1、“.....这也导致真正要实 现超净高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距。 我国半导体市场规模在不断扩大，年我国市场已达亿元。 年年间，平均增长率。目前国内英寸英寸毫米 生产线条，英寸线条，占国内条生产线总数的，产能已占全国的， 英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建 的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨。 在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化， 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口， 标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口......”。

2、“..... 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期，年由北京化学试 剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用的种级 试剂。随着集成电路集成度的不断提高，对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严，同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为了满足我国集成电路发展的需求，国家自六五开始至八五，将超净高纯 试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划，并由北京化学试剂研究所承担攻关任 务。到目前为止，北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级 超净高纯试剂，其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平，适用于 工艺技术的加工制作，并在九五末期形成了年的中 试规模......”。

3、“..... 十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了 超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化学试剂研究所 上海华谊集团公司等单位承担，其研究的主要目的是完成技 术用超净高纯试剂的研究与开发工作，此项目现已完成，关键品种的制备工 艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发的要求，颗粒金属杂质阴离 子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果，为十二五的产业化技 术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。 上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材 料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限 公司，成为执行计划的实体主体，拥有平方米实验室平方 米净化室和配置相应的试验设备等。通过课题的研究开发......”。

4、“.....也培养了大批专业技术人才。 年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出 资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模的 超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化 学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸 氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及 半导体生产线质量标准的要求。 上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平 的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达 到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到 的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限 的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪 的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪 激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等......”。

5、“.....产品已开始进入主要集成电路厂家 试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。 微电子技术与超净高纯试剂在西部地区的发展西部地区的微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速 发展的阶段。 年成都地区首先引进了英寸芯片的生产线，并将其定为号工程，总 投资亿人民币。随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业 列为支柱产业。 从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年 达到年产值亿元，占国内同类市场份额的。建成中国西部门类最齐全， 规模最大的集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。现 已有茂德日月光等台资企业及等巨头进驻园区。 随着企业巨头的迁移落户，地处西部的成渝地区正在改变全球电子信息产 业的格局，以电子信息产业为代表的产业转移效应正在显现。 最新的数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台......”。

6、“.....出口金额为亿美元，约占全市出口总额的而重庆 便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量的。 成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口的数据几乎为 零。随着鸿富锦公司产能的进步提升和仁宝纬创等企业的陆续投产，这 作服后经风淋间淋至达到要求才能进入。 包装容器在普通洁净工作间先用纯水洗净，然后进入万级工作间进行精洗， 然后由专用通道进入级净化间内，用达到要求的超净高纯水漂洗至合格后，再 供使用。 因此，生产超净高纯试剂必须要有下列设施 级超净工作间及外围的万级净化间 万级净化间及在其中安装的各种生产设备 超净包装容器的清洗的设备及超净工作间 超净高纯水生产设备 空气及液体中尘埃颗粒的测试仪器 超净高纯试剂中的杂质测试设备级至级。 超净厂房的建设 现在英寸的芯片生产线，芯片线路线宽都在......”。

7、“.....需要建设级的超净厂房，主要用于产品灌装和产品检测，共 需要平米。其次，为适应英寸以上芯片生产线，超净高纯试剂的高要求，在 级的超净室内还需设置级的超净工作台，核心操作都在超净工作台内完成。这样形成逐级严格的控制，更利于保证洁净度。除上述的核心部分的级超净室 与级超净工作台外，还必须设置更大规模的与其配套的万级超净室与十万级洁 净室。 生产提纯设备的添置 现今的超净高纯试剂其杂质含量已要求在级至级，在这样的要求下， 般采用普通玻璃设备都难以达到，必须采用优质的石英玻璃来制作各种生产设 备才能达到要求。这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造 出来。 超净包装容器自动清洗线的设计安装 超净高纯试剂的包装容器，历来是其发展过程中的瓶颈问题，很多情况下是 可以生产出合格产品，但经包装后就不能使用了，除了包装容器的材质的选择外......”。

8、“.....其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就不是 靠手工能洗得出来的了，必须设计专业的清洗设备，在超净工作间内自动清洗才 能达到要求。 超净高纯水的生产 超净高纯水主要用于生产设备的清洗及包装容器中的清洗，其质量的好坏直 接影响到超净高纯试剂产品的质量。传统的超净高纯水生产工艺是采用反渗透加 离子交换工艺，水质虽可达到使用要求，但离子交换工艺操作中大量使用酸碱， 并生成大量酸碱废液难以处理，本项目拟采用最新技术电去离子工艺，出水 质量更优，不再产生酸碱废水，运行成本更低。 分析测试仪器的添置液体尘埃颗粒计数器气体尘埃颗粒计数器原子吸收光谱仪等专业分析仪 器及其他许多常规分析设备，更先进的等离子光谱或电感耦合等离子光谱质 谱仪。 三项目建设规模及投资概算 项目总目标年产吨级超净高纯试剂 年产值亿元 年利税亿元......”。

9、“.....万元 万级超净工作间及配套设施设备，万元 万级洁净生产厂房及配套设施设备，万元。 生产设备合计万元 年产吨超净高纯硫酸设备，万元 年产吨超净高纯盐酸设备，万元 年产吨超净高纯硝酸设备，万元 年产吨超净高纯双氧水设备，万元 年产吨超净高纯无水乙醇设备，万元 年产吨超净高纯氨水设备，万元 年产吨超净高纯甲醇设备，万元 年产吨超净高纯异丙醇设备，万元年产吨超净高纯氢氟酸设备，万元 年产吨超净高纯磷酸设备，万元 年产吨超净高纯冰乙酸设备，万元 年产吨超净高纯氟化铵设备，万元 年产吨超净高纯氟化氢铵设备，万元 年产吨超净高纯乙酸乙酯设备，万元 年产吨超净高纯乙酸丁酯设备，万元 年产吨超净高纯甲苯设备，万元 年产吨超净高纯二甲苯生产设备，万元 年产吨超净高纯三氯甲烷生产设备......”。