1、“.....应使两方面的努力种是不断提高微细加工技术和二是制定实际应用适当的设备据中的技术的本质化。 该后者是当前的项紧迫任务，第件事我们要解决的是什么是适当的器件作为微加工技术具有的优点高精度低成本的批量生产，但局限性二维掩蔽，低强度，低功率输出和高敏感性的许多环境的干扰因素，例如灰尘，湿度等，未来的设备应主要是打包的子系统,是要尊重的种新技术的本质是很重要的使其潜能得以充分发挥......”。

2、“.....有在短期内已经有许多成功的经验微机电系统的充分利用的优势和历史避免了微机械加工技术的缺点。 。 器件的未来正如上面提到的，对于的未来发展技术，应使两方面的努力种是不断提高微细加工技术和二是制定实际应用适当的设备据中的技术的本质化。 该后者是当前的项紧迫任务，第件事我们要解决的是什么是适当的器件作为微加工技术具有的优点高精度低成本的批量生产，但局限性二维掩蔽，低强度......”。

3、“.....例如灰尘，湿度等，未来的设备应主要是打包的子系统由微型机械，并且在许多的情况下，微传感器。 结构之间的耦合设备与外界将主要是通过电，电源光，磁等非接触式信号供应，浓度〜信息，输入和输出信号。 大阵相对简单的机械结构是优选复杂的机械结构此外，未来的器件应着眼于新的应用具有广阔的市场，使该设备可批量生产，充分发掘平面工艺的优势在低成本的大规模生产......”。

4、“..... 因此，它不能被认为是未来的个主要策略微机电系统的发展。 由于事实上，在上述提到方法有被证明是成功开发的器件过去和将被改编为将来发育。 各种满足上述标准的器件将在将来开发的，并在下面描述的弧，对于惯性传感设备。 在硅加速度计发展迅速过去十年中，且被视为下硅后微机械传感器。 最吸引人型微加速度时，加速度计......”。

5、“.....个电容性传感器用于质量块的位置，所述信号处理电子设备为传感器和静电致动器施加个反馈强制地震质量。 各种力量平衡已经发展到现在，但至今其中最成功的是完全集成的微加速度这是发布了关于生叶芝前。 该装置的机械结构是通过制作装置的多晶硅表面微加工，以及电子通过的技术手段制作。 针对安全气囊释放控制，操作应用程序该设备的范围克与单电源供电......”。

6、“.....且采用可以。 虽然过程被认为是相当复杂和困难的，开发者声称，他们可以在成本销售根据美元每人。 此外，改进的版本操作范围低至克或已经公布。 基于材料类似的设备厚外延多晶硅也被开发。 力平衡可以被视为其中最成功的目前的。 个原因他们的成功是由地震感知加速度质谱是通过非接触式的惯性力和输出是个电信号，使整个系统可以是气密在个包，保证了密封的性能的微机械结构不会受到任何阻碍环境干扰......”。

7、“.....加速度计可以找到大量的应用在各种的系统。 个明显的例子是大规模应用在汽车安全气囊控制。 这种应用从产业带动显著的兴趣和投资另个惯性检测装置，陀螺仪，也有类似的操作模式的加速度，也可以找到广泛应用在运动控制，包括汽车应用，如牵引力控制系统和行驶稳系统，消费电子应用，如摄像机稳定和航模稳定计算机应用，例如惯性鼠标，机器人应用，当然，军事应用。 因此......”。

8、“.....轴承在个传统的陀螺仪是很难小型化和批量制造,通过微机械技术生产低成本器件，微机械陀螺仪是专门振动类型，包括双万向支架结构，悬臂梁结构，音叉结构和振动环结构。 其中的振环装置是最先进的，这是开发由后电路工艺结合比电铸金属的微观结构与电路用于控制和读出电子。 虽然没有这些微机械陀螺仪的有已经商业化的是，这是很可能的是种形式的陀螺仪将被大规模生产，在不久的将来......”。

9、“.....传感器和执行器。 ,前盖。 风扇，大和穆勒，集成微机械可动结构的传感器和执行器，跨。 电子设备。 。 风扇，大和穆勒，集成电路加工静电微电机。 诠释。 电子器件会议，旧金山月日至日年页。 彼得森，什么摆在面前，达意。 文摘，第八诠释。 机密。 传感器和九，斯德哥尔摩。 瑞典。 新英格兰大学，年，卷。 ，页。 和埃利希，激光沉积和刻蚀三维〜，科技。 文摘，第六届诠释。 机密......”。