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(综合评估)国家火炬计划产业化项目投资立项申请建议书(初步结论和建议) (综合评估)国家火炬计划产业化项目投资立项申请建议书(初步结论和建议)

格式:word 上传:2022-06-25 06:14:31

《(综合评估)国家火炬计划产业化项目投资立项申请建议书(初步结论和建议)》修改意见稿

1、“.....结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中......”

2、“.....即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂分凝是以固液界面为界线,如果单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致......”

3、“.....即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直,无法得到所需要偏角。管状加热炉除了无法得到所需偏角以外,还很难调制固液界面本身平坦度......”

4、“.....在采用管状加热炉情况下固液界面四周热环境是固定,无法变动概述项目提出背景砷化镓单晶是种重要的半导体光电子和高速高频用半导体微电子材料,在国际上其产量仅次于硅。工艺是研究开发最早的单晶生长工艺,也是目前生产量最大的工艺,单晶年产量占全世界单晶年产量的年全球的单晶产量约......”

5、“.....年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权......”

6、“.....目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备......”

7、“.....主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用,资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本......”

8、“.....追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系......”

9、“.....公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本。企业从事该产品生产条件产业基础本项目产品技术成熟,年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,并于同年通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平......”

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