1、“.....各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先 进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在 正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。 型钽靶材生产工艺研究 取得的技术突破 型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织 型钽靶材拉深工艺 型钽靶材机加工艺 型钽靶材焊接工艺。宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 靶材详细销售情况见表所有钽靶材 执行美国哈尼威尔公司 标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌 靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用 户的认可，填补国内空白。 产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量 稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材 表年至年月钽靶材销售表 溅射钽环件 产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量 稳定可靠，已形成批量销售......”。

2、“.....制定了企业标准钽铌 靶材表面质量检测标准。部分内容简介性能均符合标准，其中 纯度 晶粒度控制在之间，并且均匀致 再结晶度 平整度 粗糙度 结晶取向在厚度方向呈织构。 市场情况 通过该项目的研究，已确定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材 生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司 标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌 靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用 户的认可，填补国内空白。 产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量 稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材 表年至年月钽靶材销售表 溅射钽环件生产工艺研究 溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性 成果，即完成溅射钽环件坯料的制备工艺研究......”。

3、“.....并均匀致 溅射钽环件用钽条同板差小于 溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺，采用压力成型及精加工工 艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差的要求。 市场情况 产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销 售。详细销售情况见表，表 表年至年月钽条销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 表年至年月钽环件销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础 通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和 公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工 艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件的加工工艺。具体 取得的成果分述如下 高性能钽靶材成品加工工艺研究 取得的技术突破 钽靶材和铜铜背靶的扩散焊接技术，焊接结合率大于......”。

4、“.....产品尺寸及形位公差满足用户要求 成品钽靶材表面铝热喷涂工艺 成品钽靶材的清洗工艺。 靶材坯料成品靶材 市场情况 成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进 行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先 进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在 正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。 型钽靶材生产工艺研究 取得的技术突破 型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织 型钽靶材拉深工艺 型钽靶材机加工艺 型钽靶材焊接工艺。宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 靶材坯料同规格铜型靶材 市场情况 型钽靶材目前在国内没有应用，我们的图纸来源于公司， 他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在 外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品......”。

5、“.....由 于市场的原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺的研究。 取得的技术突破 钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀 钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致 钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准 清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。 钽棒和钽条成品钽环件宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 市场情况 钽环件的加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行 检测认证。国内送到中芯国际的样品等待上机测试。 取得的专利情况 已申请国家发明专利 已申请国家发明专利有项 磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号 磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请 号 磁控溅射环，专利申请号......”。

6、“..... 三建设方案 项目规模及主要内容 建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。主要内容是厂 房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备 如表 表购买关键设备明细 序号设备名称数量工艺要求用途 电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削 数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削 镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花 热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂 喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件的成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。 精密卷圆机台最大厚度，宽度......”。

7、“.....环件及靶材成品清洗包装 专用轧辊对用于靶材及环件轧制 购买设备多为通用设备，也可用于分厂其它产品生产。热等静压 机和三座标检测设备现在公司都有，可共用。产品工艺稳定，并有稳 定的用户后，再进行扩能建设，扩能建设主要补充机加设备和检测设 备三坐标仪。 实施的工艺路线 成品钽靶材工艺路线宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定的生产工艺， 加工产品既通钽业股份有限公司项目管理 工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定的生产工艺， 加工产品既通过实验室的分析检测织构检测，金相检测，焊接强度 检测，焊接结合率检测，尺寸检测，外观检测，也通过最终用户的 上机测试，工艺先进，在国内属领先水平......”。

8、“.....此工艺是经过多次试验最终确定的生产工艺， 加工产品通过实验室的分析检测焊接检测，金相检测，尺寸检测， 外观检测，已送到最终用户等待上机测试。 建设工期和进度安排 根据国内同类型工程建设的实践经验，结合本项目设备制造周 期工程设计以及设备施工招投标本地区及企业的建设力量和条 件，确定本项目建设周期年热等静压机需要年半的加工周期， 前期可以外协......”。

9、“..... 投资使用方案 投资构成 投资构成见表 序号设备名称数量用途金额万元 电子束焊机台靶焊接及环件焊接宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 表投资构成表 五经济效益分析期 成本计算 材料成本 钽靶材 每件成品靶材钽材重，材料直收率，原料价格 元，废料价格元 钽材成本元 每件成品靶材铜材重，材料直收率，原料价格元 ......”。