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年生产万万片高效单晶硅片项目可行性研究报告(word文档)_中文版高速下载 年生产万万片高效单晶硅片项目可行性研究报告(word文档)_中文版高速下载

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《年生产万万片高效单晶硅片项目可行性研究报告(word文档)_中文版高速下载》修改意见稿

1、“..... 通风排烟系统 单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风,通风方式为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风,根据 房间不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生 通风,满足卫生要求卫生间设全室通风,各主要生产区设置局部通 风系统。 冷冻水系统 在动力厂房内设置低温水冷离心式冷冻机组,使用 冷媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。 蒸汽及空调热水系统 本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。 自来水系统 生活用水人升人天 生产用自来水 纯水站补水 冷却水补水 洗涤塔补水采用纯水站浓缩水,不消耗自来水 消 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 装到多线切片机上,多线切片机进行切相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净......”

2、“.....线锯切片将工作台炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分,并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必 须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成尖点,而与液面分开,长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后,借着拉速与温 度的不断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固 定的部分称气。 拉晶加温将原料溶化,按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中, 然后将籽晶快速向上提升,使长成的籽晶的直径缩小到定的大小, 产生埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求......”

3、“..... 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库图单晶硅片生产工艺流程图 工艺简介 选料将多晶硅头尾料 图单晶硅棒生产工艺流程图 选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉晶 配料 装炉 入库 硅棒准备 圆技术方案 本项目主要考虑高性能的单晶硅生产工艺,最终产品为单晶硅。单晶硅用于制造太阳电池片生产用的硅片。 技术来源 本项目生产技术为公司自有技术。 生产工艺 ,其余资金由公司自筹。 流动资金筹措 本项目流动资金万元其中铺底流动资金万元,流动 资金贷款,贷款利率为,其余由公司自筹。 产品及产投资投资筹措 本项目固定资产投资万元,其中公司现金出资 万元含流动资金出资部分,公司现金出资万元,承建公司 贷款万元......”

4、“.....根据本项目情况及规模,铺底流动资金按 达产年平均流动资金的计,为万元。 总投资估算结果 本项目总投资为万元,详见总投资估算表。 表建设期利息 本项目建设投资申请银行贷款万元,银行贷款利率按 计算。根据方法与参数从建设起点算起借款当年按半年计息,建 设期利息共计万元。流动资金估算 建设期利息 本项目建设投资申请银行贷款万元,银行贷款利率按 计算。根据方法与参数从建设起点算起借款当年按半年计息,建 设期利息共计万元。流动资金估算 流动资金详细法计算,根据本项目情况及规模,铺底流动资金按 达产年平均流动资金的计,为万元。 总投资估算结果 本项目总投资为万元,详见总投资估算表......”

5、“.....其中公司现金出资 万元含流动资金出资部分,公司现金出资万元,承建公司 贷款万元,贷款利率为,其余资金由公司自筹。 流动资金筹措 本项目流动资金万元其中铺底流动资金万元,流动 资金贷款,贷款利率为,其余由公司自筹。 产品及技术方案 本项目主要考虑高性能的单晶硅生产工艺,最终产品为单晶硅。单晶硅用于制造太阳电池片生产用的硅片。 技术来源 本项目生产技术为公司自有技术......”

6、“..... 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求,按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化,按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中, 然后将籽晶快速向上提升,使长成的籽晶的直径缩小到定的大小, 产生零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后,借着拉速与温 度的不断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固 定的部分称为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必 须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成尖点,而与液面分开,长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分......”

7、“..... 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置本项目亩规划用地采用次规划,分期实施的原则建设。本 次期工程用地亩,位于规划用地的东侧,总建筑面积平 方米。 在期工程用地内设置个出入口,分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上,东侧入口为人员入口,西侧入口为货物入口, 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路,供消防和物 流使用......”

8、“.....与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角,与洗料厂房相临,有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角,使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角,与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内,离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近,便于废水就近排放和综合治理。 土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑,层高米。长, 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层层高 米,二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等,建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区,二楼为单晶炉上半部分操作区。除生 产区外,还布置有生产管理更衣,以及生产配套的空调机房车间变配电等。另外,车间还考虑有般物品库,包括暂存间物料入口 等,以利于物料的传输暂存。 切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房......”

9、“.....建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。除生产区外,还布置有生产管理更衣,以 及生产配套的空调机房车间变配电等。另外,车间还考虑有般物 品库,包括暂存间物料入口等,以利于物料的传输暂存。 动力厂房 动力厂房为单层钢筋砼框架结构,钢筋混凝土屋顶,层高米 建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯 水站控制室和值班室等,建筑面积为。 办公综合楼 办公综合楼为六层,总建筑面积。 其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等。 建筑服务系统 空调及采暖系统 单晶厂房生产区硅料处理车间切片厂房综合楼各建筑的 辅助办公室等区域设置空调,温湿度要求为,系统采用新 风机组诱导风机使气流均匀。 通风排烟系统 单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风,通风方式为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风,根据 房间不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生 通风......”

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