1、“.....也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。 工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。 国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。 国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。 县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成精馏精馏 精馏精馏在千级超净环境下 在百级超净环境 下 工业级精馏 在通风厨里包西南信息中心进步确认，结论为国内来 见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道......”。

2、“..... 工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。 电子级三氯氧磷经科技部 第三章产品方案及生产规模 产品方案 产品吨年高纯三氯氧磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。 目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势 明显。 吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供 应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。 竞争能力预测 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术......”。

3、“.....填补国内生产电子台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 项目所需主要原材料为工业黄磷。目前有黄磷生产企业家，黄磷生 产能力为万产可以替 代进口，填长春中华长新化学，韩国的等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生友合成德 川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的 等公司。在技术方面，美国德国 全球市场份额的，公司占 全球市场份额的日本的占全球市场份额的， 占全球市场份额的。另外还有日本的关东株式会社住重要的影响......”。

4、“.....公司占于打破国内外 产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的 关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度 对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信 息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有 较大的提升作用。 通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利新技术产业化示范工程是十分必要的。 项目建设的经济意义 通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产 品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不 足，可转化为经济 优势，促进磷化工科技水平的提高。带动磷化工新产品的开发，形成产业 链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推 动地方经济发展，增加就业机会。因此，把该项目作为高......”。

5、“.....打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生 产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动 我国信息产业的发展。通适本项目的实施，将当地磷资源优势风 险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。 本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微 电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，风 险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。 本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微 电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，减少我 国对国外产品的依赖，打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生 产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动 我国信息产业的发展。通适本项目的实施......”。

6、“.....促进磷化工科技水平的提高。带动磷化工新产品的开发，形成产业 链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推 动地方经济发展，增加就业机会。因此，把该项目作为高新技术产业化示范工程是十分必要的。 项目建设的经济意义 通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产 品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不 足，可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信 息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有 较大的提升作用。 通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打破国内外 产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的 关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度 对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响......”。

7、“.....公司占全球市场份额的，公司占 全球市场份额的日本的占全球市场份额的， 占全球市场份额的。另外还有日本的关东株式会社住友合成德 川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的 等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填长春中华长新化学，韩国的等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 项目所需主要原材料为工业黄磷。目前有黄磷生产企业家，黄磷生 产能力为万吨......”。

8、“.....黄磷供 应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。 竞争能力预测 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。 目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势 明显。 第三章产品方案及生产规模 产品方案 产品吨年高纯三氯氧磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。 电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认......”。

9、“.....也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。 工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。 国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。 国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。 县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成精馏精馏 精馏精馏在千级超净环境下 在百级超净环境 下 工业级精馏 在通风厨里包装，包 装瓶用焰或乙炔 封口 精馏 工业级精馏净化包装升华回收 对行业技术进步的重要意义和作用 掌握核心技术......”。