1、“..... 第五章技术方案设备方案 技术方案 生产方法包括原料路线 材料的制备主要采用化学气相沉积和化学气相渗和，及液相渗浸 渍增密的方法。 工艺流程 图炭炭复合材料的制造工艺流程 炭纤维 增强坯体维，维，维，维纤维坯体 热固树脂热塑性沥青碳氢气体 固相热解炭液相热解炭带压力不带压力气相热解炭 浸渍浸渍切削加工 炭化 热处理热处理热处理 炭炭复合材料 推荐方案的主要工艺生产装置流程图物料平衡图，物料消耗定额表 推荐方案的主要工艺流程如图。 每公斤复合材料消耗的各类材料及电能如下 炭纤维碳源气体惰电子元件尺寸小型化 管芯面积大型化与集成度的日益提高，硅单晶生长技术装备面临新的挑战。 为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业化规 模小关键基础材料依赖进口的局面投入使用，大多数则仍处于研究阶段......”。

2、“.....集 成电路的出现及发展，使人类步入了微电子时代。随着微其他热场零件 受到损伤。 东洋炭素，等国外厂商在其产品介绍中, 也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到的个 别产品已经过系列的高温处理，金属杂质含量控制到很低的程度。 年，等采用复合材料在硅单晶生长炉的底部设置个容积等于 坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏硅时，可以防止在年美国等 用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发热体隔热 屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料，制造的硅单晶生长炉的 热场零部件，通热器,装在加有横向 磁场的上，使用情况很好。 国外的发展现状 年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成单晶 生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，复合材料热场系统研究组，为满足半导体工业的要求，与西安理工大 学单硅晶基地有研硅股等单位合作，对复合材料热场系统进行试验和使 用。在西安用复合材料制作的坩埚及加料量仅为几 十公斤，因此......”。

3、“.....而这些高纯石墨多为进口冷等静压 石墨。英寸的热系统的隔热保温套，则多为进口件。相当部分较大型的进 口设备，其热系统完全依靠进口。 的优势。 第二章市场预测 产品市场供应预测国内供需现状 国内现有生产单晶的设备余台，近年来，每年递增台左右。 目前的设备主要拉制从〞至〞，少量为〞的晶棒。由于单炉投先重点针对国内当前面大量广的热场系统进行开发。生产能力按年生产 ，公斤炭炭复合材料和吨碳石墨材料的规模计算。大规模化的生产 炭炭复合材料，使本项目在同行业中具备了强大项目拟建于工业集中区。 位于村杨家洞，距公里交通区位优势非常明显。 建设规模与目标 本项目的产品以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主要产品， 首热场解决方案，经过实践验 证，对解决以上问题起到了很好的效果。实施本案对发展大型硅单晶生长设备， 制造大尺寸的晶体，提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 二项目概况 拟建地点 本，高纯 石墨尺寸受到限制......”。

4、“.....石墨脆性大，机械强度不高，使用可靠性不强，使用寿命短。本项目提 出的炭炭复合材料单晶生长热场系统零件的材料及加热器保温隔热材料的价值，达到万元以上台大型晶体 生长炉的热场系统备件损耗，可达万元以上。由于生产大型高纯石墨超高 纯石墨材料工艺控制难，需要大型的等静压设备等，其投资极大。因此超高纯石墨材料制造，产品要求材 料的金属杂质含量要求不超过。同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消 耗量特别大。根据权威部门统计，台小型晶体生长炉如英寸每年消耗 的石墨坩埚对其生产能力对生 产技术提出了更高的要求。其中生产高纯半导体材料的高温电热真空炉硅 单晶生长炉正在向大型化自动化的方向发展。硅单晶生长炉隔热保温筒坩 埚发热体等热场系统元件采用高纯石墨的，当前用主流硅片是英寸，并 向英寸过渡。市场调研预测，到年，英寸的硅片的比例将由目前的 增加到。 在和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消费，对的，当前用主流硅片是英寸，并 向英寸过渡。市场调研预测......”。

5、“..... 在和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消费，对其生产能力对生 产技术提出了更高的要求。其中生产高纯半导体材料的高温电热真空炉硅 单晶生长炉正在向大型化自动化的方向发展。硅单晶生长炉隔热保温筒坩 埚发热体等热场系统元件采用高纯石墨超高纯石墨材料制造，产品要求材 料的金属杂质含量要求不超过。同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消 耗量特别大。根据权威部门统计，台小型晶体生长炉如英寸每年消耗 的石墨坩埚加热器保温隔热材料的价值，达到万元以上台大型晶体 生长炉的热场系统备件损耗，可达万元以上。由于生产大型高纯石墨超高 纯石墨材料工艺控制难，需要大型的等静压设备等，其投资极大。因此，高纯 石墨尺寸受到限制，经常不能满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求 另外，石墨脆性大，机械强度不高，使用可靠性不强，使用寿命短。本项目提 出的炭炭复合材料单晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案，经过实践验 证，对解决以上问题起到了很好的效果......”。

6、“..... 制造大尺寸的晶体，提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。 二项目概况 拟建地点 本项目拟建于工业集中区。 位于村杨家洞，距公里交通区位优势非常明显。 建设规模与目标 本项目的产品以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主要产品， 首先重点针对国内当前面大量广的热场系统进行开发。生产能力按年生产 ，公斤炭炭复合材料和吨碳石墨材料的规模计算。大规模化的生产 炭炭复合材料，使本项目在同行业中具备了强大的优势。 第二章市场预测 产品市场供应预测国内供需现状 国内现有生产单晶的设备余台，近年来，每年递增台左右。 目前的设备主要拉制从〞至〞，少量为〞的晶棒。由于单炉投料量仅为几 十公斤，因此，多采用高纯石墨制造坩埚，而这些高纯石墨多为进口冷等静压 石墨。英寸的热系统的隔热保温套，则多为进口件。相当部分较大型的进 口设备，其热系统完全依靠进口。 复合材料热场系统研究组，为满足半导体工业的要求......”。

7、“.....对复合材料热场系统进行试验和使 用。在西安用复合材料制作的坩埚及加热器,装在加有横向 磁场的上，使用情况很好。 国外的发展现状 年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成单晶 生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，在年美国等 用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发热体隔热 屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料，制造的硅单晶生长炉的 热场零部件，通过系列的高温处理，金属杂质含量控制到很低的程度。 年，等采用复合材料在硅单晶生长炉的底部设置个容积等于 坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏硅时，可以防止其他热场零件 受到损伤。 东洋炭素，等国外厂商在其产品介绍中, 也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到的个 别产品已经投入使用，大多数则仍处于研究阶段。 二产品目标市场分析 目标市场确定 超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。集 成电路的出现及发展......”。

8、“.....硅单晶生长技术装备面临新的挑战。 为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业化规 模小关键基础材料依赖进口的局面，国家科技部设立了微电子配套材料专项， 选择英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务，并要求英寸硅单 晶抛光片形成小批量生产能力，达到集成电路技术要求。实施该 项目第个要解决的是英寸硅单晶生长技术与装备的问题，大尺寸的热场系 统的关键元件的设计制造技术，也迫切需要解决。 项目的市场优势 由于国外公司在控制了该类产品的市场，产品价格较高。所以，与国外对 手相比较，本项目的产品有较大的价格优势。 总体营销思路根据产品的目标市场定位产品定位及竞争力的研究结论，在市场营销战 略上，应注意两个方面 是建立完善的销售及售后服务网络......”。

9、“.....材料的抗拉强度达到普通高强石墨的倍以上金 属杂质含量控制在以内 实现复合材料单晶硅生长炉热场的工业化生产密切与用户合作,调整制 造热场材料的设计和拉晶的工艺参数,将产品做到令用户十分满意。 第四章场址选择 地点与地理位置 交通区位优势非常明显。生产用原料及辅助材料以及生产的深加工系列产 品，可通过公路铁路等方式运输，交通运输条件十分便利。 第五章技术方案设备方案 技术方案 生产方法包括原料路线 材料的制备主要采用化学气相沉积和化学气相渗和，及液相渗浸 渍增密的方法。 工艺流程 图炭炭复合材料的制造工艺流程 炭纤维 增强坯体维，维，维，维纤维坯体 热固树脂热塑性沥青碳氢气体 固相热解炭液相热解炭带压力不带压力气相热解炭 浸渍浸渍切削加工 炭化 热处理热处理热处理 炭炭复合材料 推荐方案的主要工艺生产装置流程图物料平衡图，物料消耗定额表 推荐方案的主要工艺流程如图......”。