1、“.....同时，本项目 的实施，将带动相关产业的发展，从而推动我国经济快速发展。总成本费用估算表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 原材料及辅助材料 外购燃料和动力 工资及福利 摊销费用 修理费 折旧费 财务费用 管理费用 销售费用 总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 序号 年份 项目 投产期生产期 合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 销售收入 销售税金及附加 总成本费用 利润总额 所得税 税后利润 盈余公积 可供分配利润现金流量表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入......”。

2、“.....如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 分别表示液固气相。 反应使进入，反应使部分与反应管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性......”。

3、“..... 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过......”。

4、“.....因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。自公司成立以来......”。

5、“.....在国内外用户中树立了良好的形象。这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障。 公司按照建立现代企业制度的要求，制定了整套完备的管理制度，包括人事管 理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化 公司按照建立现代企业制度的要求，制定了整套完备的管理制度，包括人事管 理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象。这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障......”。

6、“.....该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶......”。

7、“.....晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布......”。

8、“.....本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 分别表示液固气相。 反应使进入，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化......”。

9、“..... 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子 浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度......”。