1、“.....万方数据目次摘要目次图和附表清单绪论课题研究背景目的及意义三维微触觉测头的国内外研究现状基于电容传感检测系统的三维微触觉测头基于压阻传感检测系统的三维微触觉测头基于电磁传......”。

2、“.....测量力小于。万方数据中国计量学院硕士学位论文测头分辨力为，量程大于，不确定度小于。测头实物如图所示。图测头实物瑞士苏黎世联邦理工学院的等也设计了类似电容测头的测头系统......”。

3、“.....量程更大，采用标准的金属切削工艺加工，并通过结构的优化设计使测针更换成为可能。图为其结构及实物。图测头结构及实物该测头的三个电容传感器作用于同个小圆盘，无需像测头样设置三个小圆盘，简化了测头结构。此外，该测头还设置了重力补偿结构，用以平衡探测单元重量，以减轻悬梁压力。测头的线性误差小于，探测精度小于，其他参数有待进步测试。基于压阻传感检测系统的三维微触觉测头德国联邦物理研究院的等联合德国不伦瑞克技术大学的和研制了种基于的硅微三维测头，测头由硅膜和测针组成，如图所示。万方数据中国计量学院硕士学位论文图压阻测头结构及实物通过单晶硅的各向异性腐蚀，形成厚度约的薄膜和厚度的中心连接体......”。

4、“.....薄膜方形口尺寸为，整体尺寸。薄膜背面分布个压阻条，组成组惠斯通电桥，分别用于检测三轴方向的位移。测杆长，直径，测球直径。加载在测端的力通过测杆传递给薄膜，引起薄膜的变形，然后通过压阻检测出变形量，进而得到测端的位移。测试结果表明，开发的硅膜测头横向分辨力为，测端重复性，接触力轴向分辨力，重复性，接触力。向的耦合为，向的耦合为。测头量程，不确定度。后经等改进后，薄膜方形口尺寸优化为，整体尺寸为。利用个惠斯通电桥共个压阻条进行检测，并采用长的测杆和直径的测球。改进后测头三轴重复性分别达到了和。埃因霍温技术大学的,开发了种基于三角形拓扑梁悬挂结构的压阻测头，测头结构如图所示......”。

5、“.....由于结构微小，大部分元件通过胶水固定。测头悬挂结构采用硅工艺加工，压阻信号通过惠斯万方数据中国计量学院硕士学位论文通电桥检测。经校准，测头每小时的平均漂移量为，最大漂移量。在范围内磁滞小于，在范围内磁滞大于。虽然测头在内的重复性小于，但缺乏长期稳定性，有待进步的完善。指出提高压阻的灵敏系数可以改善测头的重复性。图系列测头实物优化和完善了开发的三角形梁结构测头，使测头在各方向的重复性达到了，测量范围内不确度，并使用长度半径比为的测针，使测头具备了测量大深宽比复杂结构的能力。通过后续的些改进，由公司商业化为的系列测头和。图为系列测头实物。和的性能如表所示,......”。

6、“.....等还开发了用于测量高深宽比结构的压阻型三维微触觉测头等开发了基于压阻传感检测系统的触发式三维微触觉测头。基于电磁传感检测系统的三维微触觉测头瑞士联邦计量检定局的等开发了种电磁式微触觉测头，测头主要由铝制成，利用三个电感传感器检测三轴位移，具有三个方向的自由度，测量力各向同性。测头结构如图所示。图测头结构测针通过磁力吸附在测头上，并通过三个凹槽与测头上的三个小球配合实现定位，且可根据不同的测量任务更换不同大小的测头。测头的测量力小于，可根据需要更换测球直径到的测针。所有轴相对于重力具有相同的方向，刚度各向同性，大小仅......”。

7、“.....测头量程为，分辨力小于，重复性。测头实物如图所示。图测头实物基于谐振传感检测系统的三维微触觉测头日本公司,开发了种谐振式三维微触觉测头，测头结构及实物如图所示。万方数据中国计量学院硕士学位论文图测头结构及实物测头通过检测测端球接触样品表面后引起的振幅衰减实现测量，当测完点后，测头与样品表面分离，振幅恢复至设定值，然后进行下点的测量。测头的测杆长，直径，测端球直径。测头的测量力为，分辨力为，量程，测量重复性小于。相关的研究还有的等,开发的谐振式测头，测头采用三角梁悬挂，并在梁上制作压电驱动器和压电传感器，用以励振及检测振幅及相位变化。测头的相关参数还有待进步测试，图为其结构及实物......”。

8、“.....如图所示。万方数据中国计量学院硕士学位论文图激光捕获测头结构及实物测头利用个在光阱力和自身重力作用下达到平衡的小球作为探测单元，通过激光捕获直径的玻璃微球探头的运动，可实现三维方向的测量。系统的测量精度可达，分辨力优于，量程约。通过倾斜光滑表面倾角和沟槽深约的测量实验，表明该测头具有测量三维表面形貌和高深宽比结构的能力。台湾大学的等开发了种基于迈克尔逊干涉仪的三维微触觉测头，测头主要包括测针悬挂结构和三个位移传感器。其结构如图所示。图测头结构测针测端球的位移经测杆传递给悬挂盘，从而引起反射镜的偏移......”。

9、“.....并通过相应的转换模型得到针尖的位移。测头可工作于触发模式和扫描模式。经校准，这两种模式下的标准偏差均小于。万方数据中国计量学院硕士学位论文此外，基于光学传感检测系统的三维微触觉测头研究还有德国伊尔门瑙技术大学的匈牙利布达佩斯技术大学的瑞士苏黎世联邦理工学院的及中国合肥工业大学的范光照等。本文主要研究内容通过对以上国内外研究现状的分析，可知目前开展的纳米测量机微触觉测头研究工作及成果主要集中在国外，国内的主要有台湾大学合肥工业大学天津大学和上海市计量测试技术研究院等。早在上世纪年代，等国际知名科研机构就已率先开始微触觉测头的研究，通过十余年的努力，已取得定的成果，但是在微触觉测头开发中......”。