1、“.....在电子器件表面清洗 太阳能电池的生产激光技术气相绝缘低温制冷泄漏检验剂 控制宇宙火箭姿态印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 全球用量吨以上，国内用量超过吨，年均增长率 以上。厂房含办公和辅助平方米。 第期项目名称计划建设规模吨年 电子级高纯四氟化碳 电子级高纯六氟化钨 电子级高纯六氟化硫 电子级高纯八氟丙烷 第二期项目名称计划建设规模吨年 电子级高纯六氟乙烷 电子级高纯五氟化磷 电子级高纯三氟化氮 公司新产品储备项目等， 可在几年后条件成熟时逐步投产。 资源占用 土地总占地亩，期用地亩，二期用地亩，发展备用地亩。厂房含办公和辅助平方米。 资源占用 土地总占地亩，期用地亩，二期用地亩，发展备用地亩......”。

2、“..... 项目实施计划 项目分两期，两年内分别实施。同时本公司有多项新产品储备， 在几年后也将陆续量产。 第期项目名称计划建设规模吨年 电子级高纯四氟化碳 电子级高纯六氟化钨 电子级高纯六氟化硫 电子级高纯八氟丙烷 第二期项目名称计划建设规模吨年 电子级高纯六氟乙烷 电子级高纯五氟化磷 电子级高纯三氟化氮 公司新产品储备项目等， 可在几年后条件成熟时逐步投产。 资源占用 土地总占地亩，期用地亩，二期用地亩，发展备用地亩。厂房含办公和辅助平方米。 用电量双回路供电，期年耗电万千瓦时，二期 年总耗电量亿千瓦时。 水主要用于冷却和淋洗，循环使用，消耗量可忽略不计......”。

3、“..... 投资概算 二期总投资亿元，其中土地及厂房基础设施投资 万元，设备购置亿元，流动资金投入万元。其中 期投资亿元，土地及厂房基础设施投资万元，设 备购置万，投入流动资金万元。 项目建设周期个月主要受取证进度影响。 效益分析详细分析略 期项目达产可实现销售收入亿元年，利税万元年 二期项目达产后可新增销售收入亿元年，新增利税 万元年 二期合计可实现销售收入亿元年，利税亿元年 由于本项目附加值较高，投资回报率远高于普通工业气体，项目 的税负率可达左右。 出口创汇能力，每年创汇万元以上。 产品介绍 四氟化碳 微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，广泛应用于硅二氧化硅氮化硅磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。在电子器件表面清洗 太阳能电池的生产激光技术气相绝缘低温制冷泄漏检验剂 控制宇宙火箭姿态印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用......”。

4、“.....国内用量超过吨，年均增长率 以上。目前国内只有少量粗气生产。 六氟化钨 应用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺，大规模集 成电路中的配线材料。市场需求快速增长，全球平均每年以 速度递增。预计到年，全球需求量达到吨以上。 目前国内无生产，本公司已完成中试，可迅速规模化生产。 电子级高纯六氟化硫 产品规格 大量用于在电子器件表面清洗，在行业中应用量增长最快。 目标市场，半导体芯片国内年需求吨左右，并 有年增长率。 八氟丙烷 主要用于半导体清洗工艺，效率高于传统清洗气，是目前英寸 以上半导体芯片生产制程必须使用的完全无臭氧层破坏和无温室效 应的刻蚀和清洗材料。目前国内没有生产，本公司已完成中试。 六氟乙烷 产品规格 目标市场目前国内需求吨年左右，全部依赖进口，本公司已完成中 试。 五氟化磷 太阳能发电及电动汽车所需大功率锂离子电池......”。

5、“.....而是生产六氟磷酸锂的主要原料。目前全球 产，本公司已完成中试，可迅速规模化生产。 电子级高纯六氟化硫 产品规格 大量用于在电子器件表面清洗，在行业中应用量增长最快。 目标市场，半导体芯片国内年需求吨左右，并 有年增长率。 八氟丙烷 主要用于半导体清洗工艺，效率高于传统清洗气，是目前英寸 以上半导体芯片生产制程必须使用的完全无臭氧层破坏和无温室效 应的刻蚀和清洗材料。目前国内没有生产，本公司已完成中试。 六氟乙烷 产品规格 目标市场目前国内需求吨年左右，全部依赖进口，本公司已完成中 试。 五氟化磷 太阳能发电及电动汽车所需大功率锂离子电池，系以六氟磷酸锂 为电解质主要成分，而是生产六氟磷酸锂的主要原料。目前全球 需求量吨左右，每年增长。 三氟化氮 是半导体及太阳能电池制造行业大量使用的关键刻蚀和清洗材 料......”。

6、“.....目前 全球市场规模约为亿元，并保持每年速度增长。预计 年后国内三氟化氮需求将达到吨以上，亚太地区将超过 吨。目前国内只有少量粗气生产。 工艺路线 本项目生产的电子气体全部是氟化物，氟元素来源于电解制氟。 目前国内的制氟技术已经非常成熟，本项目拟采用中温电解制氟技 术，可以保证省电高效安全。 通过电解得到单质氟以后，加入其他元素通过与氟合成，可分别 得到不同的氟化气体，再经过本公司特有的国内唯的精馏吸附技 术，使产品最终达到电子级。 反应式及简明制备工艺如下 合成单质碳材与元素氟直接反应工艺合成单质硫与元素氟直接化合工艺 合成元素氟直接氟化工 合成元素氟直接氟化合成 合成钨或钨化物与元素氟直接化合工艺 合成两步法工艺 合成单质磷与元素氟直接氟化工艺 环境影响评价 废气 整个生产系统密闭，无烟无尘，负压生产......”。

7、“..... 电解装置阳极产物为氟气，经密闭系统由管道送到反应器中，经 化学反应生成氟化物阴极产物为氢气，氢气经淋洗系统除去微量 ，符合国家排放标准后排入大气，对周围环境无影响也可考虑 回收再用。 在电解质除水工艺系统检修对设备和管道进行置换抽空时， 剩余的氟气会引入反应器中，生成氟化物进入后续生产工序，也不会 污染环境。 精馏时释放的不凝性气体，主要成分为空气和微量惰性气体，均 无毒无害，不会影响周围环境。 废渣 在整个项目生产过程中，只有检修垃圾无回收价值的废电解质 和淋洗过程产生的少量氟化钙属于固体危险废弃物，年总废渣量吨左右，可以定期送危废中心存放。其他所有废渣属于普通工业垃圾， 不会对周围环境造成影响。 废水 氟化气体生产属于不涉水化工项目，生产过程无废水排放。 生产用的设备冷却水，可以循环使用。 在产品净化过程中......”。

8、“..... 需用水及溶液淋洗，淋洗水和溶液循环使用，定期处理 即使用段时间后，用石灰乳中和沉淀，生成氟化钙，净液返回 系统继续使用，氟化钙废渣存放。不会对环境造成影响。 安全评价 氟化物稳定性强，属于无毒不燃性气体。整个项目涉及的危险 源为无水原料，电解产生的和，钢瓶，电气设备。 无水氟化氢由供应商提供，生产过程属于集中自动加料，现 场人员与此不接触，过量加料时由电磁阀和安全连锁装置双保险自动 断开，可以做到无风险。 由电解产生，每台制氟设备每小时仅产生公斤，生 产过程中边生成，边进入下工序与其他物质进行反应，流程中不 存放不停留。故无安全风险。 由电解产生，在电解的同时通过管道进入淋洗装置，通过 几级淋洗后经阻火装置随时安全排空，现场不储存不停留不聚集。 故无安全风险。 钢瓶是电子气体成品的包装物和载体，钢瓶公称工作压力般为以上，实际工作压力只有......”。

9、“..... 且每年送检次。故无风险。 电气设备项目需用大量的电气设备，主车间采用防爆电器，所 有电器设备都设有安全距离和安全通道，标志明晰专人操作规程 严密。无安全风险。 其余内容略 项目名称电子新材料特种氟化物电子气体项目 项目地址满足省级以上开发区，享受优惠电价，物流便捷成 本低等选址要求。具体地址待定 投资方宝钢气体有限公司 电子材料有限公司 共同投资 宝钢气体有限公司是宝钢集团有限公司的全资子公司。 宝钢集团有限公司总资产多亿元，已连续十年进入美国财富 杂志评选的世界强榜单，年位列第位。标普穆迪 惠誉三大评级机构给予宝钢全球钢铁企业和中国制造业中最高的信 用评级。现有员工万多人，遍布世界各地。 宝钢气体公司是目前全国最大的专业气体公司，以空分产品稀 有气体和电子气体为主业，年销售额近亿元人名币......”。