1、“.....按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化,按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中, 然后将籽晶快速向上提升,使长成的籽晶的直径缩小到定的大小, 产生零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后,借着拉速与温 度的不断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固 定的部分称为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必 须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成尖点,而与液面分开,长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分,并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度......”。
2、“..... 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片, 切片结束后,从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下,选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元 元。其中进口设备仪器台套,进口费用万元国产设备仪 器台套,费用万元......”。
3、“.....分期实施的原则建设。本 次期工程用地亩,位于规划用地的东侧,总建筑面积平 方米。 在期工程用地内设置个出入口,分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上......”。
4、“.....西侧入口为货物入口, 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路,供消防和物 流使用。 变电站及动力设施位于期用地西北角,与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角,与洗料厂房相临,有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角,使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内,离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近,便于废水就近排放和综合治理。 土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑,层高米。长, 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层层高 米,二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等,建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区,二楼为单晶炉上半部分操作区。除生 产区外......”。
5、“.....以及生产配套的空调机房车间 变配电等。另外,车间还考虑有般物品库,包括暂存间物料入口 等,以利于物料的传输暂存。 切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房,层高米建筑火灾危险类 别为戊类,建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。除生产区外,还布置有生产管理更衣,以 及生产配套的空调机房车间变配电等。另外,车间还考虑有般物 品库,包括暂存间物料入口等,以利于物料的传输暂存。 动力厂房 动力厂房为单层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层高米 建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯 水站控制室和值班室等,建筑面积为。 办公综合楼 办公综合楼为六层,总建筑面积。 其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等......”。
6、“.....温湿度要求为,系统采用新 风机组诱导风机使气流均匀。 通风排烟系统 单晶厂房部分纯水站,经机械过滤活性碳过滤等预处理后,由热交换器换 热至,再经过过滤器过滤,进入二级装置,制成 纯水,进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补 充水,浓缩水作为洗涤塔用水。 后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水,经杀菌脱气离 子交换进入终端纯水箱,最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床 超滤送至用户,循环回水再回至终端纯水箱。 工艺排风系统 根据生产性质,工艺设备排风分为酸碱性废气排风和般排风, 项目工艺设备排风预计为,包括 酸碱性废气排风 般排风 酸碱性废气排风设置酸性废气洗涤塔,并设排气筒高空排放。 单晶炉等使用电能作热源的设备需要排出热废气。 酸碱性废气主要是多晶硅料和单晶硅在各类酸和碱中进行化学清 洗工艺中产生......”。
7、“.....主要污染物有 等。 电气 供电 项目用电装设功率,实际消耗功率,实际用电 量估计万度年。 本项目用电从开发区变电站引来,在动力中心内建设总 降压变电站座,内设高压配电设备主变压器, 将供电电压由降为,为终端变配电所供电,变电所 内设配电装置分配电变压器及低压配电装 置。 消防用电和部分生产用电为级负荷,其它为二级负荷。级负 荷需用双回路供电,其中回路故障时,另回路能带大部分或全部负 荷,使生产不致中断。同时,为了保证单晶炉应急冷却水系统的供电, 该系统双电源供电的情况下,另设备用发电机。 接地 设置防雷接地保护接地防静电接地安全接地采用共用接 地系统等。 照明 各建筑内照明配电除般照明外,还设置应急照明及疏散照明。 急照明光源及照明灯具选型与所在区域的般照明的光源及灯具相 同,应急照明灯具内自带蓄电池,应急时间不小于分钟......”。
8、“.....其地面照 度值为,疏散路线上的诱导标志灯带方向指示,出口的诱导标志灯 安装在门的上方,诱导标志灯带蓄电池,应急时间不小于分钟。 所有荧光灯采用高效节能寿命长的灯管,灯具配电子镇流器。 工厂动力管理系统 设置设施管理系统,该系统由设施监控系统 设备硬件及软件设备硬件及软件远程接口柜 过程仪表控制盘控制电缆驱动器附属设备控制室的操 作控制台构成。 控制对象包括各建筑内空气处理调节系统纯水制备处理系统 冷冻水供应系统热水供应系统工艺冷却水系统高纯气 体工艺真空压缩空气系统废气废水废物处理系统办公区 的空气处理调节系统等。另外,生命安全系统火灾报警气体报警 中央变电站及终端变电站各有自己专门的控制系统,可经网在 操作界面进行监视不能控制......”。
9、“.....采集测量各子系统现场工艺参数和状态信息,并通 过驱动器完成调节控制。 通信 按照规范及顾客要求,设计内容为电话系统计算机网络系统 监控系统电话数据综合布线系统门禁控制及考勤系统广播系统 及安防系统。 电话系统 根据项目建筑内各区域电话数量要求及以后发展的需要,设全 时分数字程控用户电话交换机,初装容量满足工程近期的需要,交换 机可扩容。具有模拟数字语音通信及数据通信能力,并有强大的组网 能力,电话站预留电源及配线的发展容量。消防控制室变配电站 保安室等除设内线电话外还设市内直拨电话。 计算机网络 企业内计算机网络支持办公生产设备等计算机管理系统会 议电视企业资源管理因特网接入等数据传输。数据服务宽带网光 纤由运营商接入。计算机网络布线进入建筑物综合布线系统,计算机 网络速率采用以太网,星型结构......”。
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