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3千吨多晶硅项目可行性研究建议报告书.doc 3千吨多晶硅项目可行性研究建议报告书.doc

格式:word 上传:2022-06-24 10:56:30

《3千吨多晶硅项目可行性研究建议报告书.doc》修改意见稿

1、“.....执行城市区域环境噪声标准类标准。 评价因子 环境空气 根据废气排放情况及周围环境特征,空气质量现状评价因子确定为 氯化氢氟化物共项污染源评价因子确定为烟尘 氯化氢氟化物共项氯化氢氟化物项为大气 扩散模型预测因子。烟尘氯化氢氟化氢项为总量控制因子。 地表水现状评价因子确定为高锰酸盐指数石油类 挥发酚氯化物氟化物硝酸盐氮氨氮粪大肠菌群共项污染源评价因子 确定为氨氮氯化物氟化物共项氨氮氯化物 项为预测因子为总量控制因子。 地下水 现状评价因子确定为氟化物氯化物硝酸盐氮氨氮挥发酚高锰酸 盐指数,不进行预测。 噪声 噪声评价因子为厂界。 固体废物 工业固体废物产生量处置量和处置方式 生态环境 生态环境现状评价土地利用性质农作物影响分析。 评价标准 根据五通桥区环境保护局关于该项目执行环境标准的函,确定项目执行标准如 下......”

2、“.....氯化氢执行工业企业设计卫生标准居住 区大气中有害物质的最高允许浓度。环境空气质量评价标准限值见表。 表环境空气中各项污染物浓度限值 序号污染物名称取值时间二级标准浓度限值 日平均小时平均 日平均小时平均 日平均 氯化氢日平均小时平均 氟化物日平均小时平均 日平均次 水环境质量标准地表水环境质量执行地表水环境质量标准中Ⅲ类标准。见 表。 表地表水环境质量评价标准 序号污染因子单位Ⅲ类标准限值 无量纲 石油类 氯化物以计 氟化物以计 硝酸盐氮以计 氨氮 高锰酸盐指数 声环境质量标准 环境噪声标准执行城市区域环境噪声标准中的类标准, 其标准限值昼间夜间。 地下水环境标准 地下水环境质量执行中华人民共和国国家标准地下水质量标准 Ⅲ类标准......”

3、“..... 表地下水环境质量评价标准 序号污染因子单位Ⅲ类标准限值 无量纲 氟化物 氯化物 硝酸盐氮 高锰酸盐指数 氨氮 挥发酚 污染物排放标准 废气排放标准 工艺废气排放执行大气污染物综合排放标准二级标准。 详见表。 表工艺废气最高允许排放浓度 序号污染物名称最高允许排放浓度最高允许排放速 氮氧化物 氯化氢 氟化物 氯气 无组织排放监控年度限制周界外浓度最高点氟化物,氯化氢,氯气。 锅炉大气污染物排放执行火电厂大气污染物排放标准第 时段标准限值。具体的标准值见表......”

4、“..... 见表。 表废水污染物排放标准 序号污染物名称单位最高允许排放浓度 无量纲 悬浮物 氟化物 氨氮 噪声控制标准 根据噪声功能区的要求,本项目噪声控制标准应该执行工业企业厂界噪声标 准中Ⅲ类标准,即昼间夜间。 表工业企业厂界噪声标准 类别标准值依据昼间夜间 化工工业区厂界Ⅲ类工业企业厂界噪声标准 另外,施工期间噪声控制执行建筑施工场界噪声限值。 表施工场界噪声评价标准 施工阶段主要噪声源噪声限值昼间夜间 土石方装载机挖掘机推土机压路机平土机等 打桩各种打桩机等禁止施工 结构混凝土搅拌机振捣棒电锯等 装修吊车升降机等 固体废物污染控制标准 本项目固体废物按其性质分别执行危险废物贮存污染控制标准 和般工业固体废物贮存处置场污染控制标准......”

5、“.....查清拟建项目周围的自然环境社会经济生态环 境现状。 通为,采 用逆流式钢筋混凝土结构机力通风冷却塔。 压缩空气和制氮站 项目全厂设置个空压制氮站,统供气。 本站空气供气系统主机亦设置为开备共两套,采用离心式空压机组,仪表 空气的干燥采用吸附式微热再生空气干燥器。仪表空气紧急事故用气的提供,设置 空气增压机和空气球罐,贮存的空气满足最低用气压力可提供约分钟的用量。锅炉房 本项目所用蒸汽由锅炉房供给。拟建设,中压循环流化床锅炉二台 开备。 锅炉燃料煤拟选用的当地煤矿的烟煤作为燃烧用煤。锅炉燃烧后的烟气经旋风 分离器布袋除尘器除尘后经引风机引至米烟囱高空排放,除尘效率。本 工程配套石灰石炉内脱硫,利用循环流化床锅炉炉内脱硫,脱硫效率。 采暖通风与空调 供电 本项目需要电力负荷为......”

6、“..... 中央化验室 项目设置中央化验室,以负责本项目所需的原料产品以及生产过程中的废水 废气中有关分析项目的检测。 污水处理站 本项目拟在厂内设污水处理站,站内分别设生产废水处理系统生活污水处理 系统事故废水池和消防废水收集池。 生产废水处理系统主要处理来自多晶硅生产装置废气残液处理产品后处理和 硅芯制备工序的水洗设备地坪冲洗水等,拟采用中和处理后综合利用生活污水 处理系统拟采用二级生化处理设施处理后达标排放事故废水池和消防废水收集池 用于收集事故废水和厂区消防废水,以确保外排废水达标。 工程分析 工艺技术方案 工艺技术路线确定 从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼 容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟适合产业化生产等特点,是目 前多晶硅生产普遍采用的首选工艺......”

7、“.....因此 本项目拟采用改良西门子法工艺。 生产方法和反应原理 项目主要工序生产方法及反应原理如下 制备与净化 在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。 电解 合成 在氯化氢合成炉内,氢气与氯气的混合气体经燃烧反应生成氯化氢气体,经空气 冷却器水冷却器深冷却器雾沫分离器后,被送往三氯氢硅合成工序。 合成 在合成炉内粉与在温度下反应生成三氯氢硅和四氯 化硅。同时,生成硅的高氯化物的副反应,生成系的聚氯硅烷及 类型的衍生物。 主反应 副反应 合成气干法分离 经三级旋风除尘器组成的干法除尘系统除去部分硅粉,经低温氯硅烷液体洗涤 分离成氯硅烷液体氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。 氯硅烷分离提纯 氯硅烷的分离和提纯是根据加压精馏的原理,通过采用合理节能工艺来实现的......”

8、“..... 氢还原 在原始硅芯棒上沉积多晶硅。高纯和精制进入还原炉,在的 硅芯发热体表面上反应。 还原尾气干法分离 还原尾气干法分离的原理和流程与三氧氢硅合成气干法分离工序类似。 氢化 在三氯氢硅的氢还原过程中生成四氯化硅,在将四氯化硅冷凝和脱除三氯氢硅 之后进行热氢化,转化为三氯氢硅。四氯化硅送入氢化反应炉内,在温 度压力下,转化反应。 主反应 副反应 氢化气干法分离 从四氯化硅氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体氢气和氯化氢 气体,分别循环回装置使用。氢化气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法 分离工序类似。 硅芯制备及产品整理 硅芯制备 硅芯制备过程中,需要用氢氟酸和硝酸对硅芯进行腐蚀处理,再用超纯水洗净 硅芯,然后对硅芯进行干燥。 产品整理 用氢氟酸和硝酸对块状多晶硅进行腐蚀处理,再用超纯水洗净多晶硅块......”

9、“..... 废气及残液处理 工艺废气处理 用溶液洗涤,废气中的氯硅烷以为例和氯化氢与发生反 应而被去除。 废气经液封罐放空。含有的出塔底洗涤液用泵送工艺废料处理。 精馏残液处理 从氯硅烷分离提纯工序中排除的残液主要含有四氯化硅和聚氯硅烷化合物的液 体以及装置停车放净的氯硅烷液体,加入溶液使氯硅烷水解并转化成无害物 质。 水解和中和反应 经过规定时间的处理,用泵从槽底抽出含的液体,送工艺废料处理。 酸洗尾气处理 产品整理及硅芯腐蚀处理挥发出的氟化氢和氮氧化物气体,用石灰乳液作吸收 剂吸收氟化氢以氨为还原剂非贵重金属为催化剂,将还原分解成和水。 酸洗废液处理 硅芯制各及产品整理工序含废氢氟酸和废硝酸的酸洗废液,用石灰乳液中中和, 生成氟化钙固体和硝酸钙溶液,处理后送工艺废料处理......”

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