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5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书 5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书

格式:word 上传:2022-06-24 22:17:54

《5亿片高效单晶硅片项目可行性研究建议报告书》修改意见稿

1、“.....由消防蓄水池电消 火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防 蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵,为自灌 式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上,其余设备均设于地下水泵房内。 平时室内外消火栓给水管网的压力由消防水箱保证,消火栓泵可以 就地启停,也可在消防控制中心手动启停,同时室内消火栓泵可由室内 消火栓箱内按钮远距离启动,消防时主泵启动前的室内消防用水由消防 水箱保证。 火栓泵组两路出水至室外环状消防管路,环网上均匀设置室外消火 栓。设置室内消火栓的各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环 状消防管路。 灭火器配置 根据建筑灭火器配置设计规范的规定,本工程灭火器配置场所危险等级为中危险级,可能的火灾种类为类类和带电火灾,采用 磷铵干 程用地亩......”

2、“.....位于规划用地的中部三期工程用地亩,位于规划用地的 西侧,总建筑面积平方米。 项目用地内设置个出入口,其中主入口位于期用地的北面,为 主要的人流出入口,另外四个平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置 本项目采用次规划,分期实施的原则建设,总规划用地亩, 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩,总建筑面积 平方米......”

3、“.....机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表三期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 平面厚度仪 合计 表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 ......”

4、“.....进口费用万元国产设备仪器 台套,费用万元......”

5、“.....选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元。其中进口设工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设 角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片,切 片结束后,从多线切片机卸下 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分, 并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等......”

6、“..... 并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片,切 片结束后,从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下,选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元。其中进口设备仪器台套,进口费用万元国产设备仪器 台套,费用万元......”

7、“.....口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 ......”

8、“.....接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表三期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂......”

9、“.....分期实施的原则建设,总规划用地亩, 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩,总建筑面积 平方米,位于规划用地的东侧二期工程用地亩,总建筑面积 平方米,位于规划用地的中部三期工程用地亩,位于规划用地的 西侧,总建筑面积平方米。 项目用地内设置个出入口,其中主入口位于期用地的北面,为 主要的人流出入口,另外四个出入口分别位于三块用地的交界路上,为 主要的货物出入口......”

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