1、“.....场仅需分钟，至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大 厦等都十分便捷。 公司毗邻地铁二号线，北入连接内环线和浦东国际 基地北临金秋路西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地。据了明显的地缘优势，能够为国内 面板生产企业提供快速响应优廉的技术支持服务，对于降低用户的使 用维护成本具有重要意义。公司的劣势主要在于进入平板显示器市场相对较晚， 竞争对手已经具备定数量的装机量，在市场上享有更高的知名度。 为进步增强公司平板显示器用光刻机的研发能力和制造水平扩大研发和 生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本项目新建厂房建设。本项 目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产 工艺设备。称单位原有和在建本期完整项目 基地总面积 建筑总占地面积 总建筑面积 建筑密度 容积率 绿化率 集中绿化率 建筑 新建厂房为混凝土结构......”。

2、“.....层车间为千 级洁净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总高达米，重约，加 上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高米， 为万级洁净车间四层层高米，为洁净仓库。地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足 规划要求。 总图主要经济和技术指标 序号名本项 目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产 工艺设备。 为进步增强公司平板显示器用光刻机的研公司的劣势主要在于进入平板显示器市场相对较晚， 竞争对手已经具备定数量的装机量，在市场上享有更高的知名度。据了明显的地缘优势，能够为国内 面板生产企业提供快速响应优廉的技术支持服务，对于降低代和代光刻机设备开发条件的企业。 与其他国家的竞争对手相比较，占部分内容简介 公司和上海大学已经进行了年的紧密合作......”。

3、“.....中试线用光刻机 将于年月交付上海大学平板显示工程中心使用，是最具有先行启动 代和代光刻机设备开发条件的企业。 与其他国家的竞争对手相比较，占据了明显的地缘优势，能够为国内 面板生产企业提供快速响应优廉的技术支持服务，对于降低用户的使 用维护成本具有重要意义。公司的劣势主要在于进入平板显示器市场相对较晚， 竞争对手已经具备定数量的装机量，在市场上享有更高的知名度。 为进步增强公司平板显示器用光刻机的研发能力和制造水平扩大研发和 生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本项目新建厂房建设。本项 目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产 工艺设备。 项目建设地点 项目建设地点位于上海市浦东张江高科技园，公司现有场地内。 基地北临金秋路西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地......”。

4、“.....北入连接内环线和浦东国际机场的重要通道龙东大 道，西临连接内环线和外环线的主干道路罗南大道，交通网线发达，距浦东国际 机场仅需分钟，至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大 厦等都十分便捷。 工程建设方案 总图规划 公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有 主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另 设项目在建的工业中试研发楼。 本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。新建厂 房占地面积约平方米，总建筑面积平方米。 新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门的要求，厂区布局较为紧凑，为 方便人流货流的出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为米，最小 宽度为米，以满足消防道路的要求，方便人流，货流的出入。 新建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足 规划要求......”。

5、“.....整栋建筑由米长米宽的四层车 间仓库和米长米宽的七层支持辅助用房组成。层车间为千 级洁净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总高达米，重约，加 上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高米， 为万级洁净车间四层层高米，为洁净仓库。七层的支持辅助用房内设有员工 餐厅卫生生活设施休息区备品备件设备维修等生产支持辅助等面积。新 建厂房总建筑面积平方米。 给排水 本项目暂无生产用水，预计新增生活用水量，由厂区原有室外供水管 网供应。生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池 处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网提供......”。

6、“.....除机房卫生间配电间动力设备房外，其他场所均安 装自动喷淋系统各层均设室内消火栓保护各机房走廊和固定人员值班场所， 按规范要求配备手提式灭火器。 厂区内已建有消防泵房，本项目的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供 应稳高压，无需另设屋顶水箱，项目室内喷淋系统上送上回。 各层车间内采用风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤 器，室外机放置于车间屋面新风采用新风处理机组，与吊顶式空气处理机组共 用室外机，新风由新风机房外侧墙百叶引入。 生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统，室内机为四面出风式 空调，室外机放置于屋面，新风采用全热交换式换气机，新风由侧墙百叶引入。 车间内安装集中排风系统，排风机安装于车间屋顶。卫生间按次小时换 气次数设计机械排风，采用排风扇将空气排至室外。 电气 预计新建厂房内未来可能的工艺测试和研发设备用电量约......”。

7、“.....空调净化和动力，给排水系统，新建厂房 预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。 低压配电采用树干式与放射式相结合的形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配 电箱时局部穿钢管保护。 车间行政生活区生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出 入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟。 消防 厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道，建筑之间的距离均控制在 米以上。 设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活 供水系统分开的系统，消防系统采用稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现 有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。 室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。 在建筑的主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地 面照度值不低于......”。

8、“.....出口的诱导标志灯 安装在门的上方，诱导标志灯带蓄电池，应急时间不小于分钟。 空调净化系统的风管采用不燃材料镀锌钢板制作。冷热水的保温材料采用难 燃闭孔橡塑海绵材料凝结水管道的保温材料采用不燃离心玻璃棉保温管壳。 风管穿越防火分区隔墙处穿越空调机房隔墙或楼板处垂直风管与每层水 平风管支接处等均设防火阀，并与该系统的风机联锁，防火阀关闭则风机停运， 防火阀也可根据消防中心发出的信号动作。防火阀可在度时自动关闭。 厂房生产车间设置排烟系统，排烟量按照每平方米立方米小时设计靠 外墙的房间采用自然排烟，设置不小于房间面积的可开启外窗。 环保 本项目不涉及生产工艺，其影响环境的主要因素为生活污水固体废料和 废物工业噪声等各种污染。 生活污水 项目建成使用后，生活污废水排放量为立方米天，生活排水系统采用污 废水分流，设置伸顶透气阀......”。

9、“..... 噪声治理 本项目除优选低噪声设备外，通过合理布局，集中控制人机分离，建筑设计 等综合防治措施，确保作业场所噪声控制在，厂界噪声达到Ⅲ类标准。 固体废物处理与利用 本项目中固体废物有废弃包装材料废弃封装材料和生活垃圾等。 根据固体废物性质及其可利用资源的情况，进行分类处置与利用，防止流失， 造成二次污染。 生活垃圾及污泥渣委托环卫部门集中处置。 劳动安全和职业卫生 在厂房建设期间将充分考虑到用户的实际使用情况，根据国家和地方政策及 相关专业规范，设置相应的劳动保护和卫生设施。 劳动安全 本项目在组织生产经营活动中主要安全因素涉及电气系统生产工艺技术装 备作业运行与劳动防护等方面。 作业安全 定期做好设备维护保养，保证设备安全运行。 按作业工种配置劳防用品，安全生产。 企业员工严格按各自岗位及作业规程质量管理和环境管理要求作业......”。