1、“.....原料价格元，废料价格元铜材成本元总成本元钽环件每件成品钽环件重，材料直收率，原料价格元，废料价格元钽环件成本元钽环件每件成品钽环件重，材料直收率，原料价格元，废料价格元钽环件成本元表材料成本总表项目规格钽靶材钽靶材钽环件钽环件成本元套设备折旧成本设备投资原值万元，预计净残值率为，预计使用寿命年，第年设备折旧万元厂房折旧成本期厂房投资原值万元，预计净残值率为，预计使用寿命年，第年设备折旧万元人工成本期需要人员人，按每人平均收入元月计算，年的成本万元水电汽钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请号磁控溅射环，专利申请号。正在申请的发明专利正在申请的发明专利有项钽靶材的织构控制钽和铜铝钛异种金属的扩散焊接溅射钽环件用钽条制备送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际的样品等待上机测试......”。

2、“.....专利申请号磁控溅射环件用滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件的加工工艺已基本成熟，件样品射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由于市场的原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺的研究。取得的技术突破钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀钽环件端头材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用，我们的图纸来源于公司，他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。溅致。现在正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得的技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶清洗工艺......”。

3、“.....经多次工艺试验及改进，对靶材进行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果工工艺研究取得的技术突破钽靶材和铜铜背靶的扩散焊接技术，焊接结合率大于，结合强度满足要求成品钽靶材的机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材的关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件的加工工艺。具体取得的成果分述如下高性能钽靶材成品加销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺，采用压力成型及精加工工艺......”。

4、“.....市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销售。详细生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性成果，即完成溅射钽环件坯料的制备工艺研究。取得的技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅等国内外用户的认可，填补国内空白。产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材表年至年月钽靶材销售表溅射钽环件定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌靶材表面质量检测标准。产品已得到符合标准，其中纯度晶粒度控制在之间，并且均匀致再结晶度平整度粗糙度结晶取向在厚度方向呈织构。市场情况通过该项目的研究，已确高性能钽靶材坯料以及钽环件坯料的加工工艺......”。

5、“.....该项目于年完成，并形成批量销售。取得的技术突破化学成份和力学性能均和钽环件，其中最重要的技术要求是材料内部组织符合要求并能保持加工的致性。在材料的控制方面，我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究，获得稳定可靠的高和钽环件，其中最重要的技术要求是材料内部组织符合要求并能保持加工的致性。在材料的控制方面，我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究，获得稳定可靠的高性能钽靶材坯料以及钽环件坯料的加工工艺。具体取得的成果分述如下高性能钽靶材研制高性能钽靶材研制被列入年度自治区科技攻关项目，该项目于年完成，并形成批量销售。取得的技术突破化学成份和力学性能均符合标准，其中纯度晶粒度控制在之间......”。

6、“.....市场情况通过该项目的研究，已确定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司标准，技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用户的认可，填补国内空白。产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量稳定可靠，已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材表年至年月钽靶材销售表溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性成果，即完成溅射钽环件坯料的制备工艺研究。取得的技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差的要求。市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销售。详细销售情况见表......”。

7、“.....获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件的加工工艺。具体取得的成果分述如下高性能钽靶材成品加工工艺研究取得的技术突破钽靶材和铜铜背靶的扩散焊接技术，焊接结合率大于，结合强度满足要求成品钽靶材的机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材的清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试......”。

8、“.....靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用，我们的图纸来源于公司，他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由于市场的原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺的研究。取得的技术突破钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件的加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际的样品等待上机测试......”。

9、“.....专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请号磁控溅射环，专利申请号。正在申请的发明专利正在申请的发明专利有项钽靶材的织构控制钽和铜铝钛异种金属的扩散焊接溅射钽环件用钽条制备工艺。三建设方案项目规模及主要内容建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。主要内容是厂房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备如表表购买关键设备明细序号设备名称数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件的成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。精密卷圆机台最大厚度，宽度......”。