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5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书.doc 5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书.doc

格式:word 上传:2023-09-14 20:26:45

《5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书.doc》修改意见稿

1、“.....废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表三期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置 本......”

2、“.....分期实施的原则建设,总规划用地亩, 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩,总建筑面积 平方米,位于规划用地的东侧二期工程用地亩,总建筑面积 平方米,位于规划用地的中部三期工程用地亩,位于规划用地的 西侧,总建筑面积平方米。 项目用地内设置个出入口,其中主入口位于期用地的北面,为 主要的人流出入口,另外四个出入口分别位于三块用地的交界路上,为 主要的货物出入口。在厂房的四周设计的环形道路,供消防和物 流使用。 综合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离。变 电站位于期用地西北角,靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用 地西北角,靠近黄太路,离主要废水排放点洗料厂房和切片厂房较 近,便于废水就近排放和综合治理。各期分设动力中心动力站及水池, 并靠近各期的负荷中心,节约能源。综合仓库位于二期用地东侧,靠近 主要物流出入口,且与生产车间较近,有利于物料传输......”

3、“.....层高米。长, 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层层高 米,二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半部分 以及变压器泵等,建筑面积为主生产区层 为单晶炉炉体放置区,二楼为单晶炉上半部分操作区。除生产区外,还 布置有生产管理更衣,以及生产配套的空调机房车间变配电等。另 外,车间还考虑有般物品库,包括暂存间物料入口等,以利于物料 的传输暂存。 切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房,层高米建筑火灾危险类别 为戊类,其中两栋建筑面积为,另外栋建筑面 积为主生产区放置开方切片清洗等生产设 备置低温水冷离心式冷冻机组,使用冷 媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。 蒸汽及空调热水系统 本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源......”

4、“.....不消耗自来水 消耗量 最大使用量约 新鲜水年消耗量约万 水源与水池 本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池和 冷却水池,供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管 网。 消防系统 消防水量 消火栓给水系统 室内外消火栓给水采用的临时高压系统,由消防蓄水池电消 火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防 蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵,为自灌 式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上,其余设备均设于地下水泵房内。 平时室内外消火栓给水管网的压力由消防水箱保证,消火栓泵可以 就地启停,也可在消防控制中心手动启停,同时室内消火栓泵可由室内 消火栓箱内按钮远距离启动,消防时主泵启动前的室内消防用水由消防 水箱保证。 火栓泵组两路出水至室外环状消防管路,环网上均匀设置室外消火 栓......”

5、“..... 灭火器配置 根据建筑灭火器配置设计规范的规定,本工程灭火器配置场所危险等级为中危险级,可能的火灾种类为类类和带电火灾,采用 磷铵干粉灭火器。 工艺服务系统 工艺设备冷却水系统 工艺设备冷却水供给生产设备冷却用,流量,单晶炉进水 温度,切片机进水温度和。 系统补充水水质为反渗透水,工艺设备冷却水系 统采用板式水水换热器,水泵为变频水泵。 压缩空气系统 干燥压缩空气供给生产设备部分动力系统使用。项目消耗量 ,使用点压力,压力露点,微粒 。 经过滤器过滤后的空气经空压机压缩后进入储气罐,再经预过滤器 无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器,干燥净化后的压缩空气经主配 管送至生产厂房分配系统。 空压站设置在动力厂房内。 氩气系统 单晶炉使用氩气作保护气,最大量,平时用量。 氩气贮罐设在生产厂房动力区附近的室外空地。 液氩低温槽车到接卸区后......”

6、“.....利用槽车 的自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存,液氩低温贮罐为真 空绝热容器。使用时,利用贮罐的压力将液氩送入气化器自然气化,再 经减压阀组减压至后,通过氩气总管输送至主机房。然后分别通 过各支管,经二级减压至后,接至各单晶炉。纯水系统 生产中多晶硅料的清洗硅片的清洗,生产工具器具石英制品 清洗等使用纯水。纯水用量为。 纯水系统分成前处理和后处理两部分,均设置在动力厂房内。 前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水,加压 送至纯水站,经机械过滤活性碳过滤等预处理后,由热交换器换热至 ,再经过过滤器过滤,进入二级装置,制成纯水, 进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补充水, 浓缩水作为洗涤塔用水。 后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水,经杀菌脱气离子 交换进入终端纯水箱,最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床超 滤送至用户......”

7、“..... 工艺排风系统 根据生产性质,工艺设备排风分为酸碱性废气排风和般排风,项 目工艺设备排风预计为,包括 酸碱性废气排风 般排风 酸碱性废气排风设置酸性废气洗涤塔,并设排气筒高空排放。 单晶炉等使用电能作热源的设备需要排出热废气。 酸碱性废气主要是多晶硅料和单晶硅在各类酸和碱中进行化学清洗 工艺中产生,以酸性气体为主要成分,主要污染物有 等。 电气 供电项目用电装设功率,实际消耗功率,实际用电 量估计万度年。 本项目用电从开发区变电站和变电站分别引路高 压线到高压变电站,两路互为备用。在高压变电站内建设总降压 变电站两座,内设高压配电设备主变压器,将供 电电压由降为,为终端变配电所供电,变电所内设 配电装置分配电变压器及低压配电装置。 消防用电和部分生产用电为级负荷,其它为二级负荷。级负荷 需用双回路供电,其中回路故障时,另回路能带大部分或全部负荷, 使生产不致中断。同时......”

8、“.....该系 统双电源供电的情况下,另设备用发电机。 接地 设置防雷接地保护接地防静电接地安全接地采用共用接地 系统等。 照明 各建筑内照明配电除般照明外,还设置应急照明及疏散照明。急 照明光源及照明灯具选型与所在区域的般照明的光源及灯具相同,应 急照明灯具内自带蓄电池,应急时间不小于分钟。在主要出入口处 疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明,其地面照度值为, 疏散路线上的诱导标志灯带方向指示,出口的诱导标志灯安装在门的上 方,诱导标志灯带蓄电池,应急时间不小于分钟。 所有荧光灯采用高效节能寿命长的灯管,灯具配电子镇流器。 工厂动力管理系统 设置设施管理系统,该系统由设施监控系统设备硬件及软件设备硬件及软件远程接口柜 过程仪表控制盘控制电缆驱动器附属设备控制室的操作 控制台构成......”

9、“.....另外,生命安全系统火灾报警气体报警中央变 电站及终端变电站各有自己专门的控制系统,可经网在操 作界面进行监视不能控制。 控制仪表传感器及驱动器包括温度湿度压力仪表或传感器 压差传感器变送器差压开关信号转换器导电率探头液位变送 器驱动器等,采集测量各子系统现场工艺参数和状态信息,并通过驱 动器完成调节控制。 通信 按照规范及顾客要求,设计内容为电话系统计算机网络系统 监控系统电话数据综合布线系统门禁控制及考勤系统广播系统及 安防系统。 电话系统 根据项目建筑内各区域电话数量要求及以后发展的需要,设全时 分数字程控用户电话交换机,初装容量满足工程近期的需要,交换机可 扩容。具有模拟数字语音通信及数据通信能力,并有强大的组网能力, 电话站预留电源及配线的发展容量......”

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