1、“.....增加产量，提高市场占有率，实现产品产业化。 预期经济效益 本项目年达产，达产期年销售收入万元，年净利润万元，上 缴利税万元，利税率达到。 本企业实施该项目的优势 技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半 导体材料研究室，从年就开始水平单晶研究，已有多年研究开发 经验，拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究的高工组成的研发 队伍，这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。该项目技术路线设计合理，关 键技术已经突破，其余技术完全能够实现，项目产品目前已通过权威部门检测和 鉴定，鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外，用户中包括日 本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用 户，对该产品用户致反映良好。 营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区，拥有水平生产厂房，公 司研发基地在北京有研总院......”。

2、“..... 公司是国内唯的批量生产水平晶片晶片的企业。 公司成立了由具有多年水平研究开发经验的专业人员组成的销售队 伍，这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标，了解客户需求，比较利于开展工作。 同时，由于本项目产品性价比高于国外同类产品，因此在国际上具有强竞争力。 目前产品已经进入国际市场，被日本住友电工集团韩国公司等世界 知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格，本公司产品能够大量进入该集团，说明本产品极具竞争力。 管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理的管理队伍， 的公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高，具有高度的凝聚力勇于 开拓的创新性和丰富的管理经验。高素质的员工群体现代科学的管理方式可 靠的质量保证体系的完美结合，使产品质量得到充分保证。公司在日常生产和管 理中，注重提升员工的质量意识......”。

3、“.....公司的 质量控制管理体系严格按照施行，公司已于年通过该认证。 公司按照建立现代企业制度的要求，制定了整套完备的管理制度，包括人事管 理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象。这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障......”。

4、“.....该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入......”。

5、“.....使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要......”。

6、“.....在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子 浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺 杂剂的分凝是以固液界面为界线的，如果单晶生长过程中固液界面与生长 方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致，所切晶片上的载 流子浓度会形成浓度梯度，即得不到均匀分布，这会对在晶片上生长 外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部 出现热应力而导致晶体完整性差，使增大，从而降低成品率。国内外在水平 单晶研究开发中，多年来都是使用管状加热炉。因此，固液界面只能与生 长方向垂直，无法得到所需要的偏角。 管状加热炉除了无法得到所需偏角以外......”。

7、“.....由于砷化镓热导率相对较低，在采用管状加热炉的情况下固液 界面四周的热环境是固定的，无法变动的，加上热辐射和固液界面的结晶潜 热难以导出，使熔体边缘温度低于中心处温度，往往使固液界面凹向熔体。 这种界面非常容易出孪晶，或使晶体的增大，降低成品率。 在单晶生长理论中，理想的固液界面形状应为平坦的或略为凸向熔体，做到 这点，加热体的设计和制造非常关键。 加热体是单晶生长的核心，对单晶生长影响非常大，是决定单晶生长成功与 否的关键因素之。该产品的设计和制造是本公司多年科研的结晶。本公司在炉 体结构的设计保温层的设置和配置加热区段设置加热区域设置等方面均取 得了很大进步。目前制作的加热体，截面区固液交界面区有特殊加热结构。 高温区各加热段设计合理，中温区有后加热体设置，其余各区设置合适在产品 试制过程中表明，该加热体非常适合水平砷化镓单晶生长......”。

8、“.....可 以很好调节固液界面形状及固液界面与生长方向的夹角，使其与所切割的晶片的方向致，并与单晶生长方向之间的夹角致。同时，采用这特种加热炉，通 过高温区中温区和固液界面区温度分布的控制，很容易调平固液界面。当 然，这种加热体如何单独控制又协调配合形成所需的温度分布，也要经过反复 实验研究不断优化。经过几年的开发，本项目单位已在国内独家掌握了该项 技术，该项技术达到世界先进水平。 关键技术的先进性 本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定， 鉴定结论为该项目利用本单位独创的石英舟预处理技术生长系统设计和制造 技术，固液界面特种加热炉设计和制造技术，研究开发了本项目产品生长工艺技 术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率，提高晶片加工成品率， 实现了水平砷化镓单晶材料的产业化，达到了预期的目标。该项目的技术达到国 际先进水平......”。

9、“.....同类商品国际市场占有率接近。 该产品与日本住友电工相比，各项技术指标均达到或高于其产品。 产品技术性能水平与国内外同类产品的比较 单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种，主要有型掺单 晶和型掺单晶两种，主要用于包括红外和高亮度等光 电器件的衬底，本项目单位国瑞公司生产的这两种单晶各项技术指标与国际同 类产品致，完全达到了国际同类产品先进水平，本产品与日本住友电工 公司各项指标对比如下 北京有研总院国瑞公司日本住友电工 产品类型 技术指标 型掺 ， 晶片直径 产品类型 技术指标 型掺 ， 晶片直径， ， 项目承担单位在实施本项目中的优势 研发能力强是本单位的固有优势，企业前身是北京有色金属研究总院化合物 半导体材料研究室。成立于年，从成立之日起就开始水平单晶研究， 年底研制成功国内第根水平单晶......”。