1、“..... 设定期做好设备维护保养，保证设备安全运行。 按作业工种配置劳防用品，安全生产。 企业员工严格按各自岗位及作业规程质量管理和环境管理要求作业。 定期开展安全教育，提高员工安全意识，并在生产过程中及时报告设备运行 过程中异常现象及其他隐患，及时采取纠正措施，防止意外事故的发生。 设备安全 采取空压机集中供气方式，人机分离，设置空压机站房。空压机压力容器 及送气系统符合设备安全标准和设计规范。放气阀出口设置气流消声器。 电气安全 防雷和接地 电气系统采用接零保护，变压器中性点电气设备外壳等均接地可靠。电阻 欧姆，高压母线上设置避雷器。 建筑物按其相应类别防雷标准，设置避雷装置，接地电阻欧姆。 照明线路采用型绝缘导线钢管保护暗敷，外保护钢管接地电阻欧 姆。 动力线路布局及走线合理 在动力线路中采用桥架铺设部分，走线合理，符合电气设计规范，安生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出 入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟......”。

2、“.....建筑之间的距离均控制在 米以上。，给排水系统，新建厂房 预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。 低压配电采用树干式与放射式相结合的形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配 电箱时局部穿钢管保护。 车间行政生活区风机安装于车间屋顶。卫生间按次小时换 气次数设计机械排风，采用排风扇将空气排至室外。 电气 预计新建厂房内未来可能的工艺测试和研发设备用电量约，其他 包括照明插座，空调净化和动力由新风机房外侧墙百叶引入。 生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统，室内机为四面出风式 空调，室外机放置于屋面，新风采用全热交换式换气机，新风由侧墙百叶引入。 车间内安装集中排风系统，排回，万级洁净室气流组织采用上送上回。 各层车间内采用风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤 器，室外机放置于车间屋面新风采用新风处理机组，与吊顶式空气处理机组共 用室外机，新风外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供 应稳高压......”。

3、“.....项目室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋 泵供应稳高压，无需另设屋顶水箱。 空调净化和通风 千级洁净室气流组织采用上送下侧除机房卫生间配电间动力设备房外，其他场所均安 装自动喷淋系统各层均设室内消火栓保护各机房走廊和固定人员值班场所， 按规范要求配备手提式灭火器。 厂区内已建有消防泵房，本项目的室内活用水量，由厂区原有室外供水管 网供应。生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池 处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网提供。 新建厂房内四层层高米，为洁净仓库。七层的支持辅助用房内设有员工 餐厅卫生生活设施休息区备品备件设备维修等生产支持辅助等面积。新 建厂房总建筑面积平方米。 给排水 本项目暂无生产用水，预计新增生米宽的七层支持辅助用房组成。层车间为千 级洁净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总高达米，重约，加 上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高米......”。

4、“.....整栋建筑由米长米宽的四层车 间仓库和米长宽度为米，以满足消防道路的要求，方便人流，货流的出入。 新建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足 规划要求。 总图主要经济和技术指标 序号名称单位原有和在建本期完整项距米。新建厂 房占地面积约平方米，总建筑面积平方米。 新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门的要求，厂区布局较为紧凑，为 方便人流货流的出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为米，最小 方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有 主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另 设项目在建的工业中试研发楼。 本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间连接内环线和外环线的主干道路罗南大道，交通网线发达，距浦东国际 机场仅需分钟......”。

5、“..... 工程建设方案 总图规划 公司用地总面积平点 项目建设地点位于上海市浦东张江高科技园，公司现有场地内。 基地北临金秋路西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地。 公司毗邻地铁二号线，北入连接内环线和浦东国际机场的重要通道龙东大 道，西临和制造水平扩大研发和 生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本项目新建厂房建设。本项 目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产 工艺设备。 项目建设地点和制造水平扩大研发和 生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本项目新建厂房建设。本项 目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产 工艺设备。 项目建设地点 项目建设地点位于上海市浦东张江高科技园，公司现有场地内。 基地北临金秋路西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地。 公司毗邻地铁二号线，北入连接内环线和浦东国际机场的重要通道龙东大 道，西临连接内环线和外环线的主干道路罗南大道，交通网线发达......”。

6、“.....至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大 厦等都十分便捷。 工程建设方案 总图规划 公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有 主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另 设项目在建的工业中试研发楼。 本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。新建厂 房占地面积约平方米，总建筑面积平方米。 新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门的要求，厂区布局较为紧凑，为 方便人流货流的出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为米，最小 宽度为米，以满足消防道路的要求，方便人流，货流的出入。 新建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足 规划要求。 总图主要经济和技术指标 序号名称单位原有和在建本期完整项目 基地总面积 建筑总占地面积 总建筑面积 建筑密度 容积率 绿化率 集中绿化率 建筑 新建厂房为混凝土结构......”。

7、“.....层车间为千 级洁净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总高达米，重约，加 上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高米， 为万级洁净车间四层层高米，为洁净仓库。七层的支持辅助用房内设有员工 餐厅卫生生活设施休息区备品备件设备维修等生产支持辅助等面积。新 建厂房总建筑面积平方米。 给排水 本项目暂无生产用水，预计新增生活用水量，由厂区原有室外供水管 网供应。生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池 处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网提供。 新建厂房内，除机房卫生间配电间动力设备房外，其他场所均安 装自动喷淋系统各层均设室内消火栓保护各机房走廊和固定人员值班场所， 按规范要求配备手提式灭火器。 厂区内已建有消防泵房，本项目的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供 应稳高压，无需另设屋顶水箱，项目室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋 泵供应稳高压，无需另设屋顶水箱......”。

8、“.....万级洁净室气流组织采用上送上回。 各层车间内采用风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤 器，室外机放置于车间屋面新风采用新风处理机组，与吊顶式空气处理机组共 用室外机，新风由新风机房外侧墙百叶引入。 生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统，室内机为四面出风式 空调，室外机放置于屋面，新风采用全热交换式换气机，新风由侧墙百叶引入。 车间内安装集中排风系统，排风机安装于车间屋顶。卫生间按次小时换 气次数设计机械排风，采用排风扇将空气排至室外。 电气 预计新建厂房内未来可能的工艺测试和研发设备用电量约，其他 包括照明插座，空调净化和动力，给排水系统，新建厂房 预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。 低压配电采用树干式与放射式相结合的形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配 电箱时局部穿钢管保护......”。

9、“.....应急放电时间不小于分钟。 消防 厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道，建筑之间的距离均控制在 米以上。 设定期做好设备维护保养，保证设备安全运行。 按作业工种配置劳防用品，安全生产。 企业员工严格按各自岗位及作业规程质量管理和环境管理要求作业。 定期开展安全教育，提高员工安全意识，并在生产过程中及时报告设备运行 过程中异常现象及其他隐患，及时采取纠正措施，防止意外事故的发生。 设备安全 采取空压机集中供气方式，人机分离，设置空压机站房。空压机压力容器 及送气系统符合设备安全标准和设计规范。放气阀出口设置气流消声器。 电气安全 防雷和接地 电气系统采用接零保护，变压器中性点电气设备外壳等均接地可靠。电阻 欧姆，高压母线上设置避雷器。 建筑物按其相应类别防雷标准，设置避雷装置，接地电阻欧姆。 照明线路采用型绝缘导线钢管保护暗敷，外保护钢管接地电阻欧 姆。 动力线路布局及走线合理 在动力线路中采用桥架铺设部分，走线合理，符合电气设计规范......”。