”。
2、“.....引起光纤传输光波强度相位频率偏振态等变化,测量光波量变化,就可知道导致这些光波量变化温度压力电场磁场等物理量大小,利用这些原理可研制出光导纤维传感器。光纤传感器与传统传感器相比有许多特点灵敏度高,结构简单体积小耐腐蚀电绝缘性好光路可弯曲便于实现遥测等。光纤传感器日本处于先进水平。如公司和公司......”。
3、“.....加速光纤传感器技术发展。将集成光路器件代替原有光学元件和无源光器件,使光纤传感器有高带宽低信号处理电压,可靠性高,成本低。半导体技术中加工方法有氧化光刻扩散沉积平面电子工艺,各向导性腐蚀及蒸镀,溅射薄膜等,这些都已引进到传感器制造。因而产生了各种新型传感器,如利用半导体技术制造出硅微传感器......”。
4、“.....利用溅射薄膜工艺制压力传感器等。日本横河公司利用各向导性腐蚀技术进行高精度三维加工,制成全硅谐振式压力传感器。核心部分由感压硅膜片和硅膜片上面制作两个谐振梁结成,两个谐振梁频差对应不同压力,用频率差方法测压力,可消除环境温度等因素带来误差。当环境温度变化时,两个谐振梁频率和幅度变化相同,将两个频率差后......”。
5、“.....其测量最高精度可达。美国公司开发系列低价位,线性度在到范围内硅微压力传感器,最低满量程为,其以硅为材料制成,具有独特三维结构,轻细微机械加工,和多次蚀刻制成惠斯登电桥于硅膜片上,当硅片上方受力时,其产生变形,电阻产生压阻效应而失去电桥平衡,输出与压力成比例电信号象这样硅微传感器是当今传感器发展前沿技术......”。
6、“.....是传统传感器几十几百分之。在工业控制航空航天领域生物医学等方面有重要作用,如飞机上利用可减轻飞机重量,减少能源。另特点是能敏感微小被测量,可制成血压压力传感器。中国航空总公司北京测控技术研究所,研制系列溅谢膜压力传感器是采用离子溅射工艺加工成金属应变计,它克服了非金属式应变计易受温度影响不足,具有高稳定性......”。
7、“.....被测介质范围宽,还克服了传统粘贴式带来精度低迟滞大蠕变等缺点,具有精度高可靠性高体积小特点,广泛用于航空石油化工医疗等领域。集成传感器优势是传统传感器无法达到,它不仅仅是个简单传感器,其将辅助电路中元件与传感元件同时集成在块芯片上,使之具有校准补偿自诊断和网络通信功能,它可降低成本增加产量,美国公司开发这种血压传感器......”。
8、“.....智能化传感器是种带微处理器传感器,是微型计算机和传感器相结合成果,它兼有检测判断和信息处理功能,与传统传感器相比有很多特点具有判断和信息处理功能,能对测量值进行修正误差补偿,因而提高测量精度可实现多传感器多参数测量有自诊断和自校准功能,提高可靠性测量数据可存取,使用方便有数据通信接口,能与微型计算机直接通信......”。
9、“.....美国公司型智能传感器,芯片尺寸才有,采用半导体工艺,在同芯片上制成静压压差温度等三种敏感元件。智能化传感器研究与开发,美国处于领先地位。美国宇航局在开发宇宙飞船时称这种传感器为灵巧传感器,在宇宙飞船上这种传感器是非常重要。我国在这方面研究与开发还很落后......”。
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