1、“.....该磨削操作上进行了计算机数字控制加工中心图。在最佳工艺条件,通过观察确定被选定与磨削各种参数,然后在适当的条件的影响获得更好的结果。在率和深度保持不变,实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。然而,由于在磨损的表面形成了黑色带状,所以机械加工条件进给速度下有限制。图显示了进给速率的影响和当前负载比黑带的形成,这将影响到表面光洁度。在图中,标志表明黑色地带的形成......”。
2、“.....重要的是要选择适当的进给速率和气流比例。图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图磨削的限制条件当的进给速黑色地带的形成。图显示了进给速率的影响和当前负载比黑带的形成,这将影响到表面光洁度。在图中,标志表明部分内容简介光过程。从实验结果来看,适当增加气流的比例表面粗糙度变好的趋势是显而易见的。然而,由于在磨损的表面形成了黑色带状,所以机械加工条件进给速度下有限制......”。
3、“.....这将影响到表面光洁度。在图中,标志表明黑色地带的形成。达到理想的表面光洁度和避免黑带的形成,重要的是要选择适当的进给速率和气流比例。图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图磨削的限制条件当的进给速率和深度保持不变,实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。从图中可以很明显看出,表面粗糙度有所改善,但车轮磨损相应地正比比例增加。磨削系统开发和实验开展提供了个实际应用的解决方案的过程。通过选择适当加工和电解条件,在上......”。
4、“.....图是微距镜头在玻璃棒加工的个例子。使用磨削完成硅片纳米表面的精加工将抛光技术用于半导体材料,化学机械抛光有许多优点和些严重的缺点。和这样的柔性和脆性材料用技术可以得到很高效的磨光。然而,这过程相应出现些缺点,比如,很难抛光硬性和脆性材料如硅低效率除由于低利率,非均匀晶片表面由于晶片的背压的变化而变化,以及相对整个晶圆表面切削速度的变化,参与这个过程成本相对较高。另方面,磨削过程相对过程有些重要的优势,是磨削过程取代的抛光方法的潜在优势......”。
5、“.....整个晶片的表面均匀,参与这个过程的成本较低。图加工气流条件的影响图通过磨削球形显微镜头直径作者已经进行的实验用该磨削过程的整体性能来比较涉及工艺的过程。该磨削操作上进行了计算机数字控制加工中心图。在最佳工艺条件,通过观察确定被选定与磨削各种参数,然后在适当的条件的影响获得更好的结果。在磨削参数的晶圆加工如下进给速度毫米分钟,砂轮粒度粒度,主轴转速的转速,切削深度为纳米,电源电压,最大电流在硅晶片的研磨,材料的去除速率是非常高的,通常可以实现的......”。
6、“.....经过磨削两个晶片到厚度,砂轮的厚度没有变化。表面是完美的韧性和可以实现镜子似的抛光,如图所示。图磨削对硅片的实验装置采用超精密加工单点金刚石刀具生成了纳米表面单刀双掷超精密加工超精密加工除去物料从几微米到亚微米级,在加工难以加工的材料方面实现延性方式,例如无电解镀镍,硅,石英,玻璃和陶瓷,无表面缺陷的技术。这样的加工过程中很容易达到小于镜面表面的加工,小于的形式。如果在特定的范围适当地施加到金刚石转盘材料,该过程是远远优于研磨和抛光......”。
7、“.....加工时间变长。实现超精密加工的个重要因素是机床能够在纳米的分辨率内以高精度运动。这样的机床必要的功能包括刚度使用振动稳定性真空轴承主轴,低运行速度闭环控制器纳米级分辨率的反馈。在新加坡国立大学的先进制造实验室有个这样的机器是东芝的超精密机床。另个重要因素是采用由单晶金刚石高品质的工具无论是自然的还是制造的。单晶直径的优点包括高的硬度和耐磨性,对加工过程中的除热良好的导热性,并且可以实现的纳米级切削锋利的切削刃半径。要考虑的其它重要因素包括刀具几何形状,刀具磨损......”。
8、“.....切削条件和被加工材料的特性。在个转动安装的工作,是通常被称为金刚石车削加工设置,如在图所示。化学镀镍金刚石车削镀成型模具超精密加工技术个主要应用是化学镀镍的金刚石车削电镀成型模具的塑料光学部件,如液晶或投影电视。然而,构成个很大的挑战就是刀具的直径寿命短,蒙德切割机和抛光工艺金刚石车削后是必需的。这是不希望的研磨面的形状误差是次于金刚石翻面。因此,只保留车削加工这种模具和该项目的目标是提高金刚石切削工具是很重要的......”。
9、“.....新加坡国立大学的先进制造实验室,在进行个项目工作是在日立公司,与日本的合作,深入研究这个问题。该过程已建立化学镀镍压模的金刚石车削,已经达到表面粗糙度小于。已经建立影响金刚石刀具磨损的主要因素的化学镀镍组合物,该金刚石刀具的晶体取向,金刚石采用的该类型人造或天然该金刚石刀具的前角。考虑到这些,已经达到长的切割距离,仍保持镜面光洁度。下面的小节说明进行该项目的主要成果针对不同的化学镀镍组成铣刀的性能的调查。在无电解镀镍的金刚石车削......”。
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