1、“.....日本德国等国的资本控制 的八大硅片公司的销量占硅片总销量的，当前用主流硅片是英寸，并 向英寸过渡。市场调研预测，到年，英寸的硅片的比例将由目前的 增加到。 在和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消费，对其生产能力对生 产技术提出了更高的要求。其中生产高纯半导体材料的高温电热真空炉硅 单晶生长炉正在向大型化自动化的方向发展。硅单晶生长炉隔热保温筒坩 埚发热体等热场系统元件采用高纯石墨超高纯石墨材料制造，产品要求材 料的金属杂质含量要求不超过。同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消 耗量特别大。根据权威部门统计，台小型晶体生长炉如英寸每年消耗 的石墨坩埚加热器保温隔热材料的价值，达到万元以上台大型晶体 生长炉的热场系统备件损耗，可达万元以上。由于生产大型高纯石墨超高 纯石墨材料工艺控制难，需要大型的等静压设备等，其投资极大。因此......”。

2、“.....经常不能满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求 另外，石墨脆性大，机械强度不高，使用可靠性不强，使用寿命短。本项目提 出的炭炭复合材料单晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案，经过实践验 证，对解决以上问题起到了很好的效果。实施本案对发展大型硅单晶生长设备， 制造大尺寸的晶体，提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 二项目概况 拟建地点 本项目拟建于工业集中区。 位于村杨家洞，距公里交通区位优势非常明显。 建设规模与目标 本项目的产品以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主要产品， 首先重点针对国内当前面大量广的热场系统进行开发。生产能力按年生产 ，公斤炭炭复合材料和吨碳石墨材料的规模计算。大规模化的生产 炭炭复合材料，使本项目在同行业中具备了强大的优势......”。

3、“.....近年来，每年递增台左右。 目前的设备主要拉制从〞至〞，少量为〞的晶棒。由于单炉投料量仅为几 十公斤，因此，多采用高纯石墨制造坩埚，而这些高纯石墨多为进口冷等静压 石墨。英寸的热系统的隔热保温套，则多为进口件。相当部分较大型的进 口设备，其热系统完全依靠进口。 复合材料热场系统研究组，为满足半导体工业的要求，与西安理工大 学单硅晶基地有研硅股等单位合作，对复合材料热场系统进行试验和使 用。在西安用复合材料制作的坩埚及加热器，装在加有横向 磁场的上，使用情况很好。 国外的发展现状 年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成单晶 生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，在年美国等 用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发热体隔热 屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料，制造的硅单晶生长炉的 热场零部件，通过系列的高温处理......”。

4、“..... 年，等采用复合材料在硅单晶生长炉的底部设置个容积等于 坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏硅时，可以防止其他热场零件 受到损伤。 东洋炭素，等国外厂商在其产品介绍中， 也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到的个 别产品已经投入使用，大多数则仍处于研究阶段。 二产品目标市场分析 目标市场确定 超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。集 成电路的出现及发展，使人类步入了微电子时代。随着微电子元件尺寸小型化 管芯面积大型化与集成度的日益提高，硅单晶生长技术装备面临新的挑战。 为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业质量材料的生产制 造工艺产品的机械加工产品的转运包装等过程要进行严格控制，在材料 及产品的成型过程中，合理安排提纯工艺处理，保证产品的高质量，提高产品 的纯度......”。

5、“.....主要是以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主 要产品，重点针对国内当前面大量广的热场系统。等到该产品市场较为巩 固以后，再开发其他系统的热场零件。 热诚与科研院所企业合作，研究硅单晶生长炉对热场零部件的使用要求， 研究复合材料制造的热场零件的特性，掌握复合材料在单晶生长炉上的特殊性和规律性，满足硅单晶生长炉具的其他性能要求。 自主开发，突破关键技术，实现复合材料制造硅单晶生长炉热场零部 件的国产化。及早研制出完全能满足级单晶生长炉拉制晶棒的 坩埚坩埚直径在左右 研制出拉制硅晶棒的单晶棒的单晶生长炉用发热体发热体的直径 在左右 通过物理机械性能检测，材料的抗拉强度达到普通高强石墨的倍以上金 属杂质含量控制在以内 实现复合材料单晶硅生长炉热场的工业化生产密切与用户合作，调整制 造热场材料的设计和拉晶的工艺参数，将产品做到令用户十分满意......”。

6、“.....生产用原料及辅助材料以及生产的深加工系列产 品，可通过公路铁路等方式运输，交通运输条件十分便利。 第五章技术方案设备方案 技术方案 生产方法包括原料路线 材料的制备主要采用化学气相沉积和化学气相渗和，及液相渗浸 渍增密的方法。 工艺流程 图炭炭复合材料的制造工艺流程 炭纤维 增强坯体维，维，维，维纤维坯体 热固树脂热塑性沥青碳氢气体 固相热解炭液相热解炭带压力不带压力气相热解炭 浸渍浸渍切削加工 炭化 热处理热处理热处理 炭炭复合材料 推荐方案的主要工艺生产装置流程图物料平衡图，物料消耗定额表 推荐方案的主要工艺流程如图......”。

7、“.....材料的生产设备有坯体制备 设备，材料浸渍固化设备，炭化炉，石墨化炉，化学气相沉积炉等考虑设备 要适应涵盖主要产品的制造要求，这些设备的恒温区尺寸直径达到，高 度要求达到。 加工设备则有大型车床，中型车床，锯床，刨床等。 第六章主要原材料燃料供应 主要原材料供应 主要原材料品种质量与年需要量 该项目的原材料主要是炭纤维及炭纤维织物制品炭布炭纤维毡体。碳纤 维坯体的需求大约吨石墨吨碳源气体吨，惰性气体吨。 主要辅助材料品种质量与年需要量 辅助材料有树脂炭源气体氮气等原材料辅助材料来源与运输方式炭 纤维及其制品是委托其它单位加工。国内制造这种坯体或织物的厂家基本能满 足供应。同时，公司将努力与厂家建立良好关系，寻求多处材料供应商，保证 原材料的供应......”。

8、“.....目前的容量为年耗电量为万度。 液化石油气或天然气年耗量约吨。 第七章总体布置运输与公用辅助工程 总体布置总平面布置的原则和功能划分 满足城市总体规划的要求，严格执行国家有关的政策法规和法律，提高 利用率。 满足国家现行的防火防噪卫生安全等规范规定的要求 功能分区合理，物流短捷交通顺畅 近期建设与远期发展相结合，协调好近远期工程的衔接，以及功能转换， 立足现在，适当超前，合理节约用地，高标准规划高标准建设，次规划， 分期建设，做到宏观可控，微观可调，以适应今后的市场规模的不断调整和更 新的需求。 二场内外运输 场外运输量及运输方式 由于本项目生产的是高科技产品，不同于大众化产品，所以本项目的厂外 运输量比较小，运输任务比较轻。 场内运输量及运输方式 车间之间的物料，由小型翻斗车及人力推车运输，生产的中间产品及成品 采用内燃叉车运输......”。

9、“.....其中干道长米，路面宽米。 运输设施及设备 厂区外的运输如原材料的进厂和产成品的出厂，均委托长沙经济技术开发 区内的物流公司代理完成，以期合理利用资源，降低投资成本和生产成本，提 高资金的利用效率。 厂区内物料的运输，由本企业自行完成，主要运输设备为内燃叉车小型 翻斗车，极小量的物料运输可以采用人力手推车完成。 第八章节能节水措施 概述 本设计遵循中国国家节能方针，在保证安全生产的前提下，尽可能为企业 建设生产创造合理的节能条件。 二节能措施 车间库房内无采暖情况下采取节能设计，增加采光面积或采用屋面采光板 可节约照明能源。 卫生器具采用节水型器具。 尽量采用循环水，使生产水得到重复利用。 选用低损耗高效变压器，合理选择变压器电容，使变压器在经济方式下运行。 选用节能型电容光源和灯具，合理进行无功补偿，减少无功损耗......”。