1、“.....并始终使用能保证平面度的研具。符合上述要求的研具，除用特种玻璃外，也可以用工作加工成平面的金属板上涂层四氟乙烯或镀铅和铟，都可以实现研磨与抛光，并能得到高精度的平面加工结果，但其缺点是薄的研具层寿命短。为获得高的研磨表面质量，在工件材料较软时，如加工光学玻璃时，有时使用半软质研磨盘如锡盘或软质研磨盘如沥青盘。使用这种研磨盘最主要的问题是研磨盘不易保持平面度，因而影响加工件的平面度。使用软质研磨盘的优点是研磨出的表面变质层很小......”。

2、“......磨粒磨粒按硬度可分为硬磨粒和软磨粒两类。研磨用磨粒具有下列性能磨粒形状尺寸均匀致。磨粒能适当的破碎，使切刃锋利。磨粒熔点要比工件熔点高。磨粒在加工液中容易分散。.加工液研磨抛光加工液通常由基液水性或油性磨粒添加剂三部分组成，作用是供给磨粒排屑冷却和润滑。对加工工精度和表面质量。在保证加工环境的前提下，各工艺因素的选择原则如图所示......”。

3、“.....约加工环境温度尘埃室温变化度利用清洁室净化工作台图工艺因素的选择原则.研磨盘和抛光盘常用的研磨盘抛光盘材料及部分使用实例见表。常用的研磨盘材料有铸铁玻璃陶瓷等。研磨盘是用于涂敷或嵌入磨料的载体，是磨粒发挥切削作用，同时又是研磨表面的成形工具。研磨盘本身在研磨工程中与工件是相互修整的......”。

4、“.....故要求研磨盘的加工面又高的几何精度。对研具的要求主要有材料硬度般比工件材料低，组织均匀致密无杂质异物裂纹和缺陷，并有定的磨料嵌入性和浸含性。结构合理，有良好的刚性精度保持性喝耐磨性。其工作表面应具有较高的几何材料的加工。适用于各种材质的机械密封环陶瓷片气缸活塞环油泵叶片轴承端面及硅锗石英晶体石墨蓝宝石光学水晶玻璃铌酸锂硬质合金不锈钢粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光。其主要特点有采用无级调速系统控制，可以轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电气比例阀闭环反馈压力控制......”。

5、“.....上盘设置的缓降功能，有效的防止薄脆工件的破碎。通过个时间继电器与个研磨计数器，可以按加工要求准确设置和控制研磨时间和研磨圈数。工作时可调整压力模式，达到研磨设定的时间或圈速的时候就会自动停机报警提示，实现半自动化的操作。通过增加厚度光栅尺形成闭环控制，达到设定的厚度会自动停机，实现在线控制生产。主机般采用调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动软停止，运转平稳。通过上下研磨盘太阳轮游星轮在加工时形成四个方向速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。下研磨盘可升降......”。

6、“.....论和工艺.超精密设备的精度，动特性和热稳定性.超精密加工精度检测及在线检测和误差补偿.超精密加工的环境条件.超精密加工的材料参考国外精密加工技术的经验和我国实际情况，如果能够对精密和超精密加工技术给予足够的重视，投入相当的人力和物力进行研究与开发，在八五期间生产中稳定微米级加工技术的基础上，开始亚微米加工九五期间在生产中稳定亚微米级加工并开始纳米级加工的实验研究。即将在年内达到美国等发达国家目前的水平，并在些主要单项技术上达到国家先进水平。第二章工作原理及基本要求......”。

7、“.....往往是在通过特定的实验条件下获得的实验结果来说明抛光的机理。对于硬脆性材料的抛光机理，归纳下主要有如下解释抛光是磨粒的微削塑性切削生产切屑为主体而进行的。在材料切除过程中都会由于局部高温高压而使工件与磨粒加工液及抛光盘之间存在着直接的化学作用，并且在工作表面产生反应生成物。由于这些作用的重叠，以及抛光液磨粒及抛光盘的力学作用，使工件表面的生成物不断被去除而使表面平滑化。采用工件磨粒抛光盘和加工液等的不同组合，可实现不样的抛光效果......”。

8、“......双面研磨机的工作原理在进行高质量平行平面研磨时需要使用双面研磨，该双面研磨抛光机的工作原理示意图。通常的光学抛光机都是动摆式的，即工件相对于磨盘既转动，又沿定的弧线摆动工件在抛光的同时也不断地进行修整抛光模。但是，当抛光参数设定时，工件和抛光模的那个面形始终处于非收敛的变化中，即面形朝凹或凸的方向单调改变，不断检查面形，修改抛光参数，对操作员的技术水平要求很高。我们般使用中国航空精密机械研究所研制的超精密研磨机进行实验。其上下主轴均为液体静压主轴，并且还能够实现研磨盘的超精密车削......”。

9、“.....用高精度的研磨盘来保证高精度的工件，不需要抛光中工件对其修整。当工件与锡磨盘定偏心同方向同转速运动时工件表面的材料除去相同，而且工件每个点在研磨盘周光滑高平面度的表面奠定了基础。研磨和抛光基本都是利用研磨剂使工件与研具进行单纯的对研而获得的高质量高精度的加工方法。.国内外研磨和抛光的历史及其发展现状在国内外研磨和抛光的历史很悠长，比如玉器和铜镜的制作眼镜的应用年的绘画上就有发现在文艺复兴时期的望远镜和显微镜发明。现在，除了已经实现大批量生产透镜和棱镜外......”。