1、“.....同时价格低廉且容易使用。因而其发展前景更加被人们看好，是最具有发展潜力的类热红外探测器。热敏材料在温度发生改变时其电阻值会明显变化，这就是热敏电阻效应，电阻温度系数决定了其电阻随温度发生改变的幅度。非制冷红外微测辐射热计就是运用这种热敏电阻效应的原理制作而成的。非制冷红外微测辐射热计工作时，会在加定大小固定的偏压于热敏电阻的两端，热敏电阻接收到的红外辐射会使得热敏电阻单元的温度发生改变，从而其的阻值也会相应的发生改变，继而读出电路可以读出热敏电阻产生的相应变化的电流。图微测辐射热计示意图对于图，微测辐射热计工作时可以用以下热平衡方程来描述万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响η其中探测元热容器件总热导η红外吸收率红外辐射功率假设探测元吸收了束功率为时间正弦函数的角频率为的红外辐射，则其温度的变化由上式可解得η令探测元电阻为，由红外辐射入射而导致的热敏电阻的改变为η其中探测元的温度电为红外探测器。最早的红外探测器出现在年......”。

2、“.....此后，自二次世界大战以来不断推陈出新，至今红外探测器研究已成为横跨微电子计算机物理材料等，其光谱波长在之间，是介于可见光与微波之间的种光谱。红外辐射包含着客观事物的许多信息，但是由于人眼无法直接看到，因此需要把这些不可见的红外辐射转换为人们可知的信息，而完成该转换的器件就称之温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响第章绪论引言自然界中任何物体的温度都高于绝对零度，并且无时无刻不辐射出红外线。红外线又称红外辐射红外光......”。

3、“.....万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响目录摘要第章绪论引言二氧化钒薄膜材料的研究现状万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响......”。

4、“.....并且无时无刻不辐射出红外线。红外线又称红外辐射红外光，是物质在其振动状态发生改变时辐射出的电磁波......”。

5、“.....是介于可见光与微波之间的种光谱。红外辐射包含着客观事物的许多信息，但是由于人眼无法直接看到，因此需要把这些不可见的红外辐射转换为人们可知的信息，而完成该转换的器件就称之为红外探测器。最早的红外探测器出现在年，是发现太阳光谱中红外线所使用的涂黑水银计。此后，自二次世界大战以来不断推陈出新，至今红外探测器研究已成为横跨微电子计算机物理材料等众多学科的综合性技术,。经过了多年的研究，红外探测技术已经完成从有限单元探测向阵列焦平面成像的技术飞跃。但由于半导体器件光电特性的工作原理所限，要想在红外探测波段获得优秀的探测效果，就必须制冷以满足低温的工作环境制冷温度通常需要达到以下。为了避免低温制冷工艺引起的诸多问题，随着表面微加工技术以及半导体技术的快速发展，对于非制冷红外焦平面阵列的研究也取得了显著的进步。这些研究成果使非制冷红外焦平面阵列技术与制冷型红外探测器相比具有了成本低功耗小寿命长便于携带和可靠性高等优势，使其能够以空前的广度和数量应用在军事领域乃至国民经济的各个领域之中......”。

6、“.....公司制造出了基于氧化钒的元非制冷热像仪。如上所述的红外探测技术发展史，我们可以将红外探测热成像系统的发展简约的划分为三代第代红外探测热成像系统的特征以小规模面阵的光机扫描和单个单元或多元线列简单电路读出体材料为特征。第二代红外探测热成像系统是以大规模集成读出电路长线列以及凝视型和薄膜材料为特征。第二代红外探测热成像系统较第代探测器的作用距离和分辨率都大大的提高了。第三代红外探测热成像系统则是以复杂的信号处理和更大规模的焦平面阵列以及可实现多光谱探测的智能型热成像系统更高性能的薄膜材料为主。我国对于红外焦平面探测器的研究工作开展较晚，在“九五”期间才开始立项展开研究，研究面也较窄，主要围绕焦平面技术和中波焦平面的万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响基础性研究和小规模样品研制展开研究。进入“十五”以来，我国加快了研究的步伐，以中科院上海技术物理所等为主的科研机构已对和等材料的焦平面阵列技术的相关理论和基础研究做了大量的研究工作，成果显著......”。

7、“.....极大的缩短了这方面研究中我国和国际先进水平的差距。但是从整体水平上来说，我国对红外焦平面探测器技术的研究仍旧处于第代和二代并存的发展阶段，而非制冷红外探测器的研发目前尚处于最初期的探索与研究阶段，与国际先进水平差距明显，距离追赶国际先进水平还有很大的段路要走。非制冷红外微测辐射热计的基本原理热堆探测器热释电和微测辐射热计是目前主要的非制冷红外热探测器类型。热堆探测器的灵敏度是这三种探测器中最低的，而微测辐射热计与其他两者相比又具有制作工艺与目前主流的硅半导体材料的工艺兼容并且无需斩波器的优点，是当今最具有发展潜力和研究价值的种红外探测器。尤其是其中使用先进技术制成微桥结构使其具有优秀的热绝缘性，同时价格低廉且容易使用。因而其发展前景更加被人们看好，是最具有发展潜力的类热红外探测器。热敏材料在温度发生改变时其电阻值会明显变化，这就是热敏电阻效应，电阻温度系数决定了其电阻随温度发生改变的幅度。非制冷红外微测辐射热计就是运用这种热敏电阻效应的原理制作而成的......”。

8、“.....会在加定大小固定的偏压于热敏电阻的两端，热敏电阻接收到的红外辐射会使得热敏电阻单元的温度发生改变，从而其的阻值也会相应的发生改变，继而读出电路可以读出热敏电阻产生的相应变化的电流。图微测辐射热计示意图对于图，微测辐射热计工作时可以用以下热平衡方程来描述万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响η其中探测元热容器件总热导η红外吸收率红外辐射功率假设探测元吸收了束功率为时间正弦函数的角频率为的红外辐射，则其温度的变化由上式可解得η令探测元电阻为，由红外辐射入射而导致的热敏电阻的改变为η其中探测元的温度电阻系数而可以表示为当偏置电流经过热敏电阻元时有η器件的时间响应常数可表示为则信号电压为η响应率为η由式可以看出其响应率和电阻温度系数成线性正比关系。可以选择尽可能增加热敏材料的电阻温度系数来提高微测辐射热计的响应率。目前对非制冷红外焦平面技术的热敏薄膜材料的研究是个重点，研究的材料也多种多样，从研究报导来看......”。

9、“.....从研究的所取得的成果来看，在所有这些热敏薄膜材料中，材料是最具挑战性的，较小电阻率偏低的电阻温度系数难度较大万方数据氧化温度和掺对薄膜温度电阻系数的影响制造工艺都是阻碍材料在这方面广泛应用的门槛。而另种材料多晶硅，由于用其制作多晶锗硅薄膜热敏电阻需要的温度太高，而过高的温度会对读出电路产生不可估量的破坏作用，所以多晶硅材料也没有办法在单片机系统中取得有效的实际性应用。除此之外，有应用前景的就是过渡金属和等元素的氧化物，因为这些过渡金属具有较高电阻温度系数。而在这些过渡金属的氧化物中，氧化钒薄膜是其中的佼佼者，其性能优势明显。基于氧化钒的微测辐射热计通常具有适当的电阻率很高的电阻温度系数较高的帧数与较低的噪声，且制备工艺与当前主流的硅材料半导体制备工艺兼容等。同时由于氧化钒热敏材料制备工艺所需温度不高，这就意味着对微结构下的读出电路是不会产生破坏作用的，所以氧化钒薄膜材料成为了目前使用最为广泛的非制冷红外微测辐射热计热敏材料之......”。