1、“.....根据轴的滚珠丝杠直径为，选择联轴器型号为根据轴的滚珠丝杠直径为，选择联轴器型号业为。 西安文理学院本科毕业设计论文第页第六章检测元件的选择关于直线位置检测元件的选择，如采用激光器件则成本较高,而感应同步器磁栅又都是利用电磁感应原理。 为防止直线电机电磁场对检测元件的干扰和节约成本,选择光电转换原理工作的光栅尺作为位移和速度的检测装置，由于不需要转换,因此，可提高采样频率和检测精度，构成可靠的伺服控制体系。 如果需要进步提高位置检测的分辨率和精度，可以通过倍频处理来提高分辨率还可以采用软件定点补偿来提高精度,方法是在整个直线位置控制装置安装完毕后文理学院本科毕业设计论文第页展，达到了当前流行速度的近两倍。 长春光学精密机械与物理所王延风等台。 研制出种新型高速加速度气浮平台，其工作空间，加速度超过，分辨率低于高精密定位平台，其最大加速度可以达到。 等人研制出的新型平台，采用超音速直线电机，结构简单紧凑。 和利用空气轴承设计出的新型引线键合机......”。

2、“.....实验室可以达到线∕秒，是目前世界最高水平。 随着新型电机的不断出现，音圈电机超音速电机和平面电机在微电子装备方面的应用越来越受到人们的重视，天津大学冯晓梅等人研制出由音圈电机驱动的新型线电机混合驱动，空气轴承和线性导轨支撑平台，经过特殊设计，旋转驱动构建的质心在其旋转轴线上，实现了旋转机构的质心驱动，消除了质心惯性力的影响。 瑞士公司利用该结构研制的型号为的引线键合机，最大键国公司生产的引线键合机，其定位平台采用广义并联机构，平台由线性导轨支撑，方向之间用滚动轴承解藕，键合速度可达到线∕秒。 公司生产的引线键合机，键合速度达到线∕秒。 采用旋转电机和直用的是旋转电机加滚珠丝杠驱动的串联机构形形式，如日本公司生产的引线键合机，键合速度仅为线∕秒。 到上世纪九十年代，直线电机凭借其卓越性能代替了旋转电机开始广泛的应用到芯片封装设备上，如美线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究。 随着技术的进步和相关行业的发展......”。

3、“..... 最初采基于无摩擦驱动的概念，制造了静压空气轴承支撑的伺服电机。 等人设计的气浮精密定位平台，加速度达到，定位精度。 采用空气轴承支撑的新型运动平发展具有我国自主知识产权的引作台，消除了导轨的摩擦和磨损，使工作台在方向能满足的定位精度。 致力于用新型的气浮平台代替传统接触式轴承平台，在重量体积和成本基本不变的情况下，获得更高的运动速度和定位精度。 关键的是进行气浮垫片的设计。 最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。 相关研究情况机械部分相关研究情况人针对芯片制造设备设计出了种新型磁悬浮超精密工台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计。 其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型。 对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中浮导轨。 定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计......”。

4、“.....对促进制造技术的发展而加快我国产业化进程具有重要的意义。 西安文理学院本科毕业设计论文第页本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。 因此，发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究，是高精度的需求日益紧迫。 为进步提高质量和生产效率，对该类装备的运动精度和运动速度加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。 这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良，的要求，特别是引线键合技术提出了特别高的要求单位体积信息的提高高密度化单位时间处理速度的提高高速化。 因此引线键合技术也朝着高度集成化高性能化多引线和细间距化方向发展，高速较大的学术价值，又有广阔的市场前景。 选题的目的与意义近年来......”。

5、“.....芯片的集成度不断提高，对封装技术也提出更高的较大的学术价值，又有广阔的市场前景。 选题的目的与意义近年来，随着微电子技术计算机技术和通信技术的迅速发展电子产品正迅速朝着便携式小型化发向发展，芯片的集成度不断提高，对封装技术也提出更高的要求，特别是引线键合技术提出了特别高的要求单位体积信息的提高高密度化单位时间处理速度的提高高速化。 因此引线键合技术也朝着高度集成化高性能化多引线和细间距化方向发展，高速高精度的需求日益紧迫。 为进步提高质量和生产效率，对该类装备的运动精度和运动速度加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。 这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良，需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。 因此，发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究......”。

6、“.....对促进制造技术的发展而加快我国产业化进程具有重要的意义。 西安文理学院本科毕业设计论文第页本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气浮导轨。 定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计，确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计。 其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型。 对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。 最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。 相关研究情况机械部分相关研究情况人针对芯片制造设备设计出了种新型磁悬浮超精密工作台，消除了导轨的摩擦和磨损，使工作台在方向能满足的定位精度。 致力于用新型的气浮平台代替传统接触式轴承平台，在重量体积和成本基本不变的情况下......”。

7、“..... 基于无摩擦驱动的概念，制造了静压空气轴承支撑的伺服电机。 等人设计的气浮精密定位平台，加速度达到，定位精度。 采用空气轴承支撑的新型运动平发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究。 随着技术的进步和相关行业的发展，应用到秒引线键合机上的定位平台经历了系列的变化。 最初采用的是旋转电机加滚珠丝杠驱动的串联机构形形式，如日本公司生产的引线键合机，键合速度仅为线∕秒。 到上世纪九十年代，直线电机凭借其卓越性能代替了旋转电机开始广泛的应用到芯片封装设备上，如美国公司生产的引线键合机，其定位平台采用广义并联机构，平台由线性导轨支撑，方向之间用滚动轴承解藕，键合速度可达到线∕秒。 公司生产的引线键合机，键合速度达到线∕秒。 采用旋转电机和直线电机混合驱动，空气轴承和线性导轨支撑平台，经过特殊设计，旋转驱动构建的质心在其旋转轴线上，实现了旋转机构的质心驱动，消除了质心惯性力的影响......”。

8、“.....最大键合速度为线∕秒，实验室可以达到线∕秒，是目前世界最高水平。 随着新型电机的不断出现，音圈电机超音速电机和平面电机在微电子装备方面的应用越来越受到人们的重视，天津大学冯晓梅等人研制出由音圈电机驱动的新型高精密定位平台，其最大加速度可以达到。 等人研制出的新型平台，采用超音速直线电机，结构简单紧凑。 和利用空气轴承设计出的新型引线键合机，工作效率有了突破性的进西安文理学院本科毕业设计论文第页展，达到了当前流行速度的近两倍。 长春光学精密机械与物理所王延风等台。 研制出种新型高速加速度气浮平台，其工作空间，加速度超过，分辨率低于。 气浮部分相关研究情况由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也好，热稳定性好使用寿命是半永久性的，与液体静压导轨相比，它不污染环境。 由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。 空气轴承以清洁干燥的空气作为润滑介质......”。

9、“.....广泛应用于三坐标测量机，高速旋转机械工具如高速磨头高速离心分离器陀螺仪表原子反应堆致冷压缩机电子计算机记忆装置微电子制造及医疗设备中。 由于采用了空气轴承支撑，系统无摩擦或极低摩擦，消除了接触式轴承摩擦力的不利影响，使得产品性能得到了极大的提高。 但空气轴承无标准化产品供选取，其性能受节流形式等诸多因素影响，因此，设计性能优越的空气轴承并不容易，需要丰富经验和大量理论知识。 和比较了小孔和多孔材料节流静压空气轴承性能的特点，指出适当增加节流孔的个数，可以使两种轴承的性能比较接近。 和通过实验和仿真分析了小孔节流式静压空气轴承的气体流量特性。 等人提出了确定空气轴承线性和非线性刚度系数和阻尼系数的方法。 和指出空气轴承内气体压力分布的理论模型过于简单，所提出的神经网络方法能更好地预测轴承内气体这里取代入求解式附加摩擦力式中滚珠丝杠预加负荷，般取......”。