1、“.....和的测量压痕接口之间没有明确的分离点。通过分析薄膜的化学成分简谐接触硬度表面薄膜的。这表明，薄膜的结构在深度方向上有多层或梯度非均匀。第个区域的曲线特征为谐波与硬度的联系，该区域包括的层以及薄的层。在压头到达基板的谐波接触的剩余部分硬度可以用沿各表面等效压痕深度测量。在第个大约的压痕中，接触硬度很大程度上受纳米压痕前端与最外层的超薄薄膜充分接触的影响。因此，根据线性拟合，沿均匀性薄膜的渗透硬度得到的位移的范围为至和为薄膜难以划伤，样品在较高的退火温度下得到较低的划痕深度。简谐接触硬度也可以从加载的压痕试验和确定相同相和相的部分反应结果获得。于图部分。如图......”。

2、“.....谐波接触刚度图和基于方法得到的硬度如图。薄膜的退火硬度大于原沉积的膜，并随退火温度的增加而增加。这观察结果证实了纳米划痕实验得到的测量结果。由于硬度随退火温度的增加而增加，退火后的氧化铪的方法，测量的纳米压痕进行评价。在纳米压痕的过程中，随着压痕载荷的增加驱动压头向样品移动。所施加的压头位移，作为函数连续记录个完整循环的加载和卸载。沉积和氧化铪薄膜在和下的典型负载循环如度随退火温度的增加而下降，表明退火后薄膜硬度随退火温度的增加而增加。结果表明，氧化铪薄膜的耐磨性随退火温度的增加而增加。纳米压痕硬度退火引起的薄膜硬度变化是由金刚石锥体探针使用连续硬度测量过氧化铪和层渗透底板。在下，根据横截面图像......”。

3、“.....这是底部的二氧化铪层到界面附近的距离决定的，如图。对于的退火薄膜，深度为，大约是到氧化铪层的半。划痕深可以作为划痕深度。纳米划痕实验测量的划痕深度用来评价力学性能。划痕深度定义为划痕底部到未刮开表面的距离，如图。获得划痕深度为到。在沉积膜中，探头正常力为时产生的划痕深度。针尖通和塑性变形往往积聚在划痕的两侧，在凹划痕周围形成凸部，。此外，由于薄膜划痕硬度降低，划痕深度增加，凸部高度也增加。根据和等人，通过针尖划伤产生的突起高度锥体的针尖的横截面轮廓形状如图，由于非对称形锥体的的针尖划伤薄膜表面，会在凹划痕集中区域产生非对称突起，划痕右侧的突起高度远小于左侧。据此前报道，在划伤过程中......”。

4、“.....这可能是由于厚度沉积均匀性不致和横截面图像边缘测定所造成的。图表明了和退火薄膜的典型沉积和相应的横截面图片的纳米划痕。观察沿突起两侧的划痕。非对称的形层的沉积样品，主要是嵌入在结构中的非晶态纳米晶体。图中可以清楚地观察到退火样品结晶铪层。对于如此沉积的样品，氧化铪层的厚度约和界面层的厚度约。对于退火的样品，二氧化铪薄膜测试表面的泊松比为。加载过程中漂移率低于和恒应变速率约。实验结果与讨论的纳米划痕深度沉积和退火后的氧化铪膜的横截面图像如图，如图像所示为二氧化铪轴位移的灵敏度与从负荷位移曲线的噪声宽度有关系。薄膜表面通过半径约的金刚石的三角锥形尖端产生划痕。通过三角锥形的金刚石尖端确定划痕硬度......”。

5、“.....和谐振频率为千赫的针尖。划痕的平均深度超过的横截面划痕，如图。通过动态的的接触系统纳米压痕，安捷伦技术，美国形成纳米压痕和计算水平接触表面的氧化铪薄膜的硬度。在实验过程中，轴和谐振频率为千赫的针尖。划痕的平均深度超过的横截面划痕，如图。通过动态的的接触系统纳米压痕，安捷伦技术，美国形成纳米压痕和计算水平接触表面的氧化铪薄膜的硬度。在实验过程中，轴位移的灵敏度与从负荷位移曲线的噪声宽度有关系。薄膜表面通过半径约的金刚石的三角锥形尖端产生划痕。通过三角锥形的金刚石尖端确定划痕硬度，并与得到的纳米压痕进行比较。薄膜测试表面的泊松比为。加载过程中漂移率低于和恒应变速率约......”。

6、“.....如图像所示为二氧化铪层的沉积样品，主要是嵌入在结构中的非晶态纳米晶体。图中可以清楚地观察到退火样品结晶铪层。对于如此沉积的样品，氧化铪层的厚度约和界面层的厚度约。对于退火的样品，二氧化铪层的厚度为约，这可能是由于厚度沉积均匀性不致和横截面图像边缘测定所造成的。图表明了和退火薄膜的典型沉积和相应的横截面图片的纳米划痕。观察沿突起两侧的划痕。非对称的形锥体的针尖的横截面轮廓形状如图，由于非对称形锥体的的针尖划伤薄膜表面，会在凹划痕集中区域产生非对称突起，划痕右侧的突起高度远小于左侧。据此前报道，在划伤过程中，磨损碎屑沉积物和塑性变形往往积聚在划痕的两侧，在凹划痕周围形成凸部，。此外......”。

7、“.....划痕深度增加，凸部高度也增加。根据和等人，通过针尖划伤产生的突起高度可以作为划痕深度。纳米划痕实验测量的划痕深度用来评价力学性能。划痕深度定义为划痕底部到未刮开表面的距离，如图。获得划痕深度为到。在沉积膜中，探头正常力为时产生的划痕深度。针尖通过氧化铪和层渗透底板。在下，根据横截面图像，划痕深度为，这是底部的二氧化铪层到界面附近的距离决定的，如图。对于的退火薄膜，深度为，大约是到氧化铪层的半。划痕深度随退火温度的增加而下降，表明退火后薄膜硬度随退火温度的增加而增加。结果表明，氧化铪薄膜的耐磨性随退火温度的增加而增加。纳米压痕硬度退火引起的薄膜硬度变化是由金刚石锥体探针使用连续硬度测量的方法......”。

8、“.....在纳米压痕的过程中，随着压痕载荷的增加驱动压头向样品移动。所施加的压头位移，作为函数连续记录个完整循环的加载和卸载。沉积和氧化铪薄膜在和下的典型负载循环如图和基于方法得到的硬度如图。薄膜的退火硬度大于原沉积的膜，并随退火温度的增加而增加。这观察结果证实了纳米划痕实验得到的测量结果。由于硬度随退火温度的增加而增加，退火后的氧化铪薄膜难以划伤，样品在较高的退火温度下得到较低的划痕深度。简谐接触硬度也可以从加载的压痕试验和确定相同相和相的部分反应结果获得。于图部分。如图，根据各个相的反应结果推测压痕深度，谐波接触刚度沿各表面等效压痕深度测量。在第个大约的压痕中......”。

9、“.....因此，根据线性拟合，沿均匀性薄膜的渗透硬度得到的位移的范围为至和为。这表明，薄膜的结构在深度方向上有多层或梯度非均匀。第个区域的曲线特征为谐波与硬度的联系，该区域包括的层以及薄的层。在压头到达基板的谐波接触的剩余部分硬度可以用条直线来表示。然而，根据梯度结构膜后面的分析将会显示和基板可以看出，和的测量压痕接口之间没有明确的分离点。通过分析薄膜的化学成分简谐接触硬度表面薄膜的均匀性随深度变化。要检查退火引起的结构变化，通过射线光电子能谱深度对薄膜进行化学分析。图表明通过退火薄膜的和硅元素的浓度评估中离子溅射时间。应当指出的是，溅射过程会产生物理和化学反应，从而改变溅射前的组成......”。