1、“.....电流和力实时监控器。记录在发生不正常情况前后所有系统产量以及短期或长期趋势分析警报日志。这使用户可以以不同形式来查看轴承信息以及机器诊断程序。自适应振动控制是另个重要工具。利用两种方法来计算消除振动是力,种是严格控制轴位移让轴围绕其几何中心旋转,从而消除不平衡引起跳动,其在像机床这样高精度程序中很有用......”。
2、“.....这是分子泵和半导体制造设备个有价值特点,可以增加可靠性和服务间隔之间时间。其自适应功能是即使转子污垢积聚越来越厉害也能最大限度减小振动来消除过程干扰,扩展设备工作范围。设计考虑事项磁悬浮轴承设计最终目标是让机器在整个速度范围内可靠无接触运转。在不影响性能情况下满足和终端用户成本目标也是非常重要......”。
3、“.....紧密磁性轴承设计可以使机器变得更小更强大。发展磁悬浮轴承系统时,要考虑主要因素是速度,荷载和操作环境。机械强度轴通常限制速度。表面速度直径是可能。静态能力磁悬浮轴承产生最大力量,它是个函数变量。如放大器电流表面面积磁极,线圈绕组和气隙尺寸。动态能力磁悬浮轴承改变外加力速率,由放大器电压这单变量决定。例如,考虑将连接在磁悬浮轴承控制系统......”。
4、“.....如果控制器不变则静态能力将会增大,但不会影响动态能力在操作过程中处理轴失衡状态和其他动态力量能力。相反,保持磁性轴承但切换到系统将增加该轴动态能力,但对静态能力没有影响。不同应用程序磁悬浮轴承独特设计和广泛应用能力为不同应用程序提供了解决方案。其中个例子是半导体制造,尤其是前端生产包括有机硅生产......”。
5、“.....这些对振动和污染高度敏感。例如,磁性轴承允许毫米晶片旋转,允许方便地访问到双方晶圆片边缘。因为磁悬浮轴承有气隙,所以他们是些生物制药应用理想选择。血液细胞或其它液体可以安然无恙通过空气隙。制冷压缩机是另个重要应用。磁悬浮轴承可以以新代制冷剂所需高速度运行,与常规油润滑轴承不同是,它们构成污染风险降至最低。磁悬浮轴承也可以密封......”。
6、“.....磁悬浮轴承原理磁悬浮轴承运作无接触。这会带来许多独特特性,这些特性在很多设备中很有价值。适合磁悬浮轴承应用程序通常需要多个以下属性无润滑考虑磁悬浮轴承当其他类型轴承润滑系统是昂贵不可靠或不安全润滑剂包含不环保成分和支配成为个问题或润滑剂与流体不兼容或可以造成污染。可靠性轴承提供优异可靠性电动马达,合理期望寿命至年......”。
7、“.....真空操作高真空对润滑剂是种挑战。许多系统在高到超高真空系统托尔对排气和挥发性润滑剂污染很敏感。测力控制器可以通过测量电流和轴承内位置确定轴承负荷和力方向。这给开发磁悬浮轴承系统设计师提供了有价值信息。可以测量力精度般优于。轴位置控制因为传感器监测轴位置,控制系统可以重新定位或摆动轴转动。例如......”。
8、“.....精密严格控制消除了不平衡所致轴径向跳动。这是有自适应振动控制来完成。轴位移在运行速度可以减至约,对精密磨削加工和机床切割操作很重要。污染对微污染物敏感操作可以从有不锈钢罐或障碍磁悬浮轴承中受益。在晶元加工所有方面,伴随着毫米晶片和毫米设备尺寸出现,这些工序对减少微污染物来说已经变得尤为重要......”。
9、“.....这将减少排放,降低机器成本以及运营维护成本。降低能耗磁轴承可减少摩擦损耗,进而提高整体机械效率。而且摩擦损耗减少可以部分省却润滑系统,进步节省对于水泵冷却风扇以及水库通风风扇等操作费用。状态监测。磁力轴承具有内置状态监测能力,这消除了对些设备需求,比如加速表和振动传感器,以及监测设备和接口软件......”。
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