1、“.....其中风机水泵冷却塔设 置于车间外，其余设备基本上设置于车间内，车间内的噪声源强约为，车间外噪声监 测值约为。为确保本项目建成投产后本项目四周厂界处噪声达标，进步做好环境保 护工作，采取以下防治措施 注意设备选型及安装。设计中尽量选用加工精度高运行噪声低的设备。在安装时，对风机 水泵真空泵空压机切片机等高噪声设备须采取减震隔震措施对风机水泵真空泵空 压机等设备安装时采用消声措施，并分别设置于专用的辅助用房内......”。

2、“.....同时少设门窗，设备工作时应保持门窗关闭冷却水循环系统安装时建议在 其内部设置适量的软体材料，尽量减少水流落差造成的低频噪声。 车间四周墙壁上窗户均使用双层隔声窗，生产时尽量少开启门窗，采用换气扇进行通风换气。 重视整体设计。尽量将高噪声设备尽量布置在生产车间的中部，而主要生产车间布置在整个 厂区的中部。 ④根据高噪声设备的分布，在设备上方安装吸声吊顶。 平时生产中加强对各设备的维修保养......”。

3、“.....必要时应及时更 换。 在南北侧厂界设置高的非镂空围墙，厂界内侧设置宽约的绿化隔离带，种植乔木为主， 辅以灌木等。 预计采取上述措施后及车间墙壁的阻隔，本项目噪声不会对周边声环境造成不利影响。 废水 本项目废水包括生产废水和生活污水。 其中生产废水又分为含氟废水和不含氟废水其中含氟废水包括单晶硅腐蚀工艺废水包括超 声波清洗清洗高纯水浸泡废水甩干废水，酸雾及碱雾吸收废水......”。

4、“.....在硅片研磨生产过程中产生的研磨清洗废水，高纯水 制备过程中产生的浓水及反冲洗酸碱废水，设备间接冷却水。这部分废水中设备间接冷却水为 清洁水，可直接排放。 根据本项目废水产生情况，公司在厂区内设置两套污水处理设施。其中套主要用于处理产生 的切方切片设备冷却水及硅片后道清洗废水，硅片研磨清洗废水，反冲洗酸碱废水。处理规模 为......”。

5、“.....从世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后，它几 乎改变了切，甚至人类的思维。直到上世纪年代开始，硅材料就取代了原有锗材料。硅材料 因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的种半导体 材料，目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的......”。

6、“.....晶体硅太阳能电池是近年来形成产业 化最快的。 熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同 的晶粒，则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。 单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒 状单晶硅。 单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加，单晶 硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势......”。

7、“.....直 径越大的圆片，所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要 求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同，分为直拉法区熔法和外延法。直拉法 区熔法生长单晶硅棒材，外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路 二极管外延片衬底太阳能电池。目前晶体直径可控制在英寸。区熔法单晶主要用于高压 大功率可控整流器件领域......”。

8、“.....目前晶体直径可控制在英寸。外延片主要用于集成电路领域。 由于成本和性能的原因，直拉法单晶硅材料应用最广。在工业中所用的材料主要是 抛光片和外延片。存储器电路通常使用抛光片，因成本较低。逻辑电路般使用价格较高的 外延片，因其在制造中有更好的适用性并具有消除的能力。 单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中最基础性材料，属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民 经济和国防科技中各个领域......”。

9、“..... 高纯的单晶硅棒是单晶硅太阳电池的原料，硅纯度要求。单晶硅太阳电池是当前开发 得最快的种太阳电池，它的构和生产工艺已定型，产品已广泛用于空间和地面。为了降低生产成 本，现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级的单晶硅棒，材料性能指标有所放宽。有的也可使用 半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料，经过复拉制成太阳电池专用的单晶硅棒。 单晶硅是转化太阳能电能的主要材料。在日常生活里，单晶硅可以说无处不在......”。