1、“.....静态负荷压力增大，就意味着工件最终磨料更大移除速率也因而增加。刀具受磨损，导致刀具在工作区局部变形，其次是刀具去除下层物质，导致刀具磨损。当静负荷增加，迫使刀具加压，从而增加了刀具磨损图和所示产生裂痕锐利边缘部分导致折断边缘部分更容易趋向中心部分。比例磨损边缘部分规模较小。因此，随着刀具磨损减少图所示刀具大小，据观察静载所得差距图。当静负荷增加，静态横向载荷还可抑制刀具振动。上述实验结果表明，微型超声马达刀具磨损程度。当个三维微观形态是机械刀具与微观特征来产生相应微观特征。不过编写复杂形状微型刀具是项艰巨任务。另外，就是要编造些复杂形状微型刀具实现刀具磨损设计精度要求。多种刀具使用导致刀具走向问题。因此，编造多重微型刀具很困难而且不合算。要解决这些问题，形成个简单刀具，如缸，被用于沿着刀具设计路径产生三维微观形态。电火花磨削方法是用来获取各种刀具简单形磨损能力......”。

2、“.....第部分均匀配载方法结合生成复杂三维凸轮。实验结果列在第项。研究总结是在最后节。钻微孔超声马达研究在超声波电机中，磨料是振动工具和工件之间高频振动系统。从个程度讲述振动冲击磨料对工件表面产生裂痕，工件材料和工具进行最后清除。图显示了超声马达基本过程原则。通常在超声加工过程中使用，尤其在三维造型加工。同样工具，如形状和大小设计部分。目前，微型超声马达主要应用于钻微孔。超声波振动通过集齐传感器传给磨粒选矿厂及其它相关零件，造成大偏心旋转工具。工件振动已经提出要解决这个问题，微孔直径为微米，已成功钻探。为了进行微型超声马达钻探试验，种微型超声马达系统设计组装图所示工件固定在高高激荡是由个超声波传感器系统，包括在频率千赫兹超声波振动发生器振动传感器。泥浆磨料搅拌机水，加在工件表面。三维刀具轨迹运动控制和方向及其控制器......”。

3、“.....静态负荷监测加工。如果静载荷大于定值，工具吊起到定高度是为了避免因超载刀具破损。已经发现许多影响表面宏观超声波加工因素。静负荷振幅磨料类型大小材料尺寸工具泥浆浓度大大影响材料去除率和表面粗糙度。因在微型超声马达超声波振动下容易蒸发水分，然而很难保持同水平浆料浓度。另外，外部原因是微型振动工具和静态负荷变化加工。因此，这些初步研究，泥浆浓度不视为其中输入参数。选择钻石粉磨料是因为它硬度高超声波振动冲击下不断裂。微型超声马达通过钻微孔实验，了解影响静态负荷大小和工具材料去除率刀具磨损率。刀具钨接触工件表面晶圆，这点被称为钻孔起点。钻孔所使用微型超声马达加工条件列在表，刀具在前后加工工件表面被移到同参考点。工具降至地面接触时静载至微克以百万百万无振动。观察轴计算刀具磨损长度。工具直径测量使用光学显微镜。测量洞口径和厚度工具是晶圆。静负荷在电子秤沿纵轴监录。步骤和......”。

4、“.....孔直径分别为微米，总工具钻料微米，刀具磨损长度微米。于是差距相差半是直径测量工具直径钻孔约为微米，其中最大粒径将近倍。可能是因为硅结晶，孔边缘似乎有不规则裂痕。如果可以减少使用较小磨料，则需要更多实验以确定它工作。刀具在加工过程中磨损很大。然而，保护刀具在加工过程中很重要。步骤所示移除速率增加了静载荷和刀具直径。静态负荷压力增大，就意味着工件最终磨料更大移除速率也因而增加。刀具受磨损，导致刀具在工作区局部变形，其次是刀具去除下层物质，导致刀具磨损。当静负荷增加，迫使刀具加压，从而增加了刀具磨损图和所示产生裂痕锐利边缘部分导致折断边缘部分更容易趋向中心部分。比例磨损边缘部分规模较小。因此，随着刀具磨损减少图所示刀具大小，据观察静载所得差距图。当静负荷增加，静态横向载荷还可抑制刀具振动。上述实验结果表明，微型超声马达刀具磨损程度......”。

5、“.....不过编写复杂形状微型刀具是项艰巨任务。另外，就是要编造些复杂形状微型刀具实现刀具磨损设计精度要求。多种刀具使用导致刀具走向问题。因此，编造多重微型刀具很困难而且不合算。要解决这些问题，形成个简单刀具，如缸，被用于沿着刀具设计路径产生三维微观形态。电火花磨削方法是用来获取各种刀具简单形片获得。当切片层深度已知时，仅仅通过所需调整切断层深度来产生准确三维形态。均匀磨损方式系统整合。有许多系统可用来为许多工序产生刀具路径。如钻铣线材及电火花。但是，这些系统不宜生成微型超声马达简单型刀具刀具路径，因为三维微观形态刀具机械磨损需要加以补偿。因此，有必要整合具有软件刀具路径均匀磨损方式。在系统中模块中，利用系统中功能产生刀具路径，利用体积铣削产生刀具路径。路径选择模式是基于刀具均匀磨损方式。加工表面顺利产生两套刀具切割路径角度为度......”。

6、“.....此深度是基于刀具磨损补偿公式计算产生。这套全新刀具路径在由独立运动轴线补偿公式计算后译成和移动命令。图显示体化步伐。实验验证在三维微型超声波加工中，为了获得磨损量和刀具磨损率，刀具补偿两个关键因素和个加工槽实验已被验证。输入工件刀具深度是微米，然后，沿着横向轴受控制。之后切削微米，在此深度再次切削上层同深度。反复这个过程，直到刀具总吃刀量微米为止。通过刀具列路径图。槽深测量与刀具磨损长度测量方法致。槽和槽上表面两侧底层几个要点被检测。槽深是由轴上不同平均值估算。槽长度和宽度用光学显微镜测量。缝隙是槽宽度和刀具直径之间相差半距离。刀具相对体积磨损率计算表示刀具磨损量，表示工件清除量。表列示了加工条件刀具磨损率和槽。由于废弃物彻底清除和磨料之间不同，刀具磨损长度估计和槽深未必完全准确。均匀磨损方式和整合应用，三维微型超声马达系统是经复杂三维造型......”。

7、“.....图所示刀具路径是基于均匀磨损方式产生，此部分是微米厚度切片层。刀具路径再生是基于均匀磨损方式，通过计算，首层切削深度是微米和最后层是微米。槽口设计模型部分是微米。刀具磨损补偿总吃刀量是微米。图显示加工腔。腔底部是表面加工单位和球中心。尺寸生成腔模型用光学显微镜检测。顶洞大小是微米，这是微米以上设计。这期间可能造成切削振动。腔深度是微米，计算刀具差额总长度和刀具磨损微米。槽加工中，在设计和测量深度之间深度相差微米，这是由于在刀具磨损长度测量时磨损率估算。阶梯式表面个面是由于所致逐层加工导致。个光滑表面是通过减少各层切削深度获得，从而增加加工时间。产生微裂用了小时，图可见刀具是保持不变形加工后所显示图。综述本文实验结果显示，钻微孔微型超声马达和三维微观形态加工用微型超声马达。实验表明钻微孔刀具发生广泛磨损，影响部分加工精度。因此......”。

8、“.....补偿刀具均匀磨损方式，有助于恢复刀具加工形状。应用该方法生成个复杂三维。广泛调查每层切削深度效果，振幅研磨材料振动频率和晶粒尺寸来了解微型超声马达加工工艺性能，减少加工时间。宏观超声马达现有理论基础上材料去除机理理论模型也需要发展。致谢作者感谢支持来自和主动提供资金。注释加工层刀具吃刀量加工层刀具长度磨损层加工深度刀具断面面积模型加工层面积模型刀具磨损量工件清除量刀具磨损量相对比值磨损能力。研究钻微孔微超声马达基础是描述在第部分观察加工性能和工艺参数对刀具磨损程度。第部分均匀配载方法结合生成复杂三维凸轮。实验结果列在第项。研究总结是在最后节。钻微孔超声马达研究在超声波电机中，磨料是振动工具和工件之间高频振动系统。从个程度讲述振动冲击磨料对工件表面产生裂痕，工件材料和工具进行最后清除。图显示了超声马达基本过程原则。通常在超声加工过程中使用，尤其在三维造型加工......”。

9、“.....如形状和大小设计部分。目前，微型超声马达主要应用于钻微孔。超声波振动通过集齐传感器传给磨粒选矿厂及其它相关零件，造成大偏心旋转工具。工件振动已经提出要解决这个问题，微孔直径为微米，已成功钻探。为了进行微型超声马达钻探试验，种微型超声马达系统设计组装图所示工件固定在高高激荡是由个超声波传感器系统，包括在频率千赫兹超声波振动发生器振动传感器。泥浆磨料搅拌机水，加在工件表面。中文字外文资料名称外文资料出处，附件外文资料翻译译文外文原文指导教师评语签名年月日三维微细超声波加工研究许多工序，如光刻蚀刻激光电火花加工电化学加工正在应用于生产中微观零部件产品。如硅材料玻璃水晶陶瓷正日益用于微机电系统器件。超声加工成为加工部分脆硬材料替代机。然而，微细超声加工中刀具磨损影响了加工精度。因此，有必要在补偿刀具磨损加工方面作介绍。本文阐述了......”。