1、“.....,.,..,.,,.,.,,.,ε,.Ⅲ.,,,.,了理想传感器电容,在实际结构中还有许多寄生电容图。这些电容可以建模,如图所示。这里代表电极寄生电容,是从电极到屏蔽电极和屏蔽层......”。
2、“.....形成个偏移电容。当传感器电容连接到电压源,通过电极电流可测,和,将被消除。可通过偏移测量消除。图消除寄生电容电流通过并联反馈放大器测量,它具有非常低输入阻抗。要获取所需线性度,放大器单位增益带宽必须符合下列条件是在此期间输入信号。由于包括电缆电容和运算放大器输入电容,它很可能大于而不可忽略。Ⅳ......”。
3、“.....它是基于以下原则。当我们用线性系统测量电容,得到个值其中是未知增益,是未知偏移。以相同方式,通过测量参考量,测量偏移,使,参数和被抵消。最后测量结果定义为在我们例子中,传感器电容为其中,是电极面积,是它们之间最初距离,ε是介电常数,是要测量位移。对于参考电极,它为为面积,为距离......”。
4、“.....然后代入得式中,当和未知时,是个表示位置值,但是稳定常数。常数是个稳定常数,表明电极之间区域有良好机械匹配。常量也是个稳定常数,表明和是常数。这些常量可以由次性校准确定。在许多应用中校准可以省略当位移传感器是个较大系统部分,全面校准是必须。这个整体校准无需单独测定和。Ⅴ......”。
5、“.....这些与电容值成正比信号被转化到个周期。当电容两端电压摆幅等于电阻两端,门为,这振荡器有个周期.因为电阻值保持不变,这周期变化只与电容值有关。现在,通过切换在右边端口,电容可以平行连接到。即周期为常数和以在第四节中描述方式抵消。表明,这系统能克服运算放大器和比较器大多数非理想状态,如回转,限制带宽和增益,偏移电压......”。
6、“.....这些非理想只造成能被三信号通道消除累计误差或乘积误差。Ⅵ.用微控制器测量周期用微控制器执行周期测量是件容易事。在我们例子中,使用英特尔,其中有,字节和串行通信,有分辨率进行周期测量。即使计数器有宽,他们也可以很容易地将软件扩展到或更多。周期测量大多发生在微控制器硬件中。因此......”。
7、“.....同时测量周期,周期,和周期,关于相对电容计算方法根据式,其结果是通过转移到个人计算机。图含微控制器和电极改进马丁振荡器图周期测量作为背景进程图位移误差作为位移函数及非线性估计值Ⅶ.实验结果该传感器对电极制造容差不敏感。因此,在我们实验装置中用简单印刷电路板技术制造电极,它有个毫米毫米有效区域。屏蔽电极毫米宽......”。
8、“.....当电极之间距离变化超过毫米范围,电容值从.变化为.。所选择概念下,甚至可用个简单双运放和,允许单伏电源电压。总测量时间只有毫秒,振荡器运行在千赫下。该系统用全自动化装置测试,使用电力工作台描述传感器和个人计算机。为了达到所需测量精度,设置为每分钟自动清零。在这种方式下,非线性长期稳定和可重复性......”。
9、“.....由这些实验结果表明,分辨率达约。这结果通过平均超过个振荡周期实现。通过延长测量时间进步提高分辨率是不可能,因为噪声产生在积分和比较第阶段。绝对精度决定于定位精度。由于毫米位移对应电容变化,位移绝对精度数值即为绝对精度。非线性误差位置测量值最小二乘法结论个低成本,高性能位移传感器已完成......”。